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1. 发明专利

JP2015059930A 歪みセンサ、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ、携帯情報端末および補聴器有权
标题翻译：失真传感器，压力传感器，麦克风，血压传感器，便携式信息终端和听力辅助
公开(公告)号：JP2015059930A
公开(公告)日：2015-03-30
申请号：JP2013196204
申请日：2013-09-20
申请人：株式会社東芝 , Toshiba Corp
发明人： HIGASHI YOSHIHIRO , FUKUZAWA HIDEAKI , FUJI YOSHIHIKO , HARA MICHIKO , KII MASAYUKI , HORI AKIO , NAGATA TOMOHIKO
IPC分类号： G01L9/16 , H01L29/84 , H01L43/08 , H04R15/00 , H04R25/00
CPC分类号： G01L1/12 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/00
摘要：【課題】外部磁場を除去することができる、あるいはエコーの発生を抑制することができる歪みセンサ、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ、携帯情報端末および補聴器を提供する。【解決手段】実施形態によれば、基体と、歪み検知素子と、磁場検知素子と、処理部と、を備えた歪みセンサが提供される。基体は、変形可能な膜体を有する。歪み検知素子は、膜体の上に設けられる。歪み検知素子は、第1の磁化を有する第1磁性層と、第2の磁化を有する第2磁性層と、第1磁性層と第2磁性層との間に設けられた第1中間層と、を含む。磁場検知素子は、膜体以外の基体の上に設けられる。磁場検知素子は、第3の磁化を有する第3磁性層と、第4の磁化を有する第4磁性層と、第3磁性層と第4磁性層との間に設けられた第2中間層と、を含む。処理部は、歪み検知素子の出力信号と磁場検知素子の出力信号とを処理する。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供能够去除外部磁场或抑制回波发生的失真传感器，压力传感器，麦克风，血压传感器，便携式信息终端和助听器。解决方案：根据一个实施例，失真传感器包括：基体; 失真检测元件，磁场检测元件和处理单元。基体具有可变形的膜体。所述失真检测元件设置在所述膜体上，并且包括：具有第一磁化强度的第一磁性层; 具有第二磁化的第二磁性层; 以及设置在第一磁性层和第二磁性层之间的第一中间层。所述磁场检测元件设置在所述基体上，除了所述膜主体部分之外的部分中，并且包括：具有第三磁化强度的第三磁性层; 具有第四磁化强度的第四磁性层; 以及设置在第三磁性层和第四磁性层之间的第二中间层。处理单元处理失真检测元件的输出信号和磁场检测元件的输出信号。

2. 发明专利

JP2014052360A Pressure detection element and manufacturing method thereof 有权
标题翻译：压力检测元件及其制造方法
公开(公告)号：JP2014052360A
公开(公告)日：2014-03-20
申请号：JP2012198996
申请日：2012-09-10
申请人： Toshiba Corp , 株式会社東芝
发明人： YUASA HIROMI , FUKUZAWA HIDEAKI , FUJI YOSHIHIKO , HARA MICHIKO , HIGASHI YOSHIHIRO , NAGATA TOMOHIKO , HORI AKIO
IPC分类号： G01L1/12 , H01L29/84 , H01L43/08
CPC分类号： G01L9/0051 , G01L1/125 , G01L9/16 , H01L41/125
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a small-sized and high-sensitivity pressure detection element.SOLUTION: The pressure detection element includes: a support substrate having a thin film area which bends due to pressure; a sensor film including a first electrode provided on the thin film area, a second electrode provided on the first electrode, a reference layer provided between the first electrode and the second electrode, a magnetization free layer which is provided between the reference layer and the first electrode or between the reference layer and the second electrode and changes magnetization due to bending of the thin film area, and a spacer layer provided between the reference layer and the magnetization free layer; and a shield which is provided on a surface of the support substrate where the sensor film exists, and comprises a soft magnetic material.
摘要翻译：要解决的问题：提供小型和高灵敏度的压力检测元件。解决方案：压力检测元件包括：具有由于压力而弯曲的薄膜区域的支撑基板; 传感器膜，包括设置在薄膜区域上的第一电极，设置在第一电极上的第二电极，设置在第一电极和第二电极之间的参考层，设置在参考层和第一电极之间的无磁化层电极或参考层和第二电极之间，并且由于薄膜区域的弯曲而改变磁化，以及设置在参考层和无磁化层之间的间隔层; 以及设置在所述支撑基板的存在所述传感器膜的表面上并且包括软磁性材料的屏蔽件。

