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1. 发明公开

CN106124059A 红外探测器像元结构及其制备方法有权
公开(公告)号：CN106124059A
公开(公告)日：2016-11-16
申请号：CN201610564866.4
申请日：2016-07-18
申请人：上海集成电路研发中心有限公司
发明人：康晓旭 , 赵宇航
IPC分类号： G01J5/00 , G01J5/38 , G01L9/12 , G01L9/08
CPC分类号： G01J5/00 , G01J5/0022 , G01J5/38 , G01J2005/0077 , G01L9/08 , G01L9/12
摘要：本发明提供了一种红外探测器像元结构及其制备方法，通过在硅衬底底部键合键合衬底，利用键合衬底中的红外吸收层来吸收部分的红外光，在硅衬底中设置填充有红外敏感气体的密闭空腔，在密闭空腔上键合压电转换结构，当红外敏感气体吸收到红外光发生膨胀时，会挤压压电部件，导致压电转换结构产生的压电信号发生变化，从而实现对红外光的探测。

2. 发明公开

CN106248222A 红外探测器像元结构及其制备方法有权
公开(公告)号：CN106248222A
公开(公告)日：2016-12-21
申请号：CN201610564510.0
申请日：2016-07-18
申请人：上海集成电路研发中心有限公司
发明人：康晓旭
IPC分类号： G01J5/38
CPC分类号： G01J5/38
摘要：本发明的红外探测器像元结构及其制备方法，包括具有红外吸收层的键合衬底和以及与键合衬底相键合的底部硅层，在底部硅层中形成第一密闭空腔，以及围绕第一密闭空腔形成真空态的第二密闭空腔；第一密闭空腔被红外吸收层和层间介质封闭，第一密闭空腔中填充红外敏感气体；在第一密闭空腔下方和上方周围分别具有第一开口、第二开口和第三开口，用于将像元结构与其它区域隔离；红外光依次穿过红外吸收层后进入第一密闭空腔中，使得红外敏感气体受到该过滤的红外光照射而产生能量变化，从而对第一导电类型沟道和第二导电类型沟道产生应力，使第一MOS器件和第二MOS器件分别产生相反的电信号，形成差分输出，本发明探测方便且探测精度高。

3. 发明授权

CN102313595B 光传感器有权
公开(公告)号：CN102313595B
公开(公告)日：2014-03-19
申请号：CN201110150405.X
申请日：2011-06-07
申请人： NXP股份有限公司
发明人：戴维·蒂奥·卡斯特罗 , 奥瑞利·休伯特
IPC分类号： G01J1/42 , H01L51/42
CPC分类号： G01J5/38 , G01J1/42 , G01N17/043
摘要：易腐货物接收到的光剂量是确定这些货物的使用期限的重要参数。本发明描述了一种光传感器(30)，具有根据接收到的光剂量改变其材料特性的光敏元件(18)。这种变化可以通过光传感器中的电极(12、14)电检测。由于材料特性的变化是永久的，因此这不需要存储器来存储表示光传感器接收到的光剂量的值。

4. 发明公开

CN101802576A 红外传感器、焦平面阵列及其红外成像系统有权转让
公开(公告)号：CN101802576A
公开(公告)日：2010-08-11
申请号：CN200780100699.7
申请日：2007-09-28
申请人：沈憧棐
发明人：沈憧棐
IPC分类号： G01J5/38
CPC分类号： G01J5/10 , G01J3/26 , G01J5/02 , G01J5/023 , G01J5/024 , G01J5/08 , G01J5/0853 , G01J5/0862 , G01J5/38
摘要：一种红外传感器包括：第一膜层结构(103)，第二膜层结构(104)，和形成于第一膜层结构(103)和第二膜层结构(104)之间的空隙。参照光从第一和第二膜层结构(103，104)中的一个入射。当空隙变化时，从一个膜层结构透射的参照光的强度发生变化，而且反射回来的参照光的强度发生变化。当红外线入射时，至少一个膜层结构吸收红外线而导致至少一个膜层结构的温度发生变化，从而导致空隙的距离发生变化。通过探测从另一膜层结构透射的参照光的强度变化或者通过探测反射回来的参照光的强度的变化，从而测量到红外线。

5. 发明公开

CN105737975A 基于MIM高灵敏度SPP太赫兹探测器失效
公开(公告)号：CN105737975A
公开(公告)日：2016-07-06
申请号：CN201610085878.9
申请日：2016-02-15
申请人：欧阳征标
发明人：欧阳征标 , 陈治良
IPC分类号： G01J1/02 , G01J1/42
CPC分类号： G01J5/38 , G01J1/0209 , G01J1/42
摘要：本发明公开了一种基于MIM高灵敏度SPP太赫兹波探测器，它由一个矩形腔、一个太赫兹波吸收腔、银块、一个竖直波导、一个水平波导、三个金属模、一个太赫兹探测光、一个水平参考光和一个光电探测器组成；所述矩形腔位于太赫兹探测波的输入端；所述太赫兹波吸收腔和竖直波导相连接；所述银块设置于竖直波导内，可以移动；所述竖直波导和水平波导相连接；所述太赫兹探测光位于矩形腔的上端。本发明结构紧凑，体积小，灵敏度高，便于集成。

