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    • 1. 发明公开
    • 연마패드 제조용 우레탄계 프리폴리머, 연마패드 및 이의 제조방법
    • 聚氨酯基预聚物抛光垫及其制备方法
    • KR20180024096A
    • 2018-03-08
    • KR20160109185
    • 2016-08-26
    • SKC CO LTD
    • HAN HYUK HEESEO JANG WONHEO HYE YOUNG
    • C08G18/10B24D3/32C08G18/08C08J9/12C08K5/00
    • 일실시예는반도체의화학적기계적평탄화공정에사용되는연마패드제조용우레탄계프리폴리머, 다공성폴리우레탄연마패드및 이의제조방법에관한것으로서, 상기우레탄계프리폴리머는저장안정성이우수할뿐만아니라, 자체내에관능기를가져폴리우레탄연마패드제조시원료혼합물의반응속도(혼합물이고상화되는시간, 겔화시간)를조절할수 있다. 따라서, 상기우레탄계프리폴리머를사용하면, 촉매를사용하지않고도원하는크기의입경을가지면서도상하부간의편차가적은포어를갖는다공성폴리우레탄연마패드를간편하게제조할수 있다.
    • 一个实施例涉及的抛光垫用于制备氨基甲酸酯预聚物,多孔聚氨酯抛光垫和半导体的化学机械平坦化工艺中使用的方法,其中,所述氨基甲酸酯预聚物是聚另外的官能团yiwoosu储存稳定的,自我PU 在抛光垫生产期间可以控制原料混合物的反应速率(混合物和待成熟时间,胶凝时间)。 因此,使用的氨基甲酸酯预聚物,可同时具有所需尺寸的颗粒直径不使用催化剂具有上部和下部的小孔之间的偏差容易多孔聚氨酯抛光垫的制备。