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31. 发明公开

EP1123685A4 INFRARED THERMOMETER 有权
标题翻译： INFRAROTTHERMOMETHER
公开(公告)号：EP1123685A4
公开(公告)日：2001-11-21
申请号：EP99949313
申请日：1999-10-20
申请人： OMRON TATEISI ELECTRONICS CO
发明人： TABATA MAKOTO , SATO TETSUYA , OTA HIROYUKI , TOMIOKA SHIGERU
IPC分类号： A61B5/00 , A61B5/01 , G01J5/04 , G01K13/00
CPC分类号： G01J5/04 , G01J5/0003 , G01J5/0011 , G01J5/0022 , G01J5/02 , G01J5/021 , G01J5/0235 , G01J5/046 , G01J5/049 , G01J5/06 , G01J5/08 , G01J5/0818 , G01J2005/068
摘要： An infrared sensor (20) is held in a housing (10) by a sensor holder (28) made of synthetic resin. A waveguide (30) for guiding the infrared rays emitted from an object to the infrared sensor (20) is supported by waveguide holders (31, 32) made of synthetic resin (or metal). There is an air layer (heat-insulating layer, or clearance) (34) between the inner end (distal end) (30b) of the waveguide (30) and the infrared sensor (20). A probe (40) made of synthetic resin is installed that surrounds the portion of the waveguide (30) projecting outside. There is also an air layer (heat-insulating layer, or clearance) (33) between the front end of the probe (40) and the front end (outer end) (30a) of the waveguide (30). A cap (50) is fitted on the front end of the waveguide (30).
摘要翻译：红外线传感器（20）通过合成树脂制的传感器支架（28）保持在壳体（10）内。用于将从物体发射的红外线引导到红外传感器（20）的波导（30）由合成树脂（或金属）制成的波导保持器（31,32）支撑。在波导管（30）的内端（远端）（30b）和红外传感器（20）之间存在空气层（隔热层或间隙）（34）。围绕波导（30）的向外突出的部分安装由合成树脂制成的探测器（40）。探头（40）的前端与波导（30）的前端（外端）（30a）之间还有空气层（绝热层或间隙）（33）。盖（50）安装在波导（30）的前端。

32. 发明公开

EP1123685A1 INFRARED THERMOMETER 有权
标题翻译：红外测温仪
公开(公告)号：EP1123685A1
公开(公告)日：2001-08-16
申请号：EP99949313.3
申请日：1999-10-20
申请人： Omron Corporation
发明人： TABATA, Makoto Omron Corporation , SATO, Tetsuya Omron Corporation , OTA, Hiroyuki Omron Corporation , TOMIOKA, Shigeru Omron Corporation
IPC分类号： A61B5/00
CPC分类号： G01J5/04 , G01J5/0003 , G01J5/0011 , G01J5/0022 , G01J5/02 , G01J5/021 , G01J5/0235 , G01J5/046 , G01J5/049 , G01J5/06 , G01J5/08 , G01J5/0818 , G01J2005/068
摘要： An infrared sensor 20 is held in a housing 10 by a sensor holder 28 made of synthetic resin. A waveguide 30 for guiding infrared radiation, which is emitted from a target, to the infrared sensor 20 is supported by waveguide holders 31, 32 made of synthetic resin (or metal). An air layer (insulative layer, gap) 34 resides between an inner end (terminal end) 30b of the waveguide 30 and the infrared sensor 20. A probe 40 made of synthetic resin surrounding an externally protruding portion of the waveguide 30 is provided. An air layer (insulating layer, gap) 33 resides between the tip of the probe 40 and a tip (outer end) 30a of the waveguide 30. The tip of the waveguide 30 is covered by a cap 50.
摘要翻译：红外传感器20通过由合成树脂制成的传感器支架28保持在壳体10中。用于将从目标发射的红外辐射引导到红外传感器20的波导30由合成树脂（或金属）制成的波导保持器31,32支撑。空气层（绝缘层，间隙）34位于波导30的内端（终端）30b和红外传感器20之间。设置由围绕波导30的外部突出部分的合成树脂制成的探针40。在探头40的前端与波导管30的前端（外端）30a之间存在空气层（绝缘层，间隙）33。波导管30的前端被盖50覆盖。

33. 发明公开

EP0924500A3 Verfahren zum Messen elektromagnetischer Strahlung 有权
标题翻译：一种用于测量电磁辐射的方法
公开(公告)号：EP0924500A3
公开(公告)日：2001-04-04
申请号：EP98123129.3
申请日：1998-12-04
申请人： STEAG RTP Systems GmbH
发明人： Hauf, Markus , Knarr, Thomas , Walk, Heinrich , Balthasar, Horst , Müller, Uwe
IPC分类号： G01J5/00
CPC分类号： G01J5/0003
摘要： Bei einem Verfahren zum Messen elektromagnetischer Strahlung, die von einer Oberfläche eines Gegenstandes abgestrahlt wird, der durch elektromagnetische, von wenigstens einer Strahlungsquelle abgegebenen elektromagnetischen Strahlung bestrahlt wird, wobei die von der Strahlungsquelle abgegebene Strahlung mit wenigstens einem ersten Detektor und die vom bestrahlten Gegenstand abgegebene Strahlung mit wenigstens einem zweiten, die Strahlung messenden Detektor ermittelt wird, ergeben sich besonders zuverlässige Meßergebnisse auf einfache Weise dadurch, daß die von wenigstens einer Strahlungsquelle abgegebene Strahlung mit wenigstens einem charakteristischen Parameter aktiv demoduliert wird, und daß die vom zweiten Detektor ermittelte Strahlung zur Kompensation der vom Gegenstand reflektierten Strahlung der Strahlungsquelle durch die vom ersten Detektor ermittelte Strahlung korrigiert wird.

