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1. 发明公开

CN104882778A 用于减少外腔激光器中模式跳转产生的噪声的方法和装置有权
公开(公告)号：CN104882778A
公开(公告)日：2015-09-02
申请号：CN201510080016.2
申请日：2015-02-13
申请人：安捷伦科技有限公司
发明人： M·朱 , C·霍克
IPC分类号： H01S3/13
CPC分类号： H01S5/141 , H01S3/1055 , H01S3/1398 , H01S5/0652
摘要：一种用于减少外腔激光器中模式跳转产生的噪声的方法和装置。公开了一种外腔激光器以及用于操作所述外腔激光器的方法。所述外腔激光器包括增益芯片、光栅、致动器和致动器驱动器。所述光栅将波长带中离开所述增益芯片的光衍射回到所述增益芯片，所述光栅由相对于离开所述增益芯片的光的角度以及距所述增益芯片的距离表征，所述角度和所述距离受控于所述致动器。一部分所述衍射后的光受所述增益芯片放大。所述激励器驱动器使得所述角度在由幅度和平均频率表征的运动中相对于平衡角度抖动。选取所述抖动运动幅度，以激励所述增益芯片的多个相邻激光模式或提供用于将光栅角度保持在目标值的伺服信号。

2. 发明公开

CN1839523A 外腔可调谐激光器的波长控制失效
公开(公告)号：CN1839523A
公开(公告)日：2006-09-27
申请号：CN200380110477.5
申请日：2003-11-07
申请人：皮雷利&C.有限公司 , 意大利电信股份公司
发明人：苏珊娜·M.·凯特兰 , 安德瑞·罗马诺 , 玛库·德多诺 , 奥锐利奥·皮安奇奥拉
IPC分类号： H01S5/14
CPC分类号： H01S5/141 , G02F2203/055 , H01S3/105 , H01S3/1065 , H01S3/1398 , H01S5/02216 , H01S5/02284 , H01S5/0617 , H01S5/0622 , H01S5/0683 , H01S5/101
摘要：本发明涉及控制外腔可调谐激光器的方法，该激光器包括波长选择性可调谐镜，其中波长灵敏度是通过由交流电压提供的电气信号实现的。本发明的可调谐镜包括液晶材料，衍射光栅和与其光学作用的平面波导。衍射光栅和波导形成共振结构，其仅反射所有碰撞到其上的波长中选择的共振波长。根据施加在可调谐镜上的振幅和电压VTM，可调谐镜仅反射给定波长λTM的辐射。通过可调谐镜进行的可调谐激光器的辐射波长(频率)的精确选择可从由施加在可调谐镜上的AC电压引起的信号调制分析中获得。

3. 发明公开

CN1839522A 外腔可调谐激光器中的相位控制失效
公开(公告)号：CN1839522A
公开(公告)日：2006-09-27
申请号：CN03827146.X
申请日：2003-09-30
申请人：皮雷利&C.有限公司 , 意大利电信股份公司
发明人：安德瑞·罗马诺 , 玛库·德多诺 , 奥锐利奥·皮安奇奥拉
IPC分类号： H01S5/14
CPC分类号： H01S5/141 , G02F2203/055 , H01S3/105 , H01S3/1065 , H01S3/1398 , H01S5/02216 , H01S5/02284 , H01S5/0617 , H01S5/0622 , H01S5/0683 , H01S5/101
摘要：本发明涉及一种单模外腔可调谐激光器，其包括增益介质、可调谐元件和信道分配栅格元件。所述信道分配栅格元件最好是FP标准具，其被构建和配置以定义对应于ITU信道栅格的多个等间隔透射峰值，例如，200、100、50或25GHz。可调谐元件最好是可调谐镜，用作鉴别栅格标准件的峰值的粗调元件。本发明的可调谐激光器具有相对短腔长度，即，不大于15mm，最好是不大于12mm。已经发现，FP标准具在外腔中引入相位非线性，引起空腔谐振模的压缩，即，对应于标准具透射峰值的空腔谐振模间隔的缩小。随着栅格FP标准具的FWHM带宽，以下称为(FWHM)FP的减小，模压缩增加。(FWHM)FP应当处于从大约2GHz到大约8GHz的范围内。最好是，(FWHM)FP近似地处于3和6GHz之间。