3. 发明专利

JP2013205255A Method for manufacturing pressure detection element 有权
标题翻译：制造压力检测元件的方法
公开(公告)号：JP2013205255A
公开(公告)日：2013-10-07
申请号：JP2012075148
申请日：2012-03-28
申请人： Toshiba Corp , 株式会社東芝
发明人： HIGASHI YOSHIHIRO , HARA MICHIKO , FUKUZAWA HIDEAKI , FUJI YOSHIHIKO , YUASA HIROMI , NAGATA TOMOHIKO
IPC分类号： G01L9/16 , G01L9/00 , G01R33/09 , H01L43/08 , H01L43/12
CPC分类号： G01R3/00 , A61B5/02141 , A61B2562/0247 , G01L1/125 , G01L9/0048 , G01L9/16 , Y10T29/49007
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method for manufacturing a pressure detection element having high sensitivity.SOLUTION: There is provided a method for manufacturing a pressure detection element, wherein a sensor part and a mounting substrate are prepared. The sensor part includes a film body and an element part provided on the film body. The element part comprises: a first electrode having first and second parts; a second electrode having third and fourth parts; a first magnetic layer which is provided between the second and third parts and has magnetization in a first direction; a second magnetic layer provided between the first magnetic layer and the third part; and a nonmagnetic layer provided between the first and second magnetic layers. An angle between the magnetization of the first and second magnetic layers are changed according to the distortion of the film body. The mounting substrate includes a substrate and first and second electrode pads provided on the substrate. The second electrode pad and the fourth part are bonded by bonding the first electrode pad and the first part while applying an external magnetic field to the sensor part along the first direction and heating.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种制造具有高灵敏度的压力检测元件的方法。解决方案：提供一种制造压力检测元件的方法，其中制备传感器部件和安装基板。传感器部分包括胶片主体和设置在胶片主体上的元件部分。元件部分包括：具有第一和第二部分的第一电极; 具有第三和第四部分的第二电极; 第一磁性层，其设置在第二和第三部分之间，并且在第一方向上具有磁化; 设置在所述第一磁性层和所述第三部分之间的第二磁性层; 以及设置在第一和第二磁性层之间的非磁性层。第一和第二磁性层的磁化之间的角度根据胶片体的变形而改变。安装基板包括基板和设置在基板上的第一和第二电极焊盘。第二电极焊盘和第四部分通过接合第一电极焊盘和第一部分，同时沿着第一方向对传感器部分施加外部磁场并进行加热来接合。

4. 发明专利

JP2013197205A Magnetoresistance effect element, magnetic head assembly, magnetic recording/reproducing device, and magnetic memory 有权
标题翻译：磁阻效应元件，磁头组件，磁记录/再现器件和磁记忆
公开(公告)号：JP2013197205A
公开(公告)日：2013-09-30
申请号：JP2012061104
申请日：2012-03-16
申请人： Toshiba Corp , 株式会社東芝
发明人： FUJI YOSHIHIKO , HARA MICHIKO , FUKUZAWA HIDEAKI , YUASA HIROMI
IPC分类号： H01L43/10 , G11B5/39 , H01L21/8246 , H01L27/105 , H01L43/08
CPC分类号： G11B5/1274 , G01R33/093 , G11B5/3906 , G11B5/3909 , G11B5/3983 , G11C11/16 , G11C11/161 , G11C11/1659 , H01L27/228 , H01L43/08 , H01L43/10
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetoresistance effect element, a magnetic head assembly, a magnetic recording/reproducing device, and a magnetic memory having large MR change rates.SOLUTION: According to an embodiment, a magnetoresistance effect element includes a first electrode, a second electrode, a first magnetic layer, a second magnetic layer, a non-magnetic layer, and an oxide layer. The first magnetic layer is provided between the first electrode and the second electrode. The second magnetic layer is provided between the first magnetic layer and the second electrode. The non-magnetic layer is provided between the first magnetic layer and the second magnetic layer. The oxide layer is provided between the first electrode and the second electrode. The oxide layer is an oxide layer made of a metal oxide. The oxide layer includes wustite crystal grains having (111)-face orientation of a wustite structure including iron. Face intervals between (111) faces of the wustite crystal grains are in a range between 0.253 nm and 0.275 nm inclusive.
摘要翻译：要解决的问题：提供磁阻效应元件，磁头组件，磁记录/再现装置和具有大MR变化率的磁存储器。解决方案：根据实施例，磁阻效应元件包括第一电极，第二电极，第一磁性层，第二磁性层，非磁性层和氧化物层。第一磁性层设置在第一电极和第二电极之间。第二磁性层设置在第一磁性层和第二电极之间。非磁性层设置在第一磁性层和第二磁性层之间。氧化物层设置在第一电极和第二电极之间。氧化物层是由金属氧化物构成的氧化物层。氧化物层包括具有包括铁的方铁矿结构（111）面取向的方铁矿晶粒。方铁矿晶粒的（111）面之间的面间隔在0.253nm和0.275nm之间的范围内。