34. 发明公开

EP1064575A1 VERFAHREN ZUM SPLEISSEN VON LICHTWELLENLEITERN UND SPLEISSVORRICHTUNG 有权
标题翻译：方法拼接纤维和拼接
公开(公告)号：EP1064575A1
公开(公告)日：2001-01-03
申请号：EP99922064.3
申请日：1999-03-23
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： MÜSSIG, Dirk
IPC分类号： G02B6/255
CPC分类号： G01J5/0003 , G01J2005/0077 , G01N21/67 , G02B6/2551
摘要： Temperature distribution during splicing of waveguides (1, 3) at constant discharge current depends on ambient parameters (temperature, air pressure, air humidity), which also influence the quality of splicing. The discharge current is regulated by measuring the actual intensity distribution of the thermionic emission of the waveguide (1, 3) during splicing and by comparing it with a stored reference intensity distribution. A sensor (8) is used for measuring the intensity distribution and for adjusting the ends of the waveguides (1, 3) in relation to each other.

35. 发明公开

EP0924500A2 Verfahren zum Messen elektromagnetischer Strahlung 有权
公开(公告)号：EP0924500A2
公开(公告)日：1999-06-23
申请号：EP98123129.3
申请日：1998-12-04
申请人： STEAG AST Elektronik GmbH
发明人： Hauf, Markus , Knarr, Thomas , Walk, Heinrich , Balthasar, Horst , Müller, Uwe
IPC分类号： G01J5/00
CPC分类号： G01J5/0003
摘要： Bei einem Verfahren zum Messen elektromagnetischer Strahlung, die von einer Oberfläche eines Gegenstandes abgestrahlt wird, der durch elektromagnetische, von wenigstens einer Strahlungsquelle abgegebenen elektromagnetischen Strahlung bestrahlt wird, wobei die von der Strahlungsquelle abgegebene Strahlung mit wenigstens einem ersten Detektor und die vom bestrahlten Gegenstand abgegebene Strahlung mit wenigstens einem zweiten, die Strahlung messenden Detektor ermittelt wird, ergeben sich besonders zuverlässige Meßergebnisse auf einfache Weise dadurch, daß die von wenigstens einer Strahlungsquelle abgegebene Strahlung mit wenigstens einem charakteristischen Parameter aktiv demoduliert wird, und daß die vom zweiten Detektor ermittelte Strahlung zur Kompensation der vom Gegenstand reflektierten Strahlung der Strahlungsquelle durch die vom ersten Detektor ermittelte Strahlung korrigiert wird.
摘要翻译：从辐射源发射的辐射用特征参数进行主动调制。提供两个辐射检测器来检测从被照射的物体的表面发射的辐射。由第二检测器检测的辐射用于补偿由第一检测器检测的用于从物体反射的辐射的辐射。为了研究照射物体的物理性质，如发射率，温度，反射率，透射系数和层厚度，有必要准确地确定物体本身发射的辐射。为此，有必要减去仅从物体反射的辐射，其具有如果离开源的特征调制信号。剩下的辐射完全是物体本身发射的辐射。

36. 发明公开

EP0916155A1 REFLECTOR COVER FOR A SEMICONDUCTOR PROCESSING CHAMBER 失效
标题翻译：反光器罩用于半导体处理室
公开(公告)号：EP0916155A1
公开(公告)日：1999-05-19
申请号：EP98921176.0
申请日：1998-05-12
申请人： Applied Materials, Inc.
发明人： BIERMAN, Benjamin , BALLANCE, David, S. , TIETZ, James, V. , HAAS, Brian , WILLIAMS, Meredith, J. , DEATON, Paul
IPC分类号： H01L21 , G01J5
CPC分类号： H01L21/67017 , G01J5/0003
摘要： In one embodiment, the invention is directed to an apparatus for preventing depositions from occurring on a reflector in a processing chamber, comprising: a cover disposed adjacent to the reflector, the cover optically transparent over a range of wavelengths in which the reflector is reflective; and at least one cover support for maintaining the position of the cover relative to the reflector.

