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1. 发明授权

CN1808762B 微振子、半导体装置及通信装置失效
公开(公告)号：CN1808762B
公开(公告)日：2012-09-05
申请号：CN200610006413.6
申请日：2006-01-20
申请人：索尼株式会社
发明人：多田正裕 , 池田浩一
IPC分类号： H01P1/212 , H01L21/00
CPC分类号： H03J3/00 , H03J2200/19
摘要：提供一种微振子、半导体装置及通信装置。该微振子可抑制中心频率的偏差，相邻振子元件间的干扰等，共振特性优异。该半导体装置以及该通信装置的带通滤波器使用了上述微振子。上述微振子构成为多个梁型第1振子元件(33)并联，且在相邻的上述第1振子元件(33)间配置有非共振的梁型第2振子元件(34)。

2. 发明公开

CN1808762A 微振子、半导体装置及通信装置失效
公开(公告)号：CN1808762A
公开(公告)日：2006-07-26
申请号：CN200610006413.6
申请日：2006-01-20
申请人：索尼株式会社
发明人：多田正裕 , 池田浩一
IPC分类号： H01P1/212 , H01L21/00
CPC分类号： H03J3/00 , H03J2200/19
摘要：提供一种微振子、半导体装置及通信装置。该微振子可抑制中心频率的偏差，相邻振子元件间的干扰等，共振特性优异。该半导体装置以及该通信装置的带通滤波器使用了上述微振子。上述微振子构成为多个梁型第1振子元件(33)并联，且在相邻的上述第1振子元件(33)间配置有非共振的梁型第2振子元件(34)。

3. 发明授权

CN102754172B 可变电容元件失效
公开(公告)号：CN102754172B
公开(公告)日：2015-08-05
申请号：CN201180008734.9
申请日：2011-02-03
申请人：株式会社村田制作所
发明人：久万田明 , 柴原辉久 , 田中坚志
IPC分类号： H01G5/16 , B81B3/00 , B81B7/02
CPC分类号： H01G5/16 , H03J3/20 , H03J2200/19
摘要：本发明提供一种即便产生了容量的变动要素也可稳定地获得所期望的容量的可变电容元件。从电容检测用信号产生部(30)向MEMS机构部(10)的驱动用电容器(10B)和参照用电容器(40)施加脉冲信号的电容检测用信号。电容检测用信号和基于驱动电压的驱动用电容器(10B)的元件电压被提供至比较器(50)的反转输入端子。另一方面，电容检测用信号和基于驱动电压的参照用电容器(40)的元件电压被提供至比较器(50)的非反转输入端子。比较器(50)根据这些元件电压之差来生成由“Hi”、“Low”这2个值构成的比较输出信号，并提供给驱动电压产生部(20)。驱动电压产生部(20)基于比较输出信号而使驱动电压上升或者下降。

4. 发明公开

CN102754172A 可变电容元件失效
公开(公告)号：CN102754172A
公开(公告)日：2012-10-24
申请号：CN201180008734.9
申请日：2011-02-03
申请人：株式会社村田制作所
发明人：久万田明 , 柴原辉久 , 田中坚志
IPC分类号： H01G5/16 , B81B3/00 , B81B7/02
CPC分类号： H01G5/16 , H03J3/20 , H03J2200/19
摘要：本发明提供一种即便产生了容量的变动要素也可稳定地获得所期望的容量的可变电容元件。从电容检测用信号产生部(30)向MEMS机构部(10)的驱动用电容器(10B)和参照用电容器(40)施加脉冲信号的电容检测用信号。电容检测用信号和基于驱动电压的驱动用电容器(10B)的元件电压被提供至比较器(50)的反转输入端子。另一方面，电容检测用信号和基于驱动电压的参照用电容器(40)的元件电压被提供至比较器(50)的非反转输入端子。比较器(50)根据这些元件电压之差来生成由“Hi”、“Low”这2个值构成的比较输出信号，并提供给驱动电压产生部(20)。驱动电压产生部(20)基于比较输出信号而使驱动电压上升或者下降。

5. 发明申请

US20120105173A1 MEMS Device 审中-公开
标题翻译： MEMS器件
公开(公告)号：US20120105173A1
公开(公告)日：2012-05-03
申请号：US13349197
申请日：2012-01-12
申请人： Florian Schoen , Mohsin Nawaz , Mihail Sararoiu
发明人： Florian Schoen , Mohsin Nawaz , Mihail Sararoiu
IPC分类号： H03H9/125 , H03H9/02
CPC分类号： H03H9/2431 , H03H9/02409 , H03H9/02417 , H03H9/2463 , H03J2200/19
摘要： System and method for a microelectromechanical system (MEMS) is disclosed. A preferred embodiment comprises a first anchor region, a vibrating MEMS structure fixed to the first anchor region, a first electrode adjacent the vibrating MEMS structure, a second electrode adjacent the vibrating MEMS structure wherein the vibrating MEMS structure is arranged between the first and the second electrode.
摘要翻译：公开了一种用于微机电系统（MEMS）的系统和方法。优选实施例包括第一锚定区域，固定到第一锚定区域的振动MEMS结构，与振动MEMS结构相邻的第一电极，与振动MEMS结构相邻的第二电极，其中振动MEMS结构布置在第一和第二电极。

