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1. 发明申请

WO2010007036A3 OPTICAL DEVICE HAVING A DEFORMABLE OPTICAL ELEMENT 审中-公开
标题翻译：可变形光学元件的光学设备
公开(公告)号：WO2010007036A3
公开(公告)日：2010-06-10
申请号：PCT/EP2009058943
申请日：2009-07-14
申请人： ZEISS CARL SMT AG , SCHOEPPACH ARMIN , STEINBACH MANFRED
发明人： SCHOEPPACH ARMIN , STEINBACH MANFRED
IPC分类号： G03F7/20 , G02B7/02
CPC分类号： G03F7/7015 , G02B26/06 , G02B27/0068 , G03F7/70266 , G03F7/70825
摘要： The present invention relates to an optical device (108), in particular for microlithography, having an optical module (109) and a supporting structure (110), wherein the supporting structure supports the optical module. The optical module has an optical element (107.1) and a holding device (111), wherein the holding device holds the optical element. The holding device has a deformation device (114) with a plurality of active deformation units (114.1), which make contact with the optical element and are designed to apply a defined deformation to the optical element. The optical module is attached to the supporting structure such that it can be replaced.
摘要翻译：本发明涉及一种光学设备（108），特别是用于微光刻，包括：光学模块（109）和支撑结构（110），其中，所述支撑结构支撑的光模块。光学模块包括光学元件（107.1）和保持装置（111），其中，所述保持装置保持所述光学元件。所述保持装置包括具有多个活性变形单元（114.1），它们是到所述光学元件接触，并且被配置以赋予所限定的光学元件的变形的变形装置（114）。光模块更换地安装在支撑结构上。

2. 发明申请

WO2006119970A2 ASSEMBLY FOR ADJUSTING OF AN OPTICAL ELEMENT 审中-公开
标题翻译：组装调整光学元件
公开(公告)号：WO2006119970A2
公开(公告)日：2006-11-16
申请号：PCT/EP2006004337
申请日：2006-05-09
申请人： ZEISS CARL SMT AG , SCHOEPPACH AMIN , STEINBACH MANFRED , SCHLETTERER THOMAS , LOPEZ-REAL ERNESTO
发明人： SCHOEPPACH AMIN , STEINBACH MANFRED , SCHLETTERER THOMAS , LOPEZ-REAL ERNESTO
IPC分类号： G02B7/02 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/70825 , G02B7/005 , G02B7/023 , G03F7/70258
摘要： An assembly for fixation or adjusting of an optical element (1) with regard to an outer mount or support (4) wherein the optical element (1) is alignable with regard to a structure of the optical arrangement, particularly the objective structure or the objective barrel, having an optical axis or with regard to neighbouring mounts by means of an adjusting arrangement, is characterized in that the adjusting arrangement comprises at least an elastic means (9), particularly a spring, an elastic rod or stick, an elastic tape or an elastic gear wheel or an elastic gear box by which a force or a torque is applicable to the optical element (1).
摘要翻译：一种用于相对于外部安装件或支撑件（4）固定或调整光学元件（1）的组件，其中所述光学元件（1）可相对于所述光学装置的结构，特别是所述物镜结构或所述物镜具有光轴或通过调节装置相对于相邻安装件的镜筒的特征在于，所述调节装置至少包括弹性装置（9），特别是弹簧，弹性杆或杆，弹性带或弹性齿轮或弹性齿轮箱，其中力或扭矩适用于光学元件（1）。

3. 发明专利

DE102008032853A1 未知
公开(公告)号：DE102008032853A1
公开(公告)日：2010-01-21
申请号：DE102008032853
申请日：2008-07-14
申请人： ZEISS CARL SMT AG
发明人： STEINBACH MANFRED , SCHOEPPACH ARMIN
IPC分类号： G02B7/00 , G02B7/185 , G03F7/20

