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    • 4. 发明公开
    • SYSTEM AND DEVICE FOR COLLECTING PIEZOELECTRIC ENERGY
    • 用于收集压电能量的系统和装置
    • EP3319133A1
    • 2018-05-09
    • EP16813778.4
    • 2016-05-20
    • Consejo Superior De Investigaciones Científicas
    • MURILLO RODRIGUEZ, GonzaloESTEVE TINTO, JaumeSACRISTAN RIQUELME, Jorge
    • H01L41/113
    • H01L41/1136H01L27/20
    • A piezoelectric mechanical energy harvesting device is disclosed. The device is driven by environmentally-available mechanical energy. The device is an out-of-plane cantilever-based piezoelectric energy harvester based on ZnO nanostructures monolithically integrated with Schottky diodes and an entire-chip capacitor. ZnO will be utilized in two different forms: nanowires (NWs) and nanosheets (NSs). These nanostructures will be grown by a silicon-friendly hydrothermal process and using part of the top capacitor electrode as seed layer. A step-by-step process flow is proposed to integrate monolithically in a same device. This integration will allow reduced power losses and ease the combination of several generators without concerns about the stress and charge signs.
    • 公开了一种压电机械能量收集装置。 该设备由环保机械能驱动。 该器件是一种基于ZnO纳米结构的基于悬臂梁的压电能量收集器,采用单片集成肖特基二极管和整个片式电容器。 ZnO将以两种不同的形式使用:纳米线(NW)和纳米片(NS)。 这些纳米结构将通过有利于硅的水热过程生长,并使用部分顶部电容电极作为晶种层。 建议逐步处理流程将单片集成到同一设备中。 这种集成将允许减少功率损失,并简化多个发电机的组合,而不用担心应力和充电迹象。