5. 发明专利

JP2013149998A Magneto-resistance effect element, magnetic head assembly and magnetic recording device 有权
标题翻译：磁阻效应元件，磁头组件和磁记录装置
公开(公告)号：JP2013149998A
公开(公告)日：2013-08-01
申请号：JP2013049712
申请日：2013-03-12
申请人： Toshiba Corp , 株式会社東芝
发明人： FUJI YOSHIHIKO , HARA MICHIKO , FUKUZAWA HIDEAKI , YUASA HIROMI , MURAKAMI SHUICHI
IPC分类号： H01L43/08 , G11B5/39 , H01L21/8246 , H01L27/105
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magneto-resistance effect element in which an MR change rate can be increased, and to provide a magnetic head assembly and a magnetic recording device.SOLUTION: The magneto-resistance effect element comprises: laminate; and a pair of electrodes for feeding current in a lamination direction of the laminate. The laminate comprises: a first magnetic layer; a second magnetic layer, and a spacer layer arranged between the first magnetic layer and the second magnetic layer. At least one layer of the first magnetic layer, the second magnetic layer, and the spacer layer comprises an oxide layer consisting of metal oxide, and the crystal structure of the metal oxide is NaCl structure.
摘要翻译：要解决的问题：提供可以提高MR变化率的磁阻效应元件，并提供磁头组件和磁记录装置。解决方案：磁阻效应元件包括：层压板; 以及一对用于在层叠体的层叠方向上供给电流的电极。层压体包括：第一磁性层; 第二磁性层和布置在第一磁性层和第二磁性层之间的间隔层。第一磁性层，第二磁性层和间隔层的至少一层包含由金属氧化物构成的氧化物层，金属氧化物的晶体结构为NaCl结构。

6. 发明专利

JP2013072712A Distortion detector and method of manufacturing the same 有权
标题翻译：失真检测器及其制造方法
公开(公告)号：JP2013072712A
公开(公告)日：2013-04-22
申请号：JP2011211212
申请日：2011-09-27
申请人： Toshiba Corp , 株式会社東芝
发明人： FUKUZAWA HIDEAKI , OGURO TATSUYA , KOJIMA AKIHIRO , SUGIZAKI YOSHIAKI , TAKAYANAGI MARIKO , FUJI YOSHIHIKO , HORI AKIO , HARA MICHIKO
IPC分类号： G01B7/24 , H01L43/08
CPC分类号： B81C1/00158 , B81B2201/0264 , B81C1/00246 , B81C2203/0771 , G01L9/0042 , H04R1/08 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a distortion detector capable of detecting a distortion in a very small area at a high sensitivity, and a method of manufacturing the same.SOLUTION: In an embodiment, a distortion detector comprises: a semiconductor circuit part; and a detection part that is provided on the semiconductor circuit part. The semiconductor circuit part has a transistor that is provided on a semiconductor substrate. The detection part has a cavity part that is provided above the transistor and a non-cavity part that is arranged in parallel with the cavity part. The detection part includes a movable beam, a distortion detection element part, and first and second embedded wirings. The movable beam having a fixed part and a movable part includes first and second wiring layers. The fixed part is fixed to the non-cavity part. The movable part extends from the fixed part to the cavity part and is separated from the transistor. The distortion detection element part is fixed to the movable part, is electrically connected with the first and second wiring layers, and includes a first magnetic layer. The first and second embedded wirings are provided in the non-cavity part and electrically connect the first and second wiring layers and the semiconductor circuit part.
摘要翻译：要解决的问题：提供能够以高灵敏度检测非常小的区域中的失真的失真检测器及其制造方法。解决方案：在一个实施例中，失真检测器包括：半导体电路部分; 以及设置在半导体电路部上的检测部。半导体电路部分具有设置在半导体衬底上的晶体管。检测部分具有设置在晶体管上方的空腔部分和与空腔部分平行布置的非空腔部分。检测部分包括可移动光束，失真检测元件部分和第一和第二嵌入布线。具有固定部分和可移动部分的可移动光束包括第一和第二布线层。固定部分固定在非空腔部分。可动部分从固定部分延伸到空腔部分并与晶体管分离。失真检测元件部分固定在可动部分上，与第一和第二布线层电连接，并包括第一磁性层。第一和第二嵌入布线设置在非空腔部分中，并且电连接第一和第二布线层和半导体电路部分。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

