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1. 发明公开

CN106444624A 抑制带移动轴的机器人的工具前端振动的机器人控制装置有权
公开(公告)号：CN106444624A
公开(公告)日：2017-02-22
申请号：CN201610566112.2
申请日：2016-07-18
申请人：发那科株式会社
发明人：般若刚
IPC分类号： G05B19/19
CPC分类号： B25J9/1641 , G05B2219/39195 , G05B2219/49169 , Y10S901/01 , G05B19/19
摘要：本发明提供一种能够抑制由移动轴的动作所引起的机器人的工具前端的振动的机器人控制装置。该机器人控制装置具备：移动量计算部，每当移动轴根据指令动作时，上述移动量计算部分别计算出移动轴的移动量及工具前端的移动量；以及修正部，在移动轴的移动量比预定的第一阈值大、且工具前端的移动量比预定的第二阈值小时，上述修正部对指令值进行修正，以使针对移动轴的速度及加速度中的至少任一方的指令值变小。

2. 发明授权

CN106444624B 抑制带移动轴的机器人的工具前端振动的机器人控制装置有权
公开(公告)号：CN106444624B
公开(公告)日：2018-06-29
申请号：CN201610566112.2
申请日：2016-07-18
申请人：发那科株式会社
发明人：般若刚
IPC分类号： G05B19/19
CPC分类号： B25J9/1641 , G05B2219/39195 , G05B2219/49169 , Y10S901/01
摘要：本发明提供一种能够抑制由移动轴的动作所引起的机器人的工具前端的振动的机器人控制装置。该机器人控制装置具备：移动量计算部，每当移动轴根据指令动作时，上述移动量计算部分别计算出移动轴的移动量及工具前端的移动量；以及修正部，在移动轴的移动量比预定的第一阈值大、且工具前端的移动量比预定的第二阈值小时，上述修正部对指令值进行修正，以使针对移动轴的速度及加速度中的至少任一方的指令值变小。

3. 发明公开

CN104039502A 加工操作的进程补偿及机器布置无效
公开(公告)号：CN104039502A
公开(公告)日：2014-09-10
申请号：CN201280057285.1
申请日：2012-09-21
申请人： SKF公司
发明人： J.卡明斯基 , S.霍格纳斯 , O.A.内古姆博
IPC分类号： B23Q15/12 , B23B25/06 , B23Q15/007
CPC分类号： G05B19/404 , B23B2215/12 , B23B2228/24 , G05B2219/37374 , G05B2219/49099 , G05B2219/49168 , G05B2219/49169 , G05B2219/49184 , G05B2219/49186
摘要：本发明涉及一种用于执行进程补偿在工件上加工操作的方法，其中，所述补偿过程包括产生代表相对于工件的加工表面在法线方向上施加在切削工具上的接触力大小的控制信号；基于所述控制信号，确定补偿参数值；以及基于所述补偿参数值，补偿所述加工操作。本发明还涉及相应的机器布置，用于执行在工件上加工操作，比如硬车削过程。

4. 发明公开

EP0072687A2 Tool touch probe system and method of precision machining 失效
标题翻译： Werkzeugtastsystem并进行精密加工的方法。
公开(公告)号：EP0072687A2
公开(公告)日：1983-02-23
申请号：EP82304301.3
申请日：1982-08-16
申请人： GENERAL ELECTRIC COMPANY
发明人： Kelley, John Robert , Zurbrick, John Ross
IPC分类号： G05B19/18
CPC分类号： G05B19/4015 , G05B2219/37207 , G05B2219/37231 , G05B2219/37351 , G05B2219/49169 , G05B2219/49392 , G05B2219/50031 , Y10T408/172
摘要： A system and method are disclosed for automatically machining a work piece to precise selectively determined dimensions under computer numerical control in which the cutting tool is set automatically and automatic on-machine inspection is performed of the machined work piece surfaces. Using vibration sensing to detect contact between the cutting edge (32) of the cutting tool and position reference surfaces (164, 166), the cutting edge is calibrated against these surface under closed loop control. The deviation between the programmed and the actual positions of the cutting edge at each reference surface is determined and an initial compensating tool position offset is automatically provided in each axis and is entered into numerical control means. After machining has been initiated, probing of the work piece occurs at least once before the final cut is taken. The tool functions as a tool touch probe during this operation and vibrations are sensed as the calibrated cutting edge is brought into contact with the machined surface. Appropriate tool position offsets are determined and entered into the numerical control means at that time, to assure that the dimensions of the finished surface will conform to the desired dimensions. After final machining has taken place, the finished surface is again probed with the calibrated cutting edge, using vibration sensing. Deviations from the desired dimensions are determined and are indicated together with the allowable machining tolerance for each dimension.