6. 发明授权

US09224536B2 Variable capacitance device 有权
标题翻译：可变电容器件
公开(公告)号：US09224536B2
公开(公告)日：2015-12-29
申请号：US13568172
申请日：2012-08-07
申请人： Akira Kumada , Teruhisa Shibahara , Kenji Tanaka
发明人： Akira Kumada , Teruhisa Shibahara , Kenji Tanaka
IPC分类号： H01G5/00 , H01G7/00 , H01G7/06 , H01H57/00 , G01R27/26 , H01G5/16 , H03J3/20
CPC分类号： H01G5/16 , H03J3/20 , H03J2200/19
摘要： A variable capacitance device that achieves a desired capacitance even when factors causing varied capacitances are generated is configured such that a capacitance detection pulse signal is applied from a capacitance detection signal generation unit to a driving capacitor and a reference capacitor of a MEMS mechanical unit. The device voltage of the driving capacitor based on the capacitance detection signal and a driving voltage is applied to the inverting input terminal of a comparator. The device voltage of the reference capacitor based on the capacitance detection signal and the driving voltage is applied to the non-inverting input terminal of the comparator. The comparator generates a comparison output signal including “Hi” and “Low” values from the difference between these device voltages, and applies the output signal to a driving voltage generation unit. The driving voltage generation unit increases or decreases the driving voltage based on the comparison output signal.
摘要翻译：即使产生导致变化的电容的因素，实现期望的电容的可变电容器件被配置为使得电容检测脉冲信号从电容检测信号生成单元施加到MEMS机械单元的驱动电容器和参考电容器。基于电容检测信号的驱动电容器的器件电压和驱动电压被施加到比较器的反相输入端。基于电容检测信号和驱动电压的参考电容器的器件电压被施加到比较器的非反相输入端。比较器从这些器件电压之间的差产生包括“Hi”和“Low”值的比较输出信号，并将输出信号施加到驱动电压产生单元。驱动电压产生单元根据比较输出信号来增大或减小驱动电压。

7. 发明授权

US07728682B2 Micro-oscillator, semiconductor device and communication apparatus 有权
标题翻译：微振荡器，半导体器件和通信设备
公开(公告)号：US07728682B2
公开(公告)日：2010-06-01
申请号：US11331253
申请日：2006-01-12
申请人： Masahiro Tada , Koichi Ikeda
发明人： Masahiro Tada , Koichi Ikeda
IPC分类号： G04C3/10 , H03B5/30
CPC分类号： H03J3/00 , H03J2200/19
摘要： A micro-oscillator in which the dispersion of center frequency, the interference between adjacent oscillator elements and the like are controlled and the resonance characteristic is excellent, and a semiconductor device including the micro-oscillator as well as a communication apparatus using a band-pass filter including the micro-oscillator, are provided. The micro-oscillator includes: a plurality of beam-type first oscillator elements 33 connected in parallel and a non-resonance beam-type second oscillator element 34 arranged between the first oscillator elements 33 adjacent to each other.
摘要翻译：其中控制中心频率的色散，相邻振荡器元件之间的干扰等并且谐振特性优异的微振荡器，以及包括微振荡器的半导体器件以及使用带通的通信装置提供了包括微振荡器的滤波器。微振荡器包括：并联连接的多个波束型第一振荡器元件33和布置在彼此相邻的第一振荡器元件33之间的非谐振波束型第二振荡器元件34。