7. 发明专利

JP2015061056A 歪検知素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル有权
标题翻译：应变检测元件，压力传感器，麦克风，血压传感器和触控面板
公开(公告)号：JP2015061056A
公开(公告)日：2015-03-30
申请号：JP2013196049
申请日：2013-09-20
申请人：株式会社東芝 , Toshiba Corp
发明人： FUJI YOSHIHIKO , FUKUZAWA HIDEAKI , KAJI SHIORI , HORI AKIO , NAGATA TOMOHIKO , HARA MICHIKO , HIGASHI YOSHIHIRO , YUZAWA AKIKO
IPC分类号： H01L43/08 , G01L9/02 , H01L29/84
CPC分类号： A61B5/02141 , A61B5/6824 , A61B2562/0247 , G01L1/125 , G01L9/0041 , G01L9/16
摘要：【課題】高感度の歪検知素子、圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネルを提供する。【解決手段】実施形態によれば、変形可能な膜部の上に設けられる歪検知素子が提供される。前記歪検知素子は、機能層と、第1磁性層と、第2磁性層と、中間層と、を含む。前記機能層は、酸化物及び窒化物の少なくともいずれかを含む。前記第2磁性層は、前記機能層と前記第1磁性層との間に設けられ前記膜部の変形に応じて磁化が可変である。前記中間層は、前記第1磁性層と前記第2磁性層との間に設けられる。前記第2磁性層の少なくとも一部は、アモルファスでありホウ素を含む。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供高灵敏度的应变检测元件，压力传感器，麦克风，血压传感器和触摸面板。根据实施例，应变检测元件设置在可变形提供膜部件。应变检测元件包括功能层，第一磁性层，第二磁性层和中间层。功能层含有氧化物和氮化物中的至少一种。第二磁性层设置在功能层和第一磁性层之间，并且根据膜部分的变形具有可变化的磁化。中间层设置在第一磁性层和第二磁性层之间。第二磁性层的至少一部分是无定形的并含有硼。

8. 发明专利

JP2015059927A 圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネル有权
标题翻译：压力传感器，麦克风，血压传感器和触控面板
公开(公告)号：JP2015059927A
公开(公告)日：2015-03-30
申请号：JP2013196065
申请日：2013-09-20
申请人：株式会社東芝 , Toshiba Corp
发明人： FUJI YOSHIHIKO , FUKUZAWA HIDEAKI , HARA MICHIKO , NAGATA TOMOHIKO , HORI AKIO , KAJI SHIORI , HIGASHI YOSHIHIRO , YUZAWA AKIKO
IPC分类号： G01L9/16 , A61B5/022 , G01L1/12 , G01L5/00 , G06F3/041 , H04R15/00
CPC分类号： G01L9/16 , A61B5/021 , A61B5/02141 , A61B5/6824 , A61B2562/0247 , G01L9/0001 , G06F3/0414 , H04R19/005 , H04R19/04 , H04R31/00
摘要：【課題】高感度の圧力センサ、マイクロフォン、血圧センサ及びタッチパネルを提供する。【解決手段】実施形態によれば、支持部と、支持部に支持され上面を有し変形可能な膜部と、上面上に設けられた検知素子と、を含む圧力センサが提供される。検知素子は、膜部の変形に応じて磁化が変化する第1磁性層と、第1磁性層と離間する第2磁性層と、第1磁性層と第2磁性層との間に設けられた部分を含む中間層を含む中間部と、を含む。第1磁性層は、上面に対して平行な第1方向に延在し、第1方向の第1磁性層の第1長軸長は、上面に対して平行で第1方向と交差する方向の第1磁性層の第1短軸長よりも長い。第2磁性層は、上面に対して平行で第1方向と交差する第2方向に延在し、第2方向の第2磁性層の第2長軸長は、上面に対して平行で第2方向と交差する方向の第2磁性層の第2短軸長よりも長い。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供具有高灵敏度的压力传感器，麦克风，血压传感器和触摸面板。解决方案：根据实施例，提供一种压力传感器，包括：支撑部分; 由支撑部支撑的薄膜部分具有顶表面，并且是可变形的; 以及设置在上表面上的检测元件。检测元件包括：其磁化改变对应于膜部分的变形的第一磁性层; 与第一磁性层分离的第二磁性层; 中间部分包括中间层，该中间层包括设置在第一磁性层和第二磁性层之间的区域。第一磁性层在与顶面平行的第一方向上延伸，第一磁性层在第一方向上的第一长轴长度比第一磁性层的与第一磁性层平行的方向的第一短轴长度长顶表面并穿过第一个方向。第二磁性层在与顶表面平行且与第一方向平行的第二方向上延伸，并且第二磁性层在第二方向上的第二长轴长度比第二磁性层的第二短轴长度长在与顶表面平行并与第二方向交叉的方向上。

