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1. 发明公开

EP0732725A2 Method for identifying surface atoms of solid sample and apparatus therefor 失效
标题翻译：一种用于识别实心体及其装置的表面原子的方法
公开(公告)号：EP0732725A2
公开(公告)日：1996-09-18
申请号：EP96301728.0
申请日：1996-03-14
申请人： INTERNATIONAL SUPERCONDUCTIVITY TECHNOLOGY CENTER
发明人： Liu, Ziyuan , Morishita, Tadataka
IPC分类号： H01J37/252
CPC分类号： G01N23/2251 , H01J37/252 , H01J2237/255 , H01J2237/2561
摘要： The atoms constituting a surface of a solid sample are identified by first forming, on the surface, island-like deposits of a substance capable of generating fluorescent X-rays upon being energized by an electron beam. The deposits are then energized with the electron beam so that fluorescent X-rays are emitted therefrom and reflected on the surface. From the critical angle for total reflection of the fluorescent X-rays reflected on that portion of the surface of the sample on which no deposits are present, the atoms constituting the surface may be determined. An apparatus for carrying out the above method is also disclosed which is a modification of the conventional RHEED/TRAXS device.
摘要翻译：构成固体样品的表面的原子通过首先形成，在表面上鉴定，能够在由在电子束通过通电产生的荧光X射线的物质的冰岛状沉积物。沉积物然后与电子束激励所以没有荧光X射线被从那里发射和反射的表面上。从用于荧光的全反射的临界角的X射线反射那样在其上没有沉积物存在于样品的表面的部分中，构成表面的原子可以是确定的开采。因此，对于进行上述方法的装置是游离缺失盘所有这是传统的RHEED / TRAXS装置的变形例。

2. 发明申请

US20150340201A1 APPARATUS AND METHOD OF APPLYING SMALL-ANGLE ELECTRON SCATTERING TO CHARACTERIZE NANOSTRUCTURES ON OPAQUE SUBSTRATE 有权
标题翻译：将小角度电子散射应用于特征基片上的纳米结构的装置和方法
公开(公告)号：US20150340201A1
公开(公告)日：2015-11-26
申请号：US14720122
申请日：2015-05-22
申请人： Industrial Technology Research Institute
发明人： Wen-Li Wu , Yun-San Chien , Wei-En Fu , Yen-Song Chen , Hsin-Chia Ho
IPC分类号： H01J37/29 , H01J37/147 , H01J37/145 , H01J37/06
CPC分类号： H01J37/29 , G01N23/20058 , H01J37/04 , H01J37/06 , H01J37/145 , H01J37/295 , H01J2237/0492 , H01J2237/255
摘要： An apparatus and methods for small-angle electron beam scattering measurements in a reflection or a backscattering mode are provided. The apparatus includes an electron source, electron collimation optics before a sample, electron projection optics after the sample, a sample stage capable of holding the sample, and a electron detector module. The electrons emitted from the source are collimated and positioned to impinge nanostructures on the sample. The signals resulting from the interactions between the impinging electrons and the nanostructures are further magnified by the electron projection optics to reach a sufficient angular resolution before recorded by the electron detector module.
摘要翻译：提供了一种用于反射或后向散射模式的小角度电子束散射测量的装置和方法。该装置包括电子源，样品前的电子准直光学器件，样品后的电子投影光学器件，能够保持样品的样品台，以及电子检测器模块。从源发射的电子被准直并定位成将纳米结构撞击在样品上。由撞击电子和纳米结构之间的相互作用产生的信号被电子投影光学器件进一步放大，以在由电子检测器模块记录之前达到足够的角度分辨率。

3. 发明授权

US06420701B1 Method of determining average crystallite size of material and apparatus and method for preparing thin film of the material 失效
标题翻译：确定材料和设备的平均微晶尺寸的方法以及制备该材料的薄膜的方法
公开(公告)号：US06420701B1
公开(公告)日：2002-07-16
申请号：US09119660
申请日：1998-07-21
申请人： Hiroyuki Hashimoto
发明人： Hiroyuki Hashimoto
IPC分类号： H01J3729
CPC分类号： H01J37/252 , H01J2237/255
摘要： A specimen of thin film of a material having a crystal structure and exhibiting an absorption in ultraviolet region is irradiated with electron beams and the energy loss spectrum of the reflected electrons is observed and utilized. For example, the correlations of (1) the energy of the plasmon peak and the relative intensity of the plasmon peak to the elastic peak or the profile thereof, (2) the energy (loss energy being between 4 and 8 eV) of the peak attributed to &pgr;→&pgr;* transition and the relative intensity of the &pgr;→&pgr;* peak to the elastic peak or the profile thereof and (3) the profile of the background of the continuous spectrum formed by inelastic scattering of electrons or the relative intensity of a point to the elastic peak and the average crystallite size of the material of the specimen are used to determine the crystallite size of the material.
摘要翻译：用电子束照射具有晶体结构且在紫外线区域呈现吸收的材料的薄膜样本，并观察并利用反射电子的能量损失谱。例如，（1）等离子体激元峰的能量与等离子体激元峰的相对强度与弹性峰值或其轮廓的相关性，（2）峰值的能量（损耗能量在4和8eV之间）归因于pi-> pi *转变和pi-> pi *峰相对于弹性峰或其轮廓的相对强度，以及（3）由电子或相对的非弹性散射形成的连续光谱的背景分布使用试样的材料的弹性峰点和平均微晶尺寸的强度来确定材料的微晶尺寸。