4. 发明公开

CN1763557A 减少AC斯塔克移位的光抽运频率标准无效
公开(公告)号：CN1763557A
公开(公告)日：2006-04-26
申请号：CN200510109425.7
申请日：2005-10-18
申请人：安捷伦科技有限公司
发明人：朱淼 , 来纳德·S·卡特勒 , 约翰·埃德温·伯伯里恩
IPC分类号： G01R33/00
CPC分类号： H01S3/1392 , H01S3/1394 , H01S3/1398
摘要：本发明公开了一种用于产生稳定的频率信号的装置(20)。该装置(20)包括具有第一、第二和第三能态的量子吸收体(13)。量子吸收体(13)被第一辐射源(21)照射，第一辐射源(21)产生具有频率νL的电磁辐射，该电磁辐射激发第一和第三能态之间的跃迁。量子吸收体(13)还被第二辐射源(18)照射，第二辐射源(18)产生具有频率νM的电磁辐射，该电磁辐射激发第一和第二能态之间的跃迁。检测器被多个伺服回路使用，所述检测器产生检测器信号，该信号指示出离开量子吸收体(13)的辐射在包括νL在内的频率范围中的辐射水平。伺服回路之一确定νL的值，该值使检测器信号最小化或最大化，并且第二伺服回路(31)确定偏移信号，该偏移信号降低了νM对第一辐射源(21)的强度的依赖性。

5. 发明公开

KR1020020095718A 레이저빔의 보정장치를 장착한 레이저 장치 无效
标题翻译：包含激光束的修正装置的激光装置
公开(公告)号：KR1020020095718A
公开(公告)日：2002-12-28
申请号：KR1020010033901
申请日：2001-06-15
申请人： 주식회사 이오테크닉스
发明人： 이재신 , 정해세
IPC分类号： H01S3/10
CPC分类号： H01S5/02248 , G02B13/0005 , H01S3/1398
摘要： PURPOSE: A laser device incorporating thereinto a correction apparatus for a laser beam is provided to easily correct the intensity of the laser beam by utilizing the correction apparatus. CONSTITUTION: A laser device incorporating thereinto a correction apparatus for a laser beam includes a laser oscillator(10) for generating a laser beam, a beam expander(20) for expanding the laser beam, a beam splitter(34) for splitting the expanded laser beam passing through a first and a second mirrors(30,32), a pair of correction mounts(40) for removably mounting windows capable of reflecting the laser beam impinged thereonto with a predetermined ratio, a pair of variable beam expanders(50), a pair of scanner blocks(60) for scanning the laser beam, a pair of f-theta lenses(70) for maintaining the linearity of the laser beam transmitted through the scanner blocks(60) and a workpiece(80) impinging thereonto the laser beam maintaining the linearity.
摘要翻译：目的：提供一种其中包含用于激光束的校正装置的激光装置，以便通过利用校正装置来容易地校正激光束的强度。构成：其中结合有用于激光束的校正装置的激光装置包括用于产生激光束的激光振荡器（10），用于使激光束扩展的扩束器（20），用于将扩大激光器分离的分束器（34）光束通过第一和第二反射镜（30,32），一对校正支架（40），用于可拆卸地安装能够以预定比例反射激光束的窗口，一对可变光束扩展器（50），用于扫描激光束的一对扫描器块（60），用于保持透射通过扫描器块（60）的激光束的线性的一对f-theta透镜（70）和撞击到激光器的工件（80）梁保持线性。