5. 发明申请

WO2003007349A2 HIGH TEMPERATURE SUBSTRATE TRANSFER ROBOT 审中-公开
标题翻译：高温基板传送机器人
公开(公告)号：WO2003007349A2
公开(公告)日：2003-01-23
申请号：PCT/US2002/022127
申请日：2002-07-12
申请人： APPLIED MATERIALS, INC.
发明人： PENCIS, Chris, Holt , HUDGENS, Jeffrey, C. , COX, Damon, Keith , RICE, Michael , CIULIK, James, R. , FREEMAN, Marvin, L. , VAN GOGH, David, A.
IPC分类号： H01L21/00
CPC分类号： H01L21/67748 , B25J9/0009 , B25J9/107 , B25J9/1628 , G05B19/404 , G05B2219/39192 , G05B2219/45031 , G05B2219/49169 , G05B2219/49207 , H01L21/67103 , H01L21/67259 , H01L21/67742 , H01L21/68
摘要： Generally, a robot for transferring a substrate in a processing system and a method of determining a position of the robot is provided. In one embodiment, a method of determining a position of a robot comprises acquiring a first set of positional metrics, acquiring a second set of positional metrics and resolving the position of the robot due to thermal expansion using the first set and the second set of positional metrics. Acquiring the first and second set of positional metrics may occur at the same location within a processing system, or may occur at different locations. For example, in another embodiment, the method may comprise acquiring a first set of positional metrics at a first location proximate a processing chamber and acquiring a second set of positional metrics in another location. In another embodiment, substrate center information is corrected using the determined position of the robot. The robot maybe comprised of linkages fabricated from materials selected to minimize the effects of thermal changes.
摘要翻译：通常，提供了一种用于在处理系统中传送基板的机器人和确定机器人的位置的方法。在一个实施例中，一种确定机器人位置的方法包括获取第一组位置度量，获取第二组位置度量并且利用第一组和第二组位置来解决由于热膨胀引起的机器人的位置指标。获取第一和第二组位置度量可以发生在处理系统内的相同位置处，或者可以在不同位置处发生。例如，在另一个实施例中，该方法可以包括在靠近处理室的第一位置获取第一组位置度量，并在另一个位置获取第二组位置度量。在另一个实施例中，使用所确定的机器人的位置校正基板中心信息。机器人可以由由选择的材料制成的连接件以使热变化的影响最小化。

6. 发明专利

JP2014531332A 機械加工操作のインプロセス補償及び機械装置审中-公开
标题翻译：进程补偿和机械加工操作
公开(公告)号：JP2014531332A
公开(公告)日：2014-11-27
申请号：JP2014531761
申请日：2012-09-21
申请人：アクティエボラゲット・エスコーエッフ
发明人：ヤセク・カミンスキ , ステファン・ヘグネス , オスカル・アー・ネグエンボール
IPC分类号： B23Q15/12 , B23B1/00 , B23Q17/09 , G05B19/404
CPC分类号： G05B19/404 , B23B2215/12 , B23B2228/24 , G05B2219/37374 , G05B2219/49099 , G05B2219/49168 , G05B2219/49169 , G05B2219/49184 , G05B2219/49186
摘要：本発明は、ワークピースの機械加工表面についてインプロセス補償を実施するための方法であって、インプロセス補償プロセスが、ワークピースの機械加工表面に関する法線方向において切削工具に作用する接触力の大きさを示す制御信号を発生させるステップと、制御信号に基づいて補償パラメータ値を決定するステップと、インプロセス補償パラメータ値に基づいて機械加工操作を補償するステップとを備えている、方法に関する。また、本発明は、ワークピースについて例えば高硬度旋削のような機械加工操作を実施するための対応する機械装置に関する。
摘要翻译：本发明提供了用于执行进程补偿用于加工工件的表面上，进程补偿处理的方法中，作用在切削工具在法线方向围绕工件尺寸的机加工表面的接触力产生控制信号指示所述的，基于所述控制信号的补偿参数值的步骤，和补偿加工操作过程中的补偿参数值的基础上，一种方法的步骤。本发明还涉及一种用于进行加工操作，如工件的对应机如高硬度转动。

