在用于半导体器件的形成，EUV（极紫外线; EUV）光刻工艺用的光sikidoe通波长，长波长光比极紫外辐射是光敏聚合物阻塞，图像包含相同 公开了使用抗蚀剂组合物形成抗蚀剂图案的抗蚀剂组合物和方法。 光敏聚合物由权利要求1的式1表示。

使用加热或暴露于光并通过加热光致抗蚀剂图案表面后形成的光致抗蚀剂图案以形成图案的保护膜含有双重图案化技术在图案形成方法中，交联材料固化 Lt。 该光致抗蚀剂组合物包含3至30重量％的光敏聚合物; 基于100重量份的光敏聚合物，0.5至75重量份的由权利要求1的通式（1）和/或（2）表示的交联固化剂; 基于100重量份的光敏聚合物，0.05至15重量份的光酸产生剂; 和剩下的溶剂。

本发明的至少一个引导固定，使得上和下销100的移动而移动到所述销，以便感受突出对触觉涉及在垂直方向上限定的扫描方法触觉显示器 板180，能够在垂直的方向上往复运动到销的橡胶状弹性材料的表面上的下部110附接到两侧以固定保持所述销中的突出部121，该销在凹洼122 释放销向上突出被固定到重复突出，固定与凹图案栏120，框架160，由线性致动器170驱动的框架160推投影目标销自由移动 使得销驱动器850，一个框架160固定到与由所述致动器销850被固定杆120，该移动销下部部分110和jeongba以便对应于的凹槽部分122使得有可能驱动 固定杆分离装置130， ，固定到所述框架，以及固定杆固定条耦合装置140至120，以使移动销位于下部110和固定突起121对应于销100，杆的驱动以固定销 并且在销和导板之间安装一个弹簧（510,610），以便在释放时自行下降。 为了在显示平面上的特定（X，Y）坐标的销（100）上显示触觉信息，线性驱动器（170）将框架（160）移动到坐标的X位置。 X位置到达固定在先前帧160中，由分离单元130，其被固定在杆120上销下部110是释放销100可通过销驱动器850来控制 的状态。 此时，通过销驱动手段850个驱动销100轻微地移动在一个控制以显示预期状态机140在Y位置的触觉信息耦合框架160中，根据需要引脚下 销100的位置可以通过碰撞固定杆120的突起121来固定，以将触觉信息传输给用户。