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1. 发明授权

US06630380B1 Method for making three-dimensional metal-insulator-metal capacitors for dynamic random access memory (DRAM) and ferroelectric random access memory (FERAM) 失效
标题翻译：制造用于动态随机存取存储器（DRAM）和铁电随机存取存储器（FERAM）的三维金属 - 绝缘体 - 金属电容器的方法
公开(公告)号：US06630380B1
公开(公告)日：2003-10-07
申请号：US10261303
申请日：2002-09-30
申请人： Wei-Hua Cheng , Daniel Yen , Kunihiko Takahashi , Ming Lei , Thomas Joy
发明人： Wei-Hua Cheng , Daniel Yen , Kunihiko Takahashi , Ming Lei , Thomas Joy
IPC分类号： H01L218242
CPC分类号： H01L21/76895 , H01L27/10855 , H01L27/11502 , H01L27/11507 , H01L28/55 , H01L28/60
摘要： A method for making metal-insulator-metal (MIM) capacitors having insulators with high-dielectric-constant or ferroelectric interelectrode films compatible with the dual-damascene process is achieved. The method of integrating the MIM with a dual-damascene process is to form a planar a first insulating layer and to deposit an etch-stop layer and a second insulating layer. Capacitor node contact openings are etched to the substrate and first recesses are etched to the etch-stop layer. The contact openings and first recesses are filled with a conducting layer using a dual-damascene process. Second recesses are formed in the second insulating layer around the capacitor node contacts. A conformal first metal layer, an interelectrode dielectric layer, and a second metal layer are deposited, and are patterned at the same time to form the capacitors over the node contacts. The second recesses increase the capacitor area while the simultaneous patterning of the metal layers results in fewer processing steps.
摘要翻译：实现了具有与双镶嵌工艺兼容的高介电常数或铁电电极间绝缘体的金属绝缘体金属（MIM）电容器的方法。将MIM与双镶嵌工艺集成的方法是形成平面的第一绝缘层并沉积蚀刻停止层和第二绝缘层。将电容器节点接触开口蚀刻到衬底上，并将第一凹槽蚀刻到蚀刻停止层。接触开口和第一凹槽使用双镶嵌工艺填充导电层。第二凹陷形成在电容器节点触点周围的第二绝缘层中。沉积保形第一金属层，电极间电介质层和第二金属层，并且同时形成图案以在节点触点上形成电容器。第二凹槽增加了电容器面积，而金属层的同时构图导致较少的加工步骤。

2. 外观设计

USD397180S Golf club head 失效
公开(公告)号：USD397180S
公开(公告)日：1998-08-18
申请号：US59442
申请日：1996-09-11
申请人： Kunihiko Takahashi , Takao Horie , Yutaka Oku
设计人： Kunihiko Takahashi , Takao Horie , Yutaka Oku

3. 外观设计

USD386549S Golf club head 失效
公开(公告)号：USD386549S
公开(公告)日：1997-11-18
申请号：US54345
申请日：1996-05-13
申请人： Kunihiko Takahashi , Yasuto Imai , Takehiko Asakuno
设计人： Kunihiko Takahashi , Yasuto Imai , Takehiko Asakuno

4. 外观设计

USD410514S Golf club head 失效
公开(公告)号：USD410514S
公开(公告)日：1999-06-01
申请号：US85774
申请日：1998-03-30
申请人： Kunihiko Takahashi , Yutaka Oku , Kenichi Shinoda
设计人： Kunihiko Takahashi , Yutaka Oku , Kenichi Shinoda

5. 外观设计

USD389206S Golf club head 失效
公开(公告)号：USD389206S
公开(公告)日：1998-01-13
申请号：US55993
申请日：1996-06-19
申请人： Kunihiko Takahashi
设计人： Kunihiko Takahashi

6. 外观设计

USD377381S Golf club head 失效
公开(公告)号：USD377381S
公开(公告)日：1997-01-14
申请号：US48617
申请日：1996-01-05
申请人： Kunihiko Takahashi , Yuichi Aizawa
设计人： Kunihiko Takahashi , Yuichi Aizawa