7. 发明公开

EP2821868A1 Machine tool provided with a calibration apparatus adapted to compensate for its structural thermal deformation. 审中-公开
标题翻译：与用于补偿它们的结构的热变形的校准装置机床
公开(公告)号：EP2821868A1
公开(公告)日：2015-01-07
申请号：EP13425095.0
申请日：2013-07-04
申请人： VIGEL S.p.A.
发明人： Massaia, Marco , Stabio, Diego , Francesia Villa, Daniele
IPC分类号： G05B19/401
CPC分类号： G05B19/4015 , G05B2219/49169 , G05B2219/49207 , G05B2219/50016 , G05B2219/50031
摘要： A frame (12) suports a machining head (36) and a support (24, 26) for workpieces (28a, 28b, 30a, 30b). The head (36) may shift with respect to the support (24, 26) along an axis (Y) upon control of a control unit (CNC). A proximity sensor (38) attached to the machining head (36) is connected to transmit an electric signal to the control unit (CNC), which signal is variable as a function of the distance of the sensor (38) from a reference element (40) attached to the support (24, 26). The control unit (CNC) is programmed to perform a calibration cycle, upon command, in which the machining head (36) is moved to a predetermined reference position (X_REF, REF_VALUE, Z_REF) in which the sensor (38) is capable of detecting the distance of the reference element (40), the actual distance (ACT_VALUE) of the reference element (40) is measured by the sensor (38), the measured actual distance (ACT_VALUE) is compared with a predetermined reference distance (REF_VALUE), and any difference between the actual distance (ACT_VALUE) and the reference distance (REF_VALUE) is compensated by correspondingly correcting the distance between the machining head (36) and the support (24, 26) along the axis (Y) during machining.
摘要翻译：框架（12）suports的加工头（36）和用于工件的支撑件（24，26）（28A，28B，30A，30B）。所述头部（36）可相对于沿着上时的控制单元（CNC）的控制轴（Y）的支撑件（24，26）移位。附接至所述加工头（36）的接近传感器（38）是连接到发送（到电信号至控制单元（CNC），该信号是作为所述传感器（38）的距离的从参考元件的功能可变 40）附接到所述支撑件（24，26）。所述控制单元（CNC）进行编程以执行校准周期，根据命令，其中，所述加工头（36）移动到预定基准位置（X_ref，REF_VALUE，Z_REF），其中传感器（38）能够检测参考元件（40），所述实际距离参考元件（ACT_VALUE）（40）的距离由所述传感器（38），测量的实际距离（ACT_VALUE）测量与预定的基准距离进行比较（REF_VALUE）和实际距离（ACT_VALUE）和参考距离（REF_VALUE）之间的任何差由加工过程中相应地校正所述加工头（36）和支撑（24，26）沿所述轴线（Y）之间的距离来补偿。

8. 发明公开

EP2613909A1 LARGE MACHINE TOOL WITH DEVICE FOR THE DETECTION AND CORRECTION OF DEFORMATION 审中-公开
标题翻译：有用于检测的设备和形状校正BIG机床
公开(公告)号：EP2613909A1
公开(公告)日：2013-07-17
申请号：EP11748450.1
申请日：2011-06-22
申请人： INNSE-BERARDI S.p.A.
发明人： ZUCCHINI, Stefano , GOFFRINI, Roberto
IPC分类号： B23Q11/00 , B23Q17/22 , B23Q15/18 , G05B19/404
CPC分类号： B23Q17/22 , B23Q11/0003 , G05B19/404 , G05B2219/49169
摘要： A machine tool (1) comprises an upright (4), a carriage (8), a head (9), a mandrel (10) and a correction group (20). The correction group ( 20 ) comprises detection means (30, 30', 30") suitable for detecting the deviation of the head (9) from a reference condition and a correction device (22), operatively associated to the detection devices, acting on the carriage (8) or on the upright (4) to correct the deviation detected by the detection means.