9. 发明专利

JP2014102171A Pressure sensor, microphone, blood pressure sensor and touch panel 有权
标题翻译：压力传感器，麦克风，血压传感器和触控面板
公开(公告)号：JP2014102171A
公开(公告)日：2014-06-05
申请号：JP2012254784
申请日：2012-11-20
申请人： Toshiba Corp , 株式会社東芝
发明人： FUKUZAWA HIDEAKI , HIGASHI YOSHIHIRO , FUJI YOSHIHIKO , HARA MICHIKO , HORI AKIO , KAJI SHIORI , NAGATA TOMOHIKO , YUZAWA AKIKO
IPC分类号： G01L9/16 , H04R15/00
CPC分类号： G01L1/125 , A61B5/021 , A61B2562/0247 , B81B3/0086 , B81B2201/0257 , G01L3/102 , H04R19/04
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a pressure sensor, a microphone, a blood pressure sensor and a touch panel which can attempt improvement of sensitivity.SOLUTION: The pressure sensor comprises a basement, a membranous part provided to the basement and having flexibility, and multiple sensing elements provided on the membranous part radially for a center of gravity of the membranous part. Each of the multiple sensing elements has a first magnetic layer which is a magnetization free layer, a second magnetic layer which is a magnetization free layer provided on the membranous part, and a center layer provided between the first magnetic layer and the second magnetic layer. Each of the multiple sensing elements has shape anisotropy that a length of a first edge is longer than that of a second edge crossing with the first edge. Each of the multiple sensing elements is provided so that the first edge has an appointed angle with a radial line extending from the center of gravity.
摘要翻译：要解决的问题：提供可以尝试提高灵敏度的压力传感器，麦克风，血压传感器和触摸面板。解决方案：压力传感器包括基底，提供给基底并具有柔性的膜部分，以及多个感测元件径向设置在膜部分上用于膜部分的重心。多个感测元件中的每一个具有作为磁化自由层的第一磁性层，设置在膜部上的无磁化层的第二磁性层和设置在第一磁性层和第二磁性层之间的中心层。多个感测元件中的每一个具有形状各向异性，第一边缘的长度比与第一边缘交叉的第二边缘的长度长。多个感测元件中的每一个设置成使得第一边缘具有与重心延伸的径向线的指定角度。

10. 发明专利

JP2013165977A Mems pressure sensor system 有权
标题翻译： MEMS压力传感器系统
公开(公告)号：JP2013165977A
公开(公告)日：2013-08-29
申请号：JP2013081644
申请日：2013-04-09
申请人： Toshiba Corp , 株式会社東芝
发明人： YUASA HIROMI , FUKUZAWA HIDEAKI , FUJI YOSHIHIKO , DEVIN GIDDINGS , HARA MICHIKO , MURAKAMI SHUICHI
IPC分类号： A61B5/0245 , G01L9/16
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an MEMS pressure sensor system that can highly sensitively and continuously measure pressure.SOLUTION: An MEMS pressure sensor system includes: an MEMS pressure sensor having a plurality of magnetoresistance effect elements for detecting a distortion; and an electronic apparatus for transmitting/receiving a first electric resistance change and a second electric resistance change measured by the plurality of magnetoresistance effect elements. The electronic apparatus includes: a calculation part for calculating a difference between the first electric resistance change and the second electric resistance change; a first control part for generating instruction information which controls to specify the magnetoresistance effect element having the maximum difference among the plurality of magnetoresistance effect elements; and a first transmission part for transmitting the instruction information to the MEMS pressure sensor.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够高度灵敏和连续地测量压力的MEMS压力传感器系统。解决方案：MEMS压力传感器系统包括：具有多个用于检测失真的磁阻效应元件的MEMS压力传感器; 以及用于发送/接收由多个磁阻效应元件测量的第一电阻变化和第二电阻变化的电子设备。电子设备包括：用于计算第一电阻变化和第二电阻变化之间的差的计算部分; 第一控制部分，用于产生控制指定多个磁阻效应元件之间具有最大差异的磁阻效应元件的指令信息; 以及用于将指令信息发送到MEMS压力传感器的第一发送部分。

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