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1. 发明申请

US20060056024A1 Wire grid polarizer and manufacturing method thereof 审中-公开
标题翻译：线栅偏振器及其制造方法
公开(公告)号：US20060056024A1
公开(公告)日：2006-03-16
申请号：US10940800
申请日：2004-09-15
申请人： Seh Ahn , Ki Lee , Sung Lee , Sang Yoon , Jin Kim , Joo Park
发明人： Seh Ahn , Ki Lee , Sung Lee , Sang Yoon , Jin Kim , Joo Park
IPC分类号： G02B5/30
CPC分类号： G02B5/3058
摘要： A manufacturing method of a wire grid polarizer includes the steps of: preparing a mold; sequentially forming a metal foil and a polymer on a substrate; molding a polymer by using the mold; etching the metal foil by using the molded polymer, and forming a wire grid pattern; and removing the polymer.
摘要翻译：线栅偏振器的制造方法包括以下步骤：准备模具; 在基板上依次形成金属箔和聚合物; 使用模具成型聚合物; 通过使用模制的聚合物蚀刻金属箔，并形成线栅图案; 并除去聚合物。

2. 发明申请

US20050008286A1 Manufacturing method of wavelength filter 审中-公开
标题翻译：波长滤波器的制造方法
公开(公告)号：US20050008286A1
公开(公告)日：2005-01-13
申请号：US10902081
申请日：2004-07-30
申请人： Seh Ahn , Ki Lee , Sung Lee
发明人： Seh Ahn , Ki Lee , Sung Lee
IPC分类号： G02B6/12 , G02B6/124 , G02B6/28
CPC分类号： G02B6/124
摘要： A manufacturing method of a wavelength filter includes the steps of: depositing on a substrate a lower clad layer and a core layer, each made from a polymer material; compressing the core layer with a mold to lithograph a pattern of the mold onto the core layer; stabilizing the lower clad layer and the core layer; separating the core layer from the mold; forming an upper clad layer on the core layer; and forming an electrode on the upper clad layer.
摘要翻译：波长滤波器的制造方法包括以下步骤：在基底上沉积由聚合物材料制成的下覆盖层和芯层; 用模具压缩芯层以将模具的图案平版于芯层上; 稳定下包层和芯层; 将芯层与模具分离; 在芯层上形成上覆层; 以及在上包层上形成电极。

3. 发明申请

US20050264788A1 Lithography apparatus and pattern forming method using the same 有权
标题翻译：平版印刷设备和使用其的图案形成方法
公开(公告)号：US20050264788A1
公开(公告)日：2005-12-01
申请号：US11139618
申请日：2005-05-31
申请人： Ki Lee , Seh Ahn , Sung Pieh , Byoung Park , Gyu Kim
发明人： Ki Lee , Seh Ahn , Sung Pieh , Byoung Park , Gyu Kim
IPC分类号： G02F1/13 , G03F1/84 , G03F7/20 , H01L21/027 , H01L21/28 , H01L21/3205 , H01L21/768 , H01L23/52 , H01L23/522 , G03B27/54
CPC分类号： G03F7/70291 , G03F7/7065
摘要： A lithography apparatus is provided. The apparatus includes: a stage, a first light source unit, an optical system, an image obtaining means, an image edit means, an LC panel, and a second light source unit. The LC panel is coupled with the optical system and receives a signal of the image edited by the image edit means and displays the received image to perform a photo mask function. The second light source unit provides light used in performing an exposure on the test material using the imaged displayed on the LC panel for a photo mask.
摘要翻译：提供了一种光刻设备。该装置包括：舞台，第一光源单元，光学系统，图像获取装置，图像编辑装置，LC面板和第二光源单元。 LC面板与光学系统耦合并接收由图像编辑装置编辑的图像的信号，并显示接收的图像以执行光掩模功能。第二光源单元使用在用于光掩模的LC面板上显示的成像来提供用于对测试材料进行曝光的光。

4. 发明申请

US20050243447A1 Flexible wire grid polarizer and fabricating method thereof 有权
标题翻译：柔性线栅偏振器及其制造方法
公开(公告)号：US20050243447A1
公开(公告)日：2005-11-03
申请号：US11117040
申请日：2005-04-28
申请人： Ki Lee , Seh Ahn
发明人： Ki Lee , Seh Ahn
IPC分类号： B32B7/06 , G02B5/30 , G02B5/08 , G02B7/182 , G02B27/28
CPC分类号： G02B5/3058 , B82Y30/00 , Y10S359/90
摘要： The present invention provides a flexible wire grid polarizer used in a visible ray band and a fabricating method thereof. The present invention includes the steps of forming a non-adhesive layer on an inner area of a lower substrate, forming a flexible polymer substrate on the lower substrate including the non-adhesive layer, forming a thin metal layer on the flexible polymer substrate, forming a metal grid pattern by etching the thin metal layer, dicing a wafer staying within a boundary of the non-adhesive layer on the lower substrate, and separating the lower substrate including the non-adhesive layer from the diced wafer to complete the flexible wire grid polarizer.
摘要翻译：本发明提供了一种用于可见光线带的柔性线栅偏振器及其制造方法。本发明包括在下基板的内部区域上形成非粘合层的步骤，在包括非粘合层的下基板上形成柔性聚合物基板，在柔性聚合物基板上形成薄金属层，形成金属网格图案，通过蚀刻薄金属层，切割停留在下基板上的非粘合层的边界内的晶片，以及将包括非粘合剂层的下基板与切割晶片分离以完成柔性线网偏光片。

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