4. 发明授权

US09390888B2 Apparatus and method of applying small-angle electron scattering to characterize nanostructures on opaque substrate 有权
标题翻译：应用小角度电子散射来表征不透明衬底上的纳米结构的装置和方法
公开(公告)号：US09390888B2
公开(公告)日：2016-07-12
申请号：US14720122
申请日：2015-05-22
申请人： Industrial Technology Research Institute
发明人： Wen-Li Wu , Yun-San Chien , Wei-En Fu , Yen-Song Chen , Hsin-Chia Ho
IPC分类号： H01J37/00 , H01J37/29 , H01J37/06 , H01J37/145 , H01J37/04 , H01J37/295 , G01N23/20
CPC分类号： H01J37/29 , G01N23/20058 , H01J37/04 , H01J37/06 , H01J37/145 , H01J37/295 , H01J2237/0492 , H01J2237/255
摘要： An apparatus and methods for small-angle electron beam scattering measurements in a reflection or a backscattering mode are provided. The apparatus includes an electron source, electron collimation optics before a sample, electron projection optics after the sample, a sample stage capable of holding the sample, and a electron detector module. The electrons emitted from the source are collimated and positioned to impinge nanostructures on the sample. The signals resulting from the interactions between the impinging electrons and the nanostructures are further magnified by the electron projection optics to reach a sufficient angular resolution before recorded by the electron detector module.
摘要翻译：提供了一种用于反射或后向散射模式的小角度电子束散射测量的装置和方法。该装置包括电子源，样品前的电子准直光学器件，样品后的电子投影光学器件，能够保持样品的样品台，以及电子检测器模块。从源发射的电子被准直并定位成将纳米结构撞击在样品上。由撞击电子和纳米结构之间的相互作用产生的信号被电子投影光学器件进一步放大，以在由电子检测器模块记录之前达到足够的角度分辨率。

5. 发明授权

US5093573A Reflection electron diffractometer and method for observing microscopic surface structure 失效
$Reflection electron diffractometer and method for observing microscopic surface structure$
标题翻译：反射电子衍射仪和观察微观表面结构的方法
公开(公告)号：US5093573A
公开(公告)日：1992-03-03
申请号：US532422
申请日：1990-06-04
申请人： Nobuo Mikoshiba , Tadashiro Ohmi , Kazuo Tsubouchi , Kazuya Masu
发明人： Nobuo Mikoshiba , Tadashiro Ohmi , Kazuo Tsubouchi , Kazuya Masu
IPC分类号： G01N23/20 , H01J37/295
CPC分类号： H01J37/2955 , G01N23/20058 , H01J2237/255
摘要： An improved RHEED apparatus and a method for observing step-like surface irregularities of a sample by the use of the improved RHEED apparatus.
摘要翻译：改进的RHEED装置和通过使用改进的RHEED装置观察样品的阶梯状表面凹凸的方法。

6. 发明公开

EP0460305A1 Method for observing microscopic surface structure 失效
标题翻译：电子反射衍射仪和用于观察微观表面结构的方法。
公开(公告)号：EP0460305A1
公开(公告)日：1991-12-11
申请号：EP90306073.9
申请日：1990-06-04
申请人： Mikoshiba, Nobuo , Ohmi, Tadahiro , Tsubouchi, Kazuo , Masu, Kazuya
发明人： Mikoshiba, Nobuo , Ohmi, Tadahiro , Tsubouchi, Kazuo , Masu, Kazuya
IPC分类号： G01N23/20 , H01J37/295
CPC分类号： H01J37/2955 , G01N23/20058 , H01J2237/255
摘要： A reflectio high energy electron diffraction apparatus comprises an electro beam source (1) for emitting as thin an electron beam as 0.1 micormeter in diameter,
a goniometric sample holder (5);
a fluorescent screen (6);
a plurality of displaceable light guides (7a, 7b, 7c);
a phtoelectric converting means (8a, 8b, 8c);
an arithmetic means (9); and
a means for making said electron beam scan a sample held by said goniometric sample holder (5).
摘要翻译：甲reflectio高能电子衍射装置包括向电束源（1），用于发射细如0.1至电子束micormeter直径，测角样本保持器（5）; 荧光屏（6）; 可移动的导光体的多个（图7A，7B，7C）; 一个phtoelectric转换装置（8A，8B，8C）; 到运算装置（9）; 和用于使所述电子束扫描由所述测角样本保持器（5）保持的样品的装置。

