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    • 44. 发明公开
    • Dispositif pour déterminer la forme de la surface d'onde réfléchie par une pièce sensiblement plane
    • 一种用于确定波,这是由基本上平的物体反射的表面形状
    • EP0818668A1
    • 1998-01-14
    • EP97401473.0
    • 1997-06-25
    • COMPAGNIE INDUSTRIELLE DES LASERS CILASCOMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
    • Bray, Michael
    • G01B11/30
    • G01B11/303
    • La présente invention concerne un dispositif pour déterminer la forme de la surface d'onde réfléchie par une pièce sensiblement plane (P), comportant un support (S) de la pièce (P), un interféromètre (I), des moyens de déplacement du support (S), et une unité de commande déterminant, à partir des mesures de l'interféromètre (I), la forme de ladite surface d'onde.
      Selon l'invention, le dispositif comporte de plus un miroir (M1) orientable adressant le faisceau de mesure (FM) de l'interféromètre (I) orthogonalement sur une surface (2) de la pièce (P), et un capteur optique (CO) déterminant la position de l'image d'un point lumineux (PO) du faisceau de mesure (FM), l'orientation du miroir (M1) étant commandée de manière à ramener automatiquement le point lumineux (PO) à une position de référence.
    • 的试验片的包括微小凹凸形状(P)可以是确定通过将其安装在可移动的支撑件(S)和投影来自干涉仪的光束就以它开采。 所反射的光束通过与另外的反射透明幻灯片和条纹使表面形状是确定的开采在一系列重叠的区域。 重要的是,模具DASS入射光(FM)是正交于所述试验片(P)表面并且这可以通过在可定向的反射镜(M1)插入来保证。 反射镜是通过在光传感器(CO)这使发光点(PO)表示的测量光束(FM)到参考位置自动引导到正确的位置。