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1. 发明申请

WO2007051461A1 VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUM REDUNDANTEN ANODEN-SPUTTERN 审中-公开
标题翻译：方法和设备，用于冗余阳极溅射
公开(公告)号：WO2007051461A1
公开(公告)日：2007-05-10
申请号：PCT/DE2006/001942
申请日：2006-11-06
申请人： VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH , TESCHNER, Goetz , MILDE, Falk , MIRRING, Enno , MEISSNER, Falk , GROSSER, Goetz
发明人： TESCHNER, Goetz , MILDE, Falk , MIRRING, Enno , MEISSNER, Falk , GROSSER, Goetz
IPC分类号： H01J37/34 , C23C14/35
CPC分类号： H01J37/3444 , C23C14/354 , C23C14/564 , H01J37/32532 , H01J37/3405 , H01J37/3408 , H01J37/3438
摘要： Der Erfindung, die ein Verfahren zum Beschichten eines Substrats mit einer als Magnetron ausgebildeten Kathode, neben der zwei Elektroden wechselweise mit positivem Potenzial (Anodenpotenzial) oder mit negativem Potenzial beaufschlagt werden, und eine Anordnung zum Beschichten eines Substrats mit einer Vakuumkammer, einer Magnetron-Kathode, zwei Elektroden und einer Spannungsquelle betrifft, liegt die Aufgabe zugrunde, die Qualität von Substratbeschichtungen durch eine Erhöhung der Schichtdickengleichmäßigkeit und durch eine Verringerung von durch redundante Anoden hervorgerufene Verunreinigung des Substrates zu erhöhen. Dies wird verfahrensseitig dadurch gelöst, dass das negative Potenzial mit einer Höhe erzeugt wird, die höchstens gleich der Höhe des Kathodenpotenziales ist. Damit wird vermieden, dass die zu reinigende Elektrode stärker abgetragen wird, als sie in der vorangegangenen Halbwelle beschichtet wurde. Die anordnungsseitige Lösung sieht vor, dass die Magnetron-Kathode und die Elektroden über Schaltelemente mit der Spannungsquelle ohne eine galvanischen verbunden sind, derart, dass an den Elektroden wechselweise eine aus der Spannungsquelle erzeugte negative und positive Spannung anlegbar ist, deren Höhe höchstens gleich der Kathodenspannung ist.
摘要翻译：本发明的涂料与形成为磁控管阴极，除了两个电极交替地具有正电位（阳极电位），或与负电位被施加一基板的方法，以及用于与真空腔室中涂覆衬底的布置中，一个磁控管阴极是指两个电极和其目的，通过增加所造成的基片的多余的阳极污染的减小层厚度和均匀性，以增加衬底涂层的质量的电压源。此过程相互实现，即负电位与高度，其至多等于阴极Potenziales的高度产生的。这确保了待清洁的电极是更磨损比它涂布在前面的半波被避免。排列侧解决方案提供了磁控管阴极和电极经由开关元件与电压源无电镀这样连接，使得在电极中，从电压源产生的负的和正的电压可以交替施加，该高度至多等于阴极电压是。

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