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    • 2. 发明申请
    • STRUCTURE COMPRENANT DES ILOTS SEMI-CONDUCTEURS MONOCRISTALLINS, PROCEDE DE FABRICATION D'UNE TELLE STRUCTURE
    • 包含单晶半导体器件的结构,制造这种结构的方法
    • WO2018060570A1
    • 2018-04-05
    • PCT/FR2017/052529
    • 2017-09-21
    • SOITEC
    • SOTTA, DavidKONONCHUK, OlegBETHOUX, Jean-Marc
    • H01L21/20
    • L'invention porte sur une structure (10) pour l'élaboration d'au moins une couche active en matériau III-V (6) comprenant un substrat formé d'un support (2) présentant une face principale, d'une couche diélectrique (3) disposée sur la face principale du support, et d'une pluralité d'îlots semi-conducteurs monocristallins (4) disposée directement sur la couche diélectrique (3), les îlots présentant une surface supérieure pour servir de germe à la croissance de la couche active. Selon l'invention la structure comprend une couche d'accroché (5) disposée entre les îlots semi-conducteurs monocristallins (4), directement sur la portion de la couche diélectrique (3) qui n'est pas recouverte par les îlots (4), sans masquer la surface supérieure des îlots (4), de sorte que la couche diélectrique (3) ne soit plus exposée à son environnement.
    • 本发明涉及一种用于构造至少一个包含成形衬底的III-V族材料(6)活性层的结构(10)。 具有主面的支撑体(2),设置在支撑体的主表面上的介电层(3)以及多个层; 直接设置在介电层(3)上的单晶半导体毡(4),所述批料具有用作晶种的上表面; 活动层的增长。 根据本发明,该结构包括钩挂层。 (5)设置在单晶半导体封装(4)之间,直接位于未被批次(4)覆盖的介电层(3)的部分上,而不掩蔽 (4)的上表面,使得电介质层(3)不再暴露; 它的环境。