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    • 6. 发明授权
    • Ion pump system and electromagnetic field generator
    • 离子泵系统和电磁场发生器
    • US08512005B2
    • 2013-08-20
    • US12867492
    • 2009-02-13
    • Shukichi Tanaka
    • Shukichi Tanaka
    • F04B37/02F04F99/00
    • H01J41/20F04B37/02
    • It is an object of the present invention to provide an ion pump system etc. having a high air-exhausting capacity and vacuum-maintaining capacity and capable of adjusting drive modes suitable for the uses thereof. The subject problem is solved by an ion pump system (7) comprising a casing (1), a first electrode group (2a,2b) provided in the casing (1), a second electrode group (3a,3b) provided on the outer periphery of the first electrode group (2a,2b), and outer magnets (4) for providing a magnetic field in the casing, wherein the first electrode group (2a,2b) and the second electrode group (3a,3b) are constituted as a plurality of layers alternately disposed around the center axis (11) of the casing (1).
    • 本发明的目的是提供具有高排气能力和真空保持能力的离子泵系统等,并且能够调节适合于其使用的驱动模式。 本发明的问题是通过一种离子泵系统(7)来解决的,所述离子泵系统(7)包括壳体(1),设置在壳体(1)中的第一电极组(2a,2b),设置在外壳上的第二电极组 第一电极组(2a,2b)的周边和用于在壳体中提供磁场的外部磁体(4),其中第一电极组(2a,2b)和第二电极组(3a,3b) 围绕所述壳体(1)的中心轴线(11)交替设置的多个层。