4. 发明专利

DE19823416A1 Astronomical clock with unobstructed view of display 未知
公开(公告)号：DE19823416A1
公开(公告)日：1999-12-02
申请号：DE19823416
申请日：1998-05-26
申请人： STEINBACH MANFRED
发明人： STEINBACH MANFRED
IPC分类号： G04B19/26 , G04B13/00 , G04B19/02 , G04B45/00
摘要： The clock shows time and date and has a computer storing astronomical data and formula. The clock has a central mobile display of astronomical data indicated by fingers (7), e.g. the position of the moon (18). They are attached to the peripheries of hollow wheels (10) arranged one above the other and which are driven by a computer controlled drive

6. 发明专利

DD204790A1 未知
公开(公告)号：DD204790A1
公开(公告)日：1983-12-07
申请号：DD23708982
申请日：1982-02-01
申请人： STEINBACH MANFRED , RICHTER GOTTHARD
发明人： STEINBACH MANFRED , RICHTER GOTTHARD
IPC分类号： G06K9/82

7. 发明专利

DE102012025493A1 Präzisionshalterung 未知
公开(公告)号：DE102012025493A1
公开(公告)日：2014-06-26
申请号：DE102012025493
申请日：2012-12-21
申请人： STEINBACH MANFRED
发明人： STEINBACH MANFRED
IPC分类号： G02B7/00
摘要： Die Erfindung betrifft eine Präzisionshalterung zur Fixierung von vorzugsweise optischen Bauteilen an ihren Trägern mit Hilfe von partiell biegeweich, aber längssteif gestalteten Zwischengliedern, die sowohl mit den Bauteilen als auch mit den Trägern fest verbunden sind. Die Aufgabe der Erfindung, Bauteile, insbesondere Präzisionsbauteile, kinematisch richtig und ohne störende oder fehlende Freiheitsgrade an ihren Trägern reproduzierbar zu halten, so dass sich externe Einflüsse ebenso wenig auf die Zuordnung von Bauteil und Träger auswirken wie Einflüsse von Materialalterung, Aushärtung eines verwendeten Klebers, oder Temperatureinwirkungen, wird dadurch gelöst, dass die Bauteile kinematisch richtig und genau mit dem Freiheitsgrad null gehalten werden, in dem die Zwischenglieder in mehreren Gruppen zu je drei oder sechs Zwischengliedern angeordnet sind, von denen jede Gruppe für sich den Freiheitsgrad null in der Bewegung des jeweiligen Bauteils gegenüber den jeweiligen Trägern gewährleistet.

8. 发明专利

DD271483A1 未知
公开(公告)号：DD271483A1
公开(公告)日：1989-09-06
申请号：DD25719583
申请日：1983-11-29
申请人： STEINBACH MANFRED , ARTUS HELMUT
发明人： STEINBACH MANFRED , ARTUS HELMUT
IPC分类号： B24B13/04

9. 发明专利

DD155185A1 未知
公开(公告)号：DD155185A1
公开(公告)日：1982-05-19
申请号：DD22591680
申请日：1980-12-10
申请人： THIEM DIETRICH , BURKHARDT KLAUS , LOCHNER BERND , STEINBACH MANFRED , TAENZER BRUNHILDE
发明人： THIEM DIETRICH , BURKHARDT KLAUS , LOCHNER BERND , STEINBACH MANFRED , TAENZER BRUNHILDE
IPC分类号： D06C23/00

10. 发明专利

DD152592A1 未知
公开(公告)号：DD152592A1
公开(公告)日：1981-12-02
申请号：DD22334580
申请日：1980-08-15
申请人： BURKHARDT KLAUS , LOCHNER BERND , THIEM DIETRICH , STEINBACH MANFRED , TAENZER BRUNHILDE , BERGMANN GERHARD , KLAUS HELGA
发明人： BURKHARDT KLAUS , LOCHNER BERND , THIEM DIETRICH , STEINBACH MANFRED , TAENZER BRUNHILDE , BERGMANN GERHARD , KLAUS HELGA
IPC分类号： D06C23/00

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