7. 发明授权

EP0854495B1 Vorrichtung und Verfahren zum betrieb eines Spektrometers mit Energie- und Winkel-auflösung 失效
标题翻译：装置和方法，用于操作具有能量和角度与分辨率的光谱仪
公开(公告)号：EP0854495B1
公开(公告)日：2003-09-03
申请号：EP97121756.7
申请日：1997-12-10
申请人： Staib Instrumente GmbH
发明人： Staib, Philippe, Dr.
IPC分类号： H01J49/48 , H01J37/252
CPC分类号： H01J49/488 , H01J37/252 , H01J2237/255

8. 发明公开

EP0854495A1 Vorrichtung und Verfahren zum betrieb eines Spektrometers mit Energie- und Winkel-auflösung 失效
标题翻译：装置和方法，用于操作具有能量和角度与分辨率的光谱仪
公开(公告)号：EP0854495A1
公开(公告)日：1998-07-22
申请号：EP97121756.7
申请日：1997-12-10
申请人： Staib Instrumente GmbH
发明人： Staib, Philippe, Dr.
IPC分类号： H01J49/48 , H01J37/252
CPC分类号： H01J49/488 , H01J37/252 , H01J2237/255
摘要： Bei der Abbildung eines Teilchenstrahls, der geladene Teilchen mit einer bestimmten Energie- und Winkelverteilung umfaßt, auf einem Detektormittel, durchläuft der Teilchenstrahl Ablenkmittel, die dazu vorgesehen sind, im Teilchenstrahl im wesentlichen parallele Teilchenbahnen auszubilden, deren gegenseitigen Abstände der Winkelverteilung der Teilchen entsprechen und die auf teildurchlässige, im wesentlichen ebene Filterelektroden gerichtet werden, die mit einer Potentialdifferenz zur Bildung eines Abbremsfeldes beaufschlagbar und dazu eingerichtet sind, für die Teilchen energieselektiv durchlässig zu sein.
摘要翻译：在用于成像的带电粒子的束具有一定的能量和角分布的检测器上，使用偏置半透明过滤器的电极用于形成减速场和粒子的能量选择性传输的装置和方法中，偏转系统被设置成形式，在粒子束，其具有相互间隔对应于所述粒子的角度分布和平行粒子路径被引导到过滤器上的电极。这样一种被设置有上述设备的光谱仪。优选地，所述偏转系统包括具有减速电位的一个或多个减速透镜其中在粒子光束传播方向增加时，减速透镜的减速电位和电子，离子，离子基团的成像滤波器减速电势被设定或带电原子或分子群体。

9. 发明申请

US20150109431A1 Systems and Methods for Material Texture Analysis 审中-公开
标题翻译：材料纹理分析的系统和方法
公开(公告)号：US20150109431A1
公开(公告)日：2015-04-23
申请号：US14299063
申请日：2014-06-09
申请人： EDAX, MATERIALS ANALYSIS DIVISION OF AMETEK INC.
发明人： Stuart I. Wright , Matthew M. Nowell , Peter A. de Kloe , Travis Michael Rampton , Patrick Paul Camus
IPC分类号： G01N23/203 , G06K9/62 , G06K9/46 , H01J37/244 , H01J37/28
CPC分类号： G06K9/6202 , G01N23/2251 , G01N2223/606 , G06K9/4604 , H01J37/244 , H01J37/28 , H01J2237/221 , H01J2237/24571 , H01J2237/24585 , H01J2237/255
摘要： The present inventions are related to systems and methods for determining characteristics of a material. The characteristics may include, but are not limited to, crystallographic texture.
摘要翻译：本发明涉及用于确定材料特性的系统和方法。特征可以包括但不限于晶体学结构。

10. 发明授权

US08280887B1 Hierarchical clustering using correlation metric and spatial continuity constraint 有权
标题翻译：使用相关度量和空间连续性约束的分层聚类
公开(公告)号：US08280887B1
公开(公告)日：2012-10-02
申请号：US13042053
申请日：2011-03-07
申请人： Christopher L. Stork , Luke N. Brewer
发明人： Christopher L. Stork , Luke N. Brewer
IPC分类号： G06F17/00
CPC分类号： G06F17/30943 , G06K9/6219 , H01J2237/22 , H01J2237/255
摘要： Large data sets are analyzed by hierarchical clustering using correlation as a similarity measure. This provides results that are superior to those obtained using a Euclidean distance similarity measure. A spatial continuity constraint may be applied in hierarchical clustering analysis of images.
摘要翻译：通过使用相关性作为相似性度量的分层聚类来分析大数据集。这提供了优于使用欧几里德距离相似性度量获得的结果的结果。空间连续性约束可以应用于图像的分层聚类分析。

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