6. 发明授权

EP1668752B1 WAVELENGTH CONTROL OF AN EXTERNAL-CAVITY TUNEABLE LASER 有权转让
标题翻译：波长控制可调谐外腔式激光器
公开(公告)号：EP1668752B1
公开(公告)日：2009-10-07
申请号：EP03775324.1
申请日：2003-11-07
申请人： PGT Photonics S.p.A. , Telecom Italia S.p.A.
发明人： CATTELAN, Susanna Maria, Pirelli Labs S.p.A. , ROMANO, Andrea, Pirelli Labs S.p.A. , DE DONNO, Marco, Pirelli Labs S.p.A. , PIANCIOLA, Aurelio, Pirelli Labs S.p.A.
IPC分类号： H01S5/14
CPC分类号： H01S5/141 , G02F2203/055 , H01S3/105 , H01S3/1065 , H01S3/1398 , H01S5/02216 , H01S5/02284 , H01S5/0617 , H01S5/0622 , H01S5/0683 , H01S5/101
摘要： The present invention relates to a method of controlling an external-cavity tuneable laser that comprises a wavelength-elective tuneable mirror, in which wavelength selectivity is achieved by an electrical signal provided by an alternating voltage. The tuneable mirror of the present invention comprises a liquid crystal material, a diffraction grating and a planar waveguide optically interacting with the grating. The diffraction grating and the waveguide form a resonant structure that reflects only a selected resonance wavelength from among all the other wavelengths impinging thereon. Depending on the amplitude of the voltage applied to the tunable mirror, VTM , the tuneable mirror reflects radiation only at a given wavelength λTM. The lasing output wavelength of the laser is selected to correspond to the resonance wavelength λTM of the tuneable mirror. Accurate selection of the emission wavelength (frequency) of the tuneable laser by the tuneable mirror can be derived from the analysis of the signal modulation induced by the AC voltage applied to the tuneable mirror.

7. 发明公开

EP1921721A1 Injection-locked laser, interferometer, exposure apparatus, and device manufacturing method 审中-公开
标题翻译：注入锁定激光干涉仪，照明设备和方法，用于制造器件
公开(公告)号：EP1921721A1
公开(公告)日：2008-05-14
申请号：EP07120069.5
申请日：2007-11-06
申请人： Canon Kabushiki Kaisha
发明人： Kuramoto, Yoshiyuki
IPC分类号： H01S3/139 , H01S3/23 , G03F7/20 , H01S3/083 , H01S3/13
CPC分类号： H01S3/1394 , G03F7/706 , H01S3/005 , H01S3/083 , H01S3/094038 , H01S3/10092 , H01S3/1305 , H01S3/1392 , H01S3/1398
摘要： An injection-locked laser is disclosed. The injection-locked laser comprises a seed laser (1), an oscillator (O) into which a certain component of light output from the seed laser is injected as seed laser light, a frequency converter (6) which shifts a frequency of the remaining component of the light output from the seed laser, a photodetector (9) which detects light obtained by synthesizing the light output from the oscillator and the light output from the frequency converter, and a controller (5) which controls an optical path length of the oscillator based on a beat signal component contained in the signal output from the photodetector.
摘要翻译：注入锁定激光是游离缺失盘。注入锁定激光包括在振荡器（O）种子激光器（1）的合成向一个从所述种子激光器输出的光的某些成分被注入作为种子激光，频率转换器（6），该转移的剩余的频率从种子激光器输出的光的部件，光检测器（9），其检测通过合成从振荡器输出的光以及从所述频率转换器输出的光获得的光，以及一个控制器（5），该上的光路长度控制基于包含在从光检测器输出的信号的差拍信号分量上振荡器。

8. 发明授权

EP0552415B1 Optical source with frequency locked to an in-fiber grating resonator 失效
标题翻译：光，通过嵌入到一个光纤光栅谐振器频率稳定源的装置。
公开(公告)号：EP0552415B1
公开(公告)日：1995-07-12
申请号：EP92117012.2
申请日：1992-10-06
申请人： GENERAL INSTRUMENT CORPORATION OF DELAWARE
发明人： Huber, David R.
IPC分类号： H01S3/13 , H04B10/00
CPC分类号： H01S3/1398 , H01S5/0687

