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    • 5. 发明授权
    • Magnetic MEMS sensors
    • 磁性MEMS传感器
    • US07509748B2
    • 2009-03-31
    • US11514793
    • 2006-09-01
    • Song XuePatrick RyanNurul Amin
    • Song XuePatrick RyanNurul Amin
    • G01C17/38
    • G01C17/28
    • The disclosure relates to micro-electromechanical systems (MEMS) and magnetic MEMS sensors. The sensors include a substrate having a surface, a first magnetic field detector positioned on the surface, a second magnetic field detector positioned on the surface proximate to the first magnetic field detector, and a third magnetic field detector positioned on the surface proximate to the first and second magnetic field detectors. Each of the first, second and third magnetic field detector is capable of detecting external magnetic fields that are mutually orthogonal along three directions. In certain embodiments, the magnetic MEMS sensors may be useful as electronic compasses. The disclosure also relates to fabricating a magnetic MEMS device, such as an electronic compass, from or on a single wafer, which includes multiple MEMS sensors.
    • 本公开涉及微机电系统(MEMS)和磁MEMS传感器。 传感器包括具有表面的基板,位于表面上的第一磁场检测器,位于靠近第一磁场检测器的表面上的第二磁场检测器,以及位于靠近第一磁场检测器的表面上的第三磁场检测器 和第二磁场检测器。 第一,第二和第三磁场检测器中的每一个能够检测沿着三个方向相互正交的外部磁场。 在某些实施例中,磁性MEMS传感器可用作电子罗盘。 本公开还涉及从包括多个MEMS传感器的单个晶片上或之上制造诸如电子罗盘的磁MEMS装置。