37. 发明公开

EP0801292A3 Self-calibrating temperature probe 失效
标题翻译：自校准温度探头
公开(公告)号：EP0801292A3
公开(公告)日：1998-05-20
申请号：EP97302408
申请日：1997-04-08
申请人： APPLIED MATERIALS INC
发明人： YAM MARK
IPC分类号： G01D3/00 , G01J5/00 , G01J5/04 , G01J5/08 , G01J5/52 , G01J5/54 , G01J5/58
CPC分类号： G01J5/0003 , G01J5/0007 , G01J5/08 , G01J5/0818 , G01J5/0821 , G01J5/0846 , G01J5/522 , G01J2005/0048
摘要： The disclosure relates to a probe (40) for measuring the temperature of a substrate in a substrate processing chamber (12). The probe includes a light pipe (42), one end of which is inserted into the processing chamber. The other end of the light pipe is connected to a bifurcated optical fiber (46). A light source (54) is optically coupled to one branch of the optical fiber, and a pyrometer (56) is optically coupled to another branch. To self-calibrate the probe, an object of stable reflectivity, e.g., a gold-plated wafer, is inserted into the chamber, the light source is activated, and the intensity of light reflected from the object is measured by the pyrometer.

38. 发明公开

EP0701686A1 GLEICHZEITIGES BESTIMMEN VON SCHICHTDICKE UND SUBSTRATTEMPERATUR WÄHREND DES BESCHICHTENS 失效
标题翻译：涂层在同时厘定厚度和基质温度
公开(公告)号：EP0701686A1
公开(公告)日：1996-03-20
申请号：EP94906879.0
申请日：1994-02-16
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人： BÖBEL, Friedrich , BAUER, Norbert
IPC分类号： G01B11 , G01J5
CPC分类号： G01J5/0003 , G01B11/0633 , G01J5/0007 , G01J5/0834 , G01J2001/4242 , G01J2005/0048 , G01J2005/0074
摘要： The invention describes a process and device for measuring temperature and layer thickness during coating by prior art methods in semiconductor manufacturing, plasma, ion and other dry-etching plants and in the production of optical coatings. The current results of layer thickness and temperature measurements may be used in process control. The interference phenomena in thermal substrate radiation on the growing layer continuously cause the emissivity ε to change during coating, thus preventing the use of pyrometric temperature measurement, which gives rise to particular problems in multi-layer systems in which the current emissivity depends on the thickness of all the layer, their optical constants, the temperature-dependence of the optical constant and the observation angle and wavelength. The present invention solves these fundamental problems by determining the reflectivity R of the wafer using a reflectometer. According to the law of the conservation of energy, for non-transparent substrates ε = 1 - R, and hence the current emissivity of the entire (multi-layer) system can be directly determined with the reflectometer. The temperature is measured by means of a given evaluation rule, while the thickness is found by comparing the reflectometer curve with the theoretical layer thickness dependence.

39. 发明授权

EP0490290B1 Calibration for bichannel radiation detection 失效
标题翻译：校准双声道辐射测量。
公开(公告)号：EP0490290B1
公开(公告)日：1995-08-16
申请号：EP91120967.4
申请日：1991-12-06
申请人： AG Processing Technologies, Inc.
发明人： Gat, Arnon , Mardo, David
IPC分类号： G01J5/00 , G01J5/60
CPC分类号： G01J5/0003 , G01J5/0007 , G01J5/60

40. 发明公开

EP0584077A1 WAFER PROCESSING CLUSTER TOOL BATCH PREHEATING AND DEGASSING METHOD AND APPARATUS 失效
标题翻译：间歇和设备VORMEIZEN和晶圆德加方法被用于多个组的设备。
公开(公告)号：EP0584077A1
公开(公告)日：1994-03-02
申请号：EP92905216.0
申请日：1992-01-21
申请人： MATERIALS RESEARCH CORPORATION
发明人： EDWARDS, Richard, C. , KOLESA, Michael, S. , ISHIKAWA, Kiroichi
IPC分类号： H01L21 , G01J5
CPC分类号： H01L21/67115 , G01J5/0003 , G01J5/0007 , G01J5/02 , G01J5/0275 , G01J5/08 , G01J5/089 , H01L21/67167 , H01L21/67184 , H01L21/6719 , H01L21/67248 , Y10S414/139 , Y10S438/908 , Y10T29/41
摘要： Outil multiposte de traitement de plaquettes (10) doté d'un ou plusieurs modules de chargement-verrouillage (32, 34) qui comporte un ou plusieurs modules de préchauffage de lots (42, 44) recevant des plaquettes uniquement du module de transport de l'outil multiposte (12, 14) à la pression de vide interne de la machine. Le chargement, le déchargement, la manipulation et le traitement des plaquettes dans la machine peuvent avoir lieu pendant que d'autres plaquettes sont préchauffées. Le module de préchauffage comporte un panier mobile verticalement (64) et est chargé de lots de tailles différentes de plaquettes, sans position vacante entre eux. Des écrans de protection en forme de plaquette peuvent être placés de manière adjacente aux plaquettes inférieure et supérieure afin de permettre à ces dernières de chauffer de la même manière que les autres plaquettes du panier. Des lampes à infrarouges (90) placées à l'extérieur de fenêtres en quartz (60) chauffent les plaquettes présentes dans le module de préchauffage. Le panier peut tourner afin d'améliorer l'uniformité de chauffage. Des capteurs de température (93, 94) tels que des pyromètres, qui ne sont pas en contact avec des plaquettes préchauffées, mesurent la température afin de commander le chauffage des lampes.

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