9. 发明公开

EP0552415A1 Optical source with frequency locked to an in-fiber grating resonator 失效
标题翻译： Optische，etel Faser eingebetteten Gitter-Resonators，频率稳定剂Quelle中的手套。
公开(公告)号：EP0552415A1
公开(公告)日：1993-07-28
申请号：EP92117012.2
申请日：1992-10-06
申请人： GENERAL INSTRUMENT CORPORATION OF DELAWARE
发明人： Huber, David R.
IPC分类号： H01S3/13 , H04B10/00
CPC分类号： H01S3/1398 , H01S5/0687
摘要： A frequency stabilized optical signal source is provided. A laser (10) produces an optical carrier at a wavelength λ. Feedback is provided to adjust the wavelength λ. In order to provide the feedback, a portion of the optical carrier is modulated by a periodic reference signal (wrf). An optical fiber (16) with an in-fiber resonator (18) is coupled to receive the modulated optical carrier. The resonator effects a phase and/or amplitude change between the modulated optical carrier and a sideband thereof at a resonant frequency of the resonator. The phase or amplitude change is detected and used to adjust the laser wavelength. In a preferred embodiment, a moire grating having a single resonant frequency is used as the in-fiber resonator. The feedback scheme can lock either to the carrier frequency itself, or to a selected sideband of the modulated optical carrier.
摘要翻译：提供了一种频率稳定的光信号源。激光器（10）产生波长为λ的光学载体。提供反馈来调整波长λ。为了提供反馈，光载波的一部分被周期性参考信号（wrf）调制。具有光纤内谐振器（18）的光纤（16）被耦合以接收经调制的光载波。谐振器在谐振器的谐振频率下在调制的光载波和其边带之间实现相位和/或幅度变化。检测相位或幅度变化并用于调整激光波长。在优选实施例中，使用具有单个谐振频率的莫尔光栅作为光纤内谐振器。反馈方案可以锁定到载波频率本身，或锁定到调制光载波的选定边带。

10. 发明公开

EP0192769A1 LASER MIRROR DISPLACEMENT DEVICE 失效
标题翻译：换档装置用于激光镜。
公开(公告)号：EP0192769A1
公开(公告)日：1986-09-03
申请号：EP85905552.0
申请日：1985-08-05
申请人： Hughes Aircraft Company
发明人： SHELDON, John, C. , HISAYASU, Dennis, M.
IPC分类号： H01S3 , G02B7
CPC分类号： H01S3/086 , G02B7/1827 , H01S3/1398
摘要： Un dispositif (10) utilisé pour rendre possible le déplacement axial d'un élément optique (12) dans une cavité de laser (14) de façon à régler la longueur du trajet optique dans la cavité comprend un récipient généralement cylindrique (16) connecté à l'extrémité de la cavité de laser où l'élément optique est situé, et une pile piézoélectrique (38) montée de telle façon dans le récipient que la longueur axiale de la pile puisse être modifiée d'une quantité correspondante au déplacement voulu de l'élément optique en réponse à un champ électrique appliqué à la pile. Une extrémité du récipient cylindrique comprend une membrane belleville (26) sur laquelle est monté l'élément optique dans la cavité de laser. Un chapeau fileté (20) très rigide qui forme l'extrémité du récipient cylindrique pré-charge la pile et la membrane d'un couple prescrit pour permettre au dispositif de fonctionner de manière satisfaisante lorqu'il est exposé à des conditions ambiantes extrêmes (par exemple, au-dessus de 5 KHz). La pile est montée dans le récipient cylindrique par des assemblages à billes et à cônes qui permettent uniquement l'application de forces axiales sur la pile ou par la pile, en assurant ainsi une commande fiable de l'extension de déplacement voulue de l'élément optique dans la cavité. la pile et les connexions électriques se situent à l'extérieur de la cavité de laser et ne contribuent pas à la contamination de dégazage.

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