8. 发明申请

WO2011096460A1 可変容量素子审中-公开
标题翻译：可变电容元件
公开(公告)号：WO2011096460A1
公开(公告)日：2011-08-11
申请号：PCT/JP2011/052208
申请日：2011-02-03
申请人：株式会社村田製作所 , 久万田明 , 柴原輝久 , 田中堅志
发明人：久万田明 , 柴原輝久 , 田中堅志
IPC分类号： H01G5/16 , B81B3/00 , B81B7/02
CPC分类号： H01G5/16 , H03J3/20 , H03J2200/19
摘要：　キャパシタンスの変動要素が生じても、所望とするキャパシタンスを安定して得られる可変容量素子を実現する。ＭＥＭＳ機構部（１０）の駆動用キャパシタ（１０Ｂ）と、参照用キャパシタ（４０）には、容量検出用信号発生部（３０）からパルス信号の容量検出用信号が印加される。容量検出用信号と駆動電圧に基づく駆動用キャパシタ（１０Ｂ）の素子電圧は、コンパレータ（５０）の反転入力端子へ与えられる。一方、容量検出用信号と駆動電圧に基づく参照用キャパシタ（４０）の素子電圧は、コンパレータ（５０）の非反転入力端子へ与えられる。コンパレータ（５０）はこれらの素子電圧の差から、「Ｈｉ」，「Ｌｏｗ」の２値からなる比較出力信号を生成し、駆動電圧発生部（２０）へ与える。駆動電圧発生部（２０）は、比較出力信号に基づいて、駆動電圧を上昇もしくは低下する。
摘要翻译：公开了即使在出现波动的电容因素的情况下也能够稳定地获得所需电容的可变电容元件。脉冲信号的电容检测信号由电容检测信号发生器单元（30）施加到MEMS机构单元（10）和参考电容器（40）的驱动电容器（10B）。基于电容检测信号和驱动电压将驱动电容器（10B）的元件电压发送到比较器（50）的反相输入端子。相反，基于电容检测信号和驱动电压的参考电容器（40）的元件电压被发送到比较器（50）的非反相输入端子。比较器（50）基于各元件电压的差，使用两个值“High”和“Low”产生比较输出信号，并将其发送到驱动电压发生器单元（20）。驱动电压发生器单元（20）基于比较输出信号来增加或减小驱动电压。

9. 发明申请

US20170038211A1 RESONANT GYROSCOPES AND METHODS OF MAKING AND USING THE SAME 有权
标题翻译：共振光镜及其制作和使用方法
公开(公告)号：US20170038211A1
公开(公告)日：2017-02-09
申请号：US14739721
申请日：2015-06-15
申请人： GEORGIA TECH RESEARCH CORPORATION
发明人： Farrokh Ayazi , Roozbeh Tabrizian , Mojtaba Hodjat-Shamami , Arashk Norouzpour-Shirazi
IPC分类号： G01C19/5755 , G01C19/5726 , G01C19/5769 , H03J1/06
CPC分类号： H03J1/06 , G01C19/5684 , H03J2200/19
摘要： Certain implementations of the disclosed technology may include systems and methods for high-frequency resonant gyroscopes. In an example implementation, a resonator gyroscope assembly is provided. The resonator gyroscope assembly can include a square resonator body suspended adjacent to a substrate, a ground electrode attached to a side of the resonator body, a piezoelectric layer attached to a side of the ground electrode, a drive electrode in electrical communication with the piezoelectric layer, and configured to stimulate one or more vibration modes of the square resonator body; and a sense electrode in electrical communication with the piezoelectric layer, and configured to receive an output from the square or disk resonator responsive to stimulation of the one or more vibration modes.
摘要翻译：所公开技术的某些实现可以包括用于高频谐振陀螺仪的系统和方法。在示例实施例中，提供了谐振器陀螺仪组件。谐振器陀螺仪组件可以包括：与基板相邻悬挂的方形谐振器体，附着在谐振器本体一侧的接地电极，附着在接地电极一侧的压电层，与压电层电连通的驱动电极并且被配置为刺激所述方形谐振器体的一个或多个振动模式; 以及感测电极，其与所述压电层电连通，并且被配置为响应于所述一个或多个振动模式的刺激而从所述方形或盘状谐振器接收输出。

10. 发明申请

US20100301967A1 MEMS Device 有权
标题翻译： MEMS器件
公开(公告)号：US20100301967A1
公开(公告)日：2010-12-02
申请号：US12474368
申请日：2009-05-29
申请人： Florian Schoen , Mohsin Nawaz , Mihail Sararoiu
发明人： Florian Schoen , Mohsin Nawaz , Mihail Sararoiu
IPC分类号： H03H9/24
CPC分类号： H03H9/2431 , H03H9/02409 , H03H9/02417 , H03H9/2463 , H03J2200/19
摘要： System and method for a microelectromechanical system (MEMS) is disclosed. A preferred embodiment comprises a first anchor region, a vibrating MEMS structure fixed to the first anchor region, a first electrode adjacent the vibrating MEMS structure, a second electrode adjacent the vibrating MEMS structure wherein the vibrating MEMS structure is arranged between the first and the second electrode.
摘要翻译：公开了一种用于微机电系统（MEMS）的系统和方法。优选实施例包括第一锚定区域，固定到第一锚定区域的振动MEMS结构，与振动MEMS结构相邻的第一电极，与振动MEMS结构相邻的第二电极，其中振动MEMS结构布置在第一和第二电极。

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