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    • 44. 发明公开
    • MICROSENSOR AND SINGLE CHIP INTEGRATED MICROSENSOR SYSTEM
    • 艾滋病艾滋病感染者艾滋病感染者MIKROSENSORSYSTEM
    • EP1360478A1
    • 2003-11-12
    • EP01271538.9
    • 2001-12-11
    • Eidgenössische Technische Hochschule Zürich
    • BALTES, HenryBARRETTINO, DiegoGRAF, MarkusHAGLEITNER, ChristophHIERLEMANN, Andreas
    • G01N27/12G01N27/02
    • G01N33/0031G01N27/12G01N27/122
    • A microsensor system, in particular gas sensor system, is integrated on a single chip and includes a microsensor, preferably a resistive-film-sensor configuration, with a microheater, the latter preferably of essentially round, elliptic or polygonal structure. The microsensor is located on a thermally insulated semiconductor structure, e.g. a thin membrane. Further included or integrated on the chip may be one or more first circuits for controlling the microheater and/or second circuits for evaluating or processing the measured values obtained from the microsensor. The first circuits may include power and/or temperature controller for the microheater. The second circuits may include an A/D converter, a digital signal processor, a digital output interface for processing sensor signals and transferring them to external devices, and/or potentiostats to regulate the electrode potential applied to the gas-sensitive layer. Also provided on a single chip may be a plurality of microsensors and micro-heaters with associated integrated circuits. The latter may then include multiplexing circuits for the sensor and the heater signals.
    • 微传感器系统,特别是气体传感器系统集成在单个芯片上,并且包括具有微加热器的微传感器,优选地是电阻膜传感器配置,后者优选为基本圆形,椭圆形或多边形结构。 微传感器位于绝热半导体结构上,例如 薄膜。 进一步包括或集成在芯片上的可以是用于控制微加热器和/或第二电路的一个或多个第一电路,用于评估或处理从微传感器获得的测量值。 第一电路可以包括用于微加热器的功率和/或温度控制器。 第二电路可以包括A / D转换器,数字信号处理器,用于处理传感器信号并将其传送到外部设备的数字输出接口和/或恒电位仪,以调节施加到气敏层的电极电位。 还提供在单个芯片上的可以是具有相关联的集成电路的多个微型传感器和微型加热器。 后者可以包括用于传感器和加热器信号的复用电路。
    • 48. 发明公开
    • Sensor zur Bestimmung des Verlaufs der Konzentration
    • 传感器,用于确定所述浓度的过程。
    • EP0652435A3
    • 1996-11-20
    • EP94116919.5
    • 1994-10-26
    • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
    • Schmelz, Helmut, Dr.
    • G01N33/00G01N27/12
    • G01N33/0054F02B3/06G01N27/122G01N33/0031Y02A50/246
    • Bei der katalytischen Umsetzung von mindestens zwei Reaktanten eines Strömungsmediums ist es zur Erreichung hoher Abscheidegrade bei gleichzeitig geringem Schlupf der Reaktanten erforderlich, die Reaktanten in einem geeigneten stöchiometrischen Verhältnis zueinander mit einem Katalysator in Kontakt zu bringen. Eine Messung der Konzentration der Reaktanten, wie z. B. NH 3 und NO x , im Strömungsmedium ist besonders für die genannten Beispiele technisch aufwendig und teuer. Zur Behebung dieses Mangels ist erfindungsgemäß ein Sensor (4, 46) zur Bestimmung des Verlaufs der Konzentration eines aus einem Strömungsmedium (36) heraus durch eine Oberfläche (33) eines Sensormaterials (34, 54) hindruch in das Sensormaterial (34, 54) eindiffundierenden, adsorbierbaren Stoffes (NH 3 ) in Abhängigkeit vom Abstand von dieser Oberfläche (33) vorgesehen, bei dem in dem Sensormaterial (34) und gegebenenfalls auf der Oberfläche (33) des Sensormaterials (34, 54) mit elektrischen Zuleitungen (16, 18, 58) versehene Kontaktpaare (12, 62) vorgesehen sind, mittels derer die elektrische Leitfähigkeit des Sensormaterials (34,54) zwischen den Kontakten (28, 30, 62) der einzelnen Kontaktpaare bestimmbar ist. Durch die Messung des Verlaufes der elektrischen Leitfähigkeit in Abhängigkeit von der Materialtiefe sind Rückschlüsse auf die Konzentration des am Sensormaterial adsorbierten Stoffes und auf dessen Konzentration im Strömungsmedium möglich. Der Sensor eignet sich besonders zur Unterstützung der Abscheidung von Stickoxiden aus Abgasen von Diesel- und Magermotoren.
