会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 3. 发明授权
    • Method of inspecting a substrate
    • 检查基板的方法
    • US08755043B2
    • 2014-06-17
    • US13300023
    • 2011-11-18
    • Hee-Tae KimMin-Young Kim
    • Hee-Tae KimMin-Young Kim
    • G01B11/06G01B11/25
    • G01B11/2531G01B11/2527
    • A method of inspecting a substrate is disclosed. The method of inspecting a substrate, comprises: obtaining phase data per projecting part with regard to a substrate, by projecting pattern beam onto the substrate having a target object formed thereon through a plurality of projecting parts in sequence; obtaining height data per projecting part with regard to the substrate by using the phase data per the projecting part; compensating tilt of the height data by using the height data per projecting part; modifying the tilt-compensated height data per projecting part; and obtaining integrated height data by using the modified height data.
    • 公开了一种检查基板的方法。 检查基板的方法包括:通过依次通过多个突出部分将图案光束投射到其上形成有目标物体的基板上,获得相对于基板的每个突出部分的相位数据; 通过使用每个突出部分的相位数据获得关于基板的每个突出部分的高度数据; 通过使用每个突出部分的高度数据来补偿高度数据的倾斜度; 修改每个突出部分的倾斜补偿高度数据; 并通过使用修改的高度数据获得集成的高度数据。
    • 7. 发明申请
    • METHOD OF INSPECTING A SUBSTRATE
    • 检查基板的方法
    • US20120127486A1
    • 2012-05-24
    • US13300023
    • 2011-11-18
    • Hee-Tae KimMin-Young Kim
    • Hee-Tae KimMin-Young Kim
    • G01B11/06
    • G01B11/2531G01B11/2527
    • A method of inspecting a substrate is disclosed. The method of inspecting a substrate, comprises: obtaining phase data per projecting part with regard to a substrate, by projecting pattern beam onto the substrate having a target object formed thereon through a plurality of projecting parts in sequence; obtaining height data per projecting part with regard to the substrate by using the phase data per the projecting part; compensating tilt of the height data by using the height data per projecting part; modifying the tilt-compensated height data per projecting part; and obtaining integrated height data by using the modified height data.
    • 公开了一种检查基板的方法。 检查基板的方法包括:通过依次通过多个突出部分将图案光束投射到其上形成有目标物体的基板上,获得相对于基板的每个突出部分的相位数据; 通过使用每个突出部分的相位数据获得关于基板的每个突出部分的高度数据; 通过使用每个突出部分的高度数据来补偿高度数据的倾斜度; 修改每个突出部分的倾斜补偿高度数据; 并通过使用修改的高度数据获得集成的高度数据。