6. 发明授权

CN101802576B 红外传感器、焦平面阵列及其红外成像系统有权转让
公开(公告)号：CN101802576B
公开(公告)日：2013-01-30
申请号：CN200780100699.7
申请日：2007-09-28
申请人：沈憧棐
发明人：沈憧棐
IPC分类号： G01J5/38
CPC分类号： G01J5/10 , G01J3/26 , G01J5/02 , G01J5/023 , G01J5/024 , G01J5/08 , G01J5/0853 , G01J5/0862 , G01J5/38
摘要：一种红外传感器包括：第一膜层结构(103)，第二膜层结构(104)，和形成于第一膜层结构(103)和第二膜层结构(104)之间的空隙。参照光从第一和第二膜层结构(103，104)中的一个入射。当空隙变化时，从一个膜层结构透射的参照光的强度发生变化，而且反射回来的参照光的强度发生变化。当红外线入射时，至少一个膜层结构吸收红外线而导致至少一个膜层结构的温度发生变化，从而导致空隙的距离发生变化。通过探测从另一膜层结构透射的参照光的强度变化或者通过探测反射回来的参照光的强度的变化，从而测量到红外线。

7. 发明公开

CN102313595A 光传感器有权
公开(公告)号：CN102313595A
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：CN201110150405.X
申请日：2011-06-07
申请人： NXP股份有限公司
发明人：戴维·蒂奥·卡斯特罗 , 奥瑞利·休伯特
IPC分类号： G01J1/42 , H01L51/42
CPC分类号： G01J5/38 , G01J1/42 , G01N17/043
摘要：易腐货物接收到的光剂量是确定这些货物的使用期限的重要参数。本发明描述了一种光传感器(30)，具有根据接收到的光剂量改变其材料特性的光敏元件(18)。这种变化可以通过光传感器中的电极(12、14)电检测。由于材料特性的变化是永久的，因此这不需要存储器来存储表示光传感器接收到的光剂量的值。

8. 发明授权

US07707896B2 Mechanical amplification of small dimensional changes using bowing 有权
标题翻译：使用弯曲的小尺寸变化的机械放大
公开(公告)号：US07707896B2
公开(公告)日：2010-05-04
申请号：US12014153
申请日：2008-01-15
申请人： James A. Kuzdrall
发明人： James A. Kuzdrall
IPC分类号： G01N3/20
CPC分类号： G01B11/161 , G01J5/061 , G01J5/38 , G01K5/58 , G01R33/04 , G05D23/27541
摘要： The method and apparatus employ a resilient element having end definition points that are constrained between stops spaced apart at a separation S. The separation S is less than a free length L between the end definition points when not constrained, causing the resilient element to bow and resulting in a displacement m of a central region of the resilient element. The displacement m changes responsive to the net change in the separation S and the free length L. When the geometry is set such that the displacement m is very small, a relatively large change in displacement m results from small net changes. The change in the displacement m can be monitored to provide a micro strain gauge. The stops can be mounted to a substrate which differs from the resilient element in its response to a selected environmental stimulus to provide a sensor for the environmental stimulus.
摘要翻译：该方法和装置采用弹性元件，该弹性元件具有约束在间隔S间隔开的止挡件之间的端部定义点。当不限制时，分离部分S小于端部定义点之间的自由长度L，导致弹性元件弓形导致弹性元件的中心区域的位移m。位移m响应于分离S和自由长度L的净变化而变化。当设置几何形状使得位移m非常小时，位移m的相对较大的变化是由于净变化的小。可以监测位移m的变化以提供微应变计。止动件可以安装到与弹性元件不同的基板，其响应于所选择的环境刺激，以提供用于环境刺激的传感器。

9. 发明授权

US06414782B1 Luminous intensity sensor element and light beam modulating method and device employing such a sensor element 失效
标题翻译：发光强度传感器元件和采用这种传感器元件的光束调制方法和装置
公开(公告)号：US06414782B1
公开(公告)日：2002-07-02
申请号：US09463266
申请日：2000-05-15
申请人： Maurice Whelan , Robert P. Kenny , John T. Sheridan , Alfredo C. Lucia
发明人： Maurice Whelan , Robert P. Kenny , John T. Sheridan , Alfredo C. Lucia
IPC分类号： G02B2600
CPC分类号： G02B26/02 , G01J5/38
摘要： A luminous intensity sensor element having a flat disk-shaped element (2) made of material with a high thermal expansion coefficient and of low thermal conductivity, and in turn having, on opposite faces (3, 5), an optically absorbent layer (4) and a reflecting layer (6). On receiving excitation radiation (R), the optically absorbent layer (4) is heated and transmits heat to the flat disk-shaped (2), which in turn is heated internally in spatially nonuniform manner and is deformed together with the superimposed reflecting layer (6). The reflecting layer (6) receives an incident reference layer beam (S) to generate a reflected light beam having optical characteristics (&Dgr;&phgr;) depending on the aforementioned deformation (&Dgr;d) and varying in response to the excitation radiation.
摘要翻译：一种发光强度传感器元件，具有由具有高热膨胀系数和低导热性的材料制成的扁平盘形元件（2），并且在相对面（3,5）上具有光学吸收层（4））和反射层（6）。在接收到激发辐射（R）时，光学吸收层（4）被加热并传递到扁平盘状（2）上，平板状（2）在空间不均匀的状态下被内部加热并与叠加的反射层 6）。反射层（6）接收入射参考层光束（S），以根据上述变形（DELTAd）产生具有光学特性（DELTA））的反射光束并且响应于激发辐射而变化。

10. 发明授权

US3526865A Thermal radiation sensitive thermostat 失效
标题翻译：热辐射敏感温度计
公开(公告)号：US3526865A
公开(公告)日：1970-09-01
申请号：US3526865D
申请日：1969-03-24
申请人： DOLPHUS H BLACK
发明人： BLACK DOLPHUS H
IPC分类号： G01J5/38 , H01H37/32
CPC分类号： H01H37/32 , G01J5/38 , H01H2037/326

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