7. 外观设计

USD362041S Golf club head 失效
公开(公告)号：USD362041S
公开(公告)日：1995-09-05
申请号：US24671
申请日：1994-06-20
申请人： Kunihiko Takahashi , Yuichi Aizawa
设计人： Kunihiko Takahashi , Yuichi Aizawa

8. 外观设计

USD354537S Golf club head 失效
公开(公告)号：USD354537S
公开(公告)日：1995-01-17
申请号：US8773
申请日：1993-05-26
申请人： Kunihiko Takahashi , Shigeki Take
设计人： Kunihiko Takahashi , Shigeki Take

9. 发明授权

US08441193B2 Electronic frequency tuning magnetron 有权
标题翻译：电子调频磁控管
公开(公告)号：US08441193B2
公开(公告)日：2013-05-14
申请号：US12572454
申请日：2009-10-02
申请人： Hideyuki Obata , Kunihiko Takahashi
发明人： Hideyuki Obata , Kunihiko Takahashi
IPC分类号： H01J25/50
CPC分类号： H01J25/587 , H01J23/213
摘要： A highly-reliable electronic frequency tuning magnetron comprises an anode for forming a resonant cavity which is segmented into a plurality of spaces in an inner periphery side of a cylindrical anode shell, a cathode provided at the center of the anode shell along its cylindrical axial direction and an exhausted structure having a coaxial central conductor which is connected to the inside of the cavity of the anode shell and is coupled thereto in a high-frequency manner, wherein the coaxial central conductor is externally led through a wall of the exhausted structure via a through-hole and the through-hole is covered by a dielectric portion placed between an external conductor for constituting the coaxial central conductor and the central conductor, wherein a portion of the led coaxial central conductor is conductively connected to a switching element.
摘要翻译：一种高度可靠的电子调频磁控管包括用于形成谐振腔的阳极，该谐振腔被分割成圆柱形阳极壳的内周侧的多个空间，阴极沿其圆柱形轴向方向设置在阳极壳的中心以及具有同轴中心导体的排气结构，该同轴中心导体连接到阳极壳的空腔的内部，并以高频方式与其连接，其中同轴中心导体经外部引导通过排气结构的壁经由通孔和通孔被布置在用于构成同轴中心导体的外部导体和中心导体之间的电介质部分覆盖，其中，一部分led同轴中心导体导电地连接到开关元件。

10. 发明申请

US20110057563A1 Electronic Frequency Tuning Magnetron 有权
标题翻译：电子调频磁控管
公开(公告)号：US20110057563A1
公开(公告)日：2011-03-10
申请号：US12572454
申请日：2009-10-02
申请人： Hideyuki Obata , Kunihiko Takahashi
发明人： Hideyuki Obata , Kunihiko Takahashi
IPC分类号： H01J25/50
CPC分类号： H01J25/587 , H01J23/213
摘要： A highly-reliable electronic frequency tuning magnetron comprises an anode for forming a resonant cavity which is segmented into a plurality of spaces in an inner periphery side of a cylindrical anode shell, a cathode provided at the center of the anode shell along its cylindrical axial direction and an exhausted structure having a coaxial central conductor which is connected to the inside of the cavity of the anode shell and is coupled thereto in a high-frequency manner, wherein the coaxial central conductor is externally led through a wall of the exhausted structure via a through-hole and the through-hole is covered by a dielectric portion placed between an external conductor for constituting the coaxial central conductor and the central conductor, wherein a portion of the led coaxial central conductor is conductively connected to a switching element.
摘要翻译：一种高度可靠的电子调频磁控管包括用于形成谐振腔的阳极，该谐振腔被分割成圆柱形阳极壳的内周侧的多个空间，阴极沿其圆柱形轴向方向设置在阳极壳的中心以及具有同轴中心导体的排气结构，该同轴中心导体连接到阳极壳的空腔的内部，并以高频方式与其连接，其中同轴中心导体经外部引导通过排气结构的壁经由通孔和通孔被布置在用于构成同轴中心导体的外部导体和中心导体之间的电介质部分覆盖，其中，一部分led同轴中心导体导电地连接到开关元件。

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