    • 49. 发明公开
    • A CATALYTIC GAS SENSOR
    • 催化气体传感器
    • EP0722565A1
    • 1996-07-24
    • EP94928980.0
    • 1994-10-10
    • CSIR
    • VAN DE VYVER, James, EdwardBRODALKA, MarysiaHOWDEN, Michael, GeorgeLEITH, Ian, RobertPENNEFATHER, Rosalyn, ClaireWALLIS, Jeremy, Rex
    • B81B3G01N25G01N27
    • G01N27/16G01N25/30G01N27/122
    • A catalytic detector for a flammable gas comprises a substrate and a sensing structure suspended from the substrate. The sensing structure has a combined heating element and temperature sensing element in the form of a layer-deposited electrically conductive track terminating in at least two electrically conductive bridging leads. A catalytic bead is deposited over the temperature sensing element and that portion of the substrate which is directly beneath the sensing structure is etched away so as to isolate thermally the sensing structure with the temperature sensing structure being supported by the bridging leads. The electrically conductive track is sandwiched between a substrate adhesion layer for facilitating adhesion of the conductive track and a superstrate diffusion barrier layer. The invention extends to a method of manufacturing a gas detector and a sensing structure.
    • 用于可燃气体的催化检测器包括衬底和从衬底悬置的传感结构。 感测结构具有结合的加热元件和温度感测元件,其形式为层沉积的导电迹线,其终止于至少两个导电桥接引线。 催化珠被沉积在温度感测元件上方,并且直接位于感测结构下方的衬底的部分被蚀刻掉,以便利用由桥接引线支撑的温度感测结构对感测结构进行热隔离。 导电轨道夹在衬底粘合层之间以便于导电轨道和覆盖层扩散阻挡层的粘附。 本发明延伸至制造气体检测器和感测结构的方法。
    • 50. 发明公开
    • Sensor zur Bestimmung des Verlaufs der Konzentration
    • 传感器zur Bestimmung des Verlaufs der Konzentration。
    • EP0652435A2
    • 1995-05-10
    • EP94116919.5
    • 1994-10-26
    • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
    • Schmelz, Helmut, Dr.
    • G01N33/00G01N27/12
    • G01N33/0054F02B3/06G01N27/122G01N33/0031Y02A50/246
    • Bei der katalytischen Umsetzung von mindestens zwei Reaktanten eines Strömungsmediums ist es zur Erreichung hoher Abscheidegrade bei gleichzeitig geringem Schlupf der Reaktanten erforderlich, die Reaktanten in einem geeigneten stöchiometrischen Verhältnis zueinander mit einem Katalysator in Kontakt zu bringen. Eine Messung der Konzentration der Reaktanten, wie z. B. NH 3 und NO x , im Strömungsmedium ist besonders für die genannten Beispiele technisch aufwendig und teuer.
      Zur Behebung dieses Mangels ist erfindungsgemäß ein Sensor (4, 46) zur Bestimmung des Verlaufs der Konzentration eines aus einem Strömungsmedium (36) heraus durch eine Oberfläche (33) eines Sensormaterials (34, 54) hindruch in das Sensormaterial (34, 54) eindiffundierenden, adsorbierbaren Stoffes (NH 3 ) in Abhängigkeit vom Abstand von dieser Oberfläche (33) vorgesehen, bei dem in dem Sensormaterial (34) und gegebenenfalls auf der Oberfläche (33) des Sensormaterials (34, 54) mit elektrischen Zuleitungen (16, 18, 58) versehene Kontaktpaare (12, 62) vorgesehen sind, mittels derer die elektrische Leitfähigkeit des Sensormaterials (34,54) zwischen den Kontakten (28, 30, 62) der einzelnen Kontaktpaare bestimmbar ist. Durch die Messung des Verlaufes der elektrischen Leitfähigkeit in Abhängigkeit von der Materialtiefe sind Rückschlüsse auf die Konzentration des am Sensormaterial adsorbierten Stoffes und auf dessen Konzentration im Strömungsmedium möglich.
      Der Sensor eignet sich besonders zur Unterstützung der Abscheidung von Stickoxiden aus Abgasen von Diesel- und Magermotoren.
    • 在流动介质中至少两种反应物的催化转化中,必须使反应物以合适的相互化学计量比与催化剂接触,以便实现高沉积系数,同时反应物的低蠕变(滑移) 。 在流动介质中测量反应物例如NH 3和NO x的浓度在技术上是费力和昂贵的,特别是对于所提及的实例。 为了克服这个缺点,本发明提供了一种用于确定从流动介质(36)扩散到传感器材料(34)中的可吸附材料(NH 3)的浓度变化的传感器(4,66) 作为与该表面(33)的距离的函数的传感器材料(34,54)的表面(33),其中传感器材料(34,54)设置有接触对(12,62) ),在传感器材料(34)中设置有供电线(16,18,58),并且如果适当的话,在传感器材料(34,54)的表面(33)上设置有供电线(16,18,58),通过该电源线 可以确定各个触点对的触头(28,30,62)之间的传感器材料(34,54)。 通过测量作为材料深度的函数的电导率的变化,可以推导吸附在传感器材料上的材料的浓度以及该材料在流动介质中的浓度。 传感器特别适用于支持柴油和稀燃燃烧发动机废气中氮氧化物的沉积。