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    • 4. 发明专利
    • Quantenkaskadenlaser und Herstellungsverfahren dafür
    • DE102020207904A1
    • 2021-03-25
    • DE102020207904
    • 2020-06-25
    • TOSHIBA KK
    • SAITO SHINJIKANEKO KEIHASHIMOTO REIKAKUNO TSUTOMU
    • H01S5/343
    • Ein Quantenkaskadenlaser weist lichtemittierende Quantentopfschichten, die zum Emittieren von Infrarot-Laserlicht durch einen Intersubband-Übergang konfiguriert sind; und Injektions-Quantentopfschichten, die zur Trägerenergierelaxation konfiguriert sind, auf. Die lichtemittierenden Quantentopfschichten und die Injektions-Quantentopfschichten sind abwechselnd gestapelt. Die Injektions-Quantentopfschichten relaxieren die Energie von Trägern, die von den jeweiligen lichtemittierenden Quantentopfschichten her injiziert werden. Die lichtemittierenden Quantentopfschichten und die Injektions-Quantentopfschichten weisen Barriereschichten auf. Wenigstens eine Barriereschicht weist eine erste und eine zweite Region aus einem ersten ternären Verbindungshalbleiter und eine dünne Schicht aus einem binären Verbindungshalbleiter auf. Die dünne Schicht aus dem binären Verbindungshalbleiter ist zwischen der ersten und der zweiten Region bereitgestellt. Der erste ternäre Verbindungshalbleiter weist Atome der dritten Hauptgruppe und ein Atom der fünften Hauptgruppe auf. Die dünne Schicht aus dem binären Verbindungshalbleiter weist ein Atom der dritten Hauptgruppe des ersten ternären Verbindungshalbleiters und das Atom der fünften Hauptgruppe auf.