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    • 6. 发明申请
    • METHOD OF MANUFACTURING INERTIAL SENSOR
    • 制造传感器的方法
    • US20130122189A1
    • 2013-05-16
    • US13541279
    • 2012-07-03
    • Jong Woon KimJung Won Lee
    • Jong Woon KimJung Won Lee
    • B05D5/00
    • G01C19/5769G01P15/0802
    • Disclosed herein is a method of manufacturing an inertial sensor. The method includes: (A) preparing a base substrate; (B) forming a depressed first concave part in one surface of the base substrate; (C) forming a mass body in the first concave part by filling a metal or a combination of a metal and a polymer (or a polymer matrix composite) therein; and (D) forming a depressed second concave part in one surface of the base substrate at an outer side of the mass body and forming a flexible part on an upper portion of the second concave part in the base substrate. The mass body formed of the metal or the combination of the metal and the polymer (or the polymer matrix composite) has high density, thereby making it possible to improve sensitivity of the inertial sensor.
    • 本文公开了一种制造惯性传感器的方法。 该方法包括:(A)制备基底; (B)在基底基板的一个表面上形成凹陷的第一凹部; (C)通过在其中填充金属或金属和聚合物(或聚合物基质复合材料)的组合来在第一凹部中形成质量体; 和(D)在所述质量体的外侧形成在所述基底基板的一个表面中的凹陷的第二凹部,并且在所述基底基板的所述第二凹部的上部形成柔性部。 由金属形成的质量体或金属和聚合物(或聚合物基质复合体)的组合具有高密度,从而可以提高惯性传感器的灵敏度。