9. 发明公开

EP0877270A1 Thermal compensation focus adjustments 失效
标题翻译： Fokussierungseinstellung zur thermischen Kompensation
公开(公告)号：EP0877270A1
公开(公告)日：1998-11-11
申请号：EP98201536.4
申请日：1998-05-01
申请人： Bayer Corporation
发明人： Viola, David P.
IPC分类号： G02B7/04
CPC分类号： B41J2/475 , G02B7/008 , G02B7/28 , G05B2219/49169 , G05B2219/49212 , G11B7/0946
摘要： An imaging system with beam focus adjustment, includes an emitter which emits a beam of radiation (22) along a beam path and an optical assembly (20), having a focus adjustment mechanism, configured to focus the emitted beam on a medium (12) to be imaged. A medium support member (14) supports the medium on its support surface during imaging. A sensor (13) generates temperature data representing a detected temperature of the medium support member and a controller (38) controls the focus adjustment mechanism in accordance with the temperature data to adjust the focus of the emitted beam on the medium.
摘要翻译：具有束聚焦调节的成像系统包括沿着光束路径发射辐射束（22）的发射器和具有聚焦调节机构的光学组件（20），其配置成将发射的光束聚焦在介质（12）上，被成像。介质支撑构件（14）在成像期间在其支撑表面上支撑介质。传感器（13）产生表示介质支撑构件的检测温度的温度数据，并且控制器（38）根据温度数据控制焦点调节机构，以调节发射光束在介质上的焦点。

10. 发明申请

WO1988003074A1 ELECTRIC DISCHARGE APPARATUS 审中-公开
标题翻译：电动放电装置
公开(公告)号：WO1988003074A1
公开(公告)日：1988-05-05
申请号：PCT/JP1987000815
申请日：1987-10-23
申请人： MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA , SUZUKI, Toshio; , MAGARA, Takuji;
发明人： MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA
IPC分类号： B23Q15/00
CPC分类号： B23H7/20 , G05B19/232 , G05B19/404 , G05B2219/41036 , G05B2219/45221 , G05B2219/49169 , G05B2219/49194 , G05B2219/49219
摘要： In an electric discharge apparatus of the type wherein an electrode (1) such as a wire electrode or a diesinking electrode and a workpiece (6) are disposed in such a manner as to face each other with a very small gap between them, a working solution (7) is put into the very small gap, discharge is caused between the electrode (1) and the workpiece (6), and the electrode (1) and the workpiece (6) are moved relatively by driving shafts (37), (67) such as ball screws in order to electrically discharge the workpiece (6) into a desired shape, the present invention determines correction data for correcting the driving quantity of the driving shafts (37), (67) under a plurality of different load and temperature conditions, stores in advance these correction data in a memory (41), selects a correction data suitable for the actual working condition from among the correction data thus stored in the memory and corrects the driving quantity to be given to the driving shafts (37), (67) in accordance with the selected correction data. Even if the driving shafts (37), (67) undergo expansion or contraction due to heat from surroundings, or deformation or expansion/contraction due to load by the weight of the workpiece (6) and the working solution (7), the driving quantity of the driving shafts (37), (67) can be corrected correctly. Accordingly, the relative position between the workpiece (6) and the electrode (1) can be controlled accurately, and high precision working can be performed.
摘要翻译：在这样的放电装置中，其中诸如线电极或去耦电极的电极（1）和工件（6）以彼此之间以非常小的间隙彼此面对的方式设置，工作溶液（7）被放入非常小的间隙中，在电极（1）和工件（6）之间引起放电，并且电极（1）和工件（6）通过驱动轴（37）相对移动，（67），以便将工件（6）电气放电成所需的形状，本发明确定用于校正多个不同负载下的驱动轴（37），（67）的驱动量的校正数据和温度条件，将这些校正数据预先存储在存储器（41）中，从存储在存储器中的校正数据中选择适合于实际工作状态的校正数据，并校正要提供给驱动轴的驱动量（ 37），（67） e选择校正数据。驱动轴（37），（67）由于来自周围环境的热量而发生膨胀或收缩，或者由于工件（6）和工作液（7）的重量造成的负荷引起的变形或膨胀/收缩，驱动可以正确地校正驱动轴（37），（67）的数量。因此，可以精确地控制工件（6）和电极（1）之间的相对位置，并且可以进行高精度的加工。

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