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    • 9. 发明申请
    • MESSVORRICHTUNG UND MESSVERFAHREN ZUM INSPIZIEREN EINER OBERFLÄCHE EINES SUBSTRATES
    • 测量装置和测量方法用于检查表面的基底
    • WO2008058869A2
    • 2008-05-22
    • PCT/EP2007/061936
    • 2007-11-06
    • SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFTKLAUSMANN, HagenKRAGLER, KarlNEUSSER, Martin
    • KLAUSMANN, HagenKRAGLER, KarlNEUSSER, Martin
    • G01R31/302G01R1/07G01R31/2812
    • Es wird eine Messvorrichtung (100) zum Inspizieren einer Oberfläche (141) eines Substrates (140) beschrieben. Die Messvorrichtung (100) weist auf ein Halteelement (110) und ein luftgelagertes Element (120, 220), welches an dem Halteelement (110) angebracht ist, welches derart ausgebildet ist, dass zusammen mit der zu inspizierenden Oberfläche (141) des Substrates (140) ein Luftlager bildbar ist, und welches eine Elastizität aufweist, so dass das luftgelagerte Element (120, 220) an Unebenheiten der Oberfläche (141) anpassbar ist. Die Messvorrichtung (100) weist ferner auf zumindest einen Sensor (130, 230), welcher an dem luftgelagerten Element (120, 220) angebracht ist und welcher zum Erfassen der Oberfläche (141) des Substrates (140) eingerichtet ist. Infolge der Flexibilität des luftgelagerten Elements (120, 220) kann der zumindest eine Sensor (130, 230) auch bei einer Welligkeit der zu inspizierenden Oberfläche (141) stets in einem konstanten Messabstand relativ zu der Oberfläche (141) bewegt werden. Es wird ferner ein Messverfahren zur Oberflächeninspektion beschrieben, bei dem die beschriebene Messvorrichtung (100) relativ zu der Oberfläche (141) bewegt wird.
    • 中描述了一种测量装置(100),用于检查基板(140)的表面(141)。 的测量装置(100)具有所述衬底的保持元件(110)和附连到其上形成,使得(连同表面保持元件(110)的空气安装元件(120,220)要被检查(141) 140),空气轴承可以形成,并且其具有弹性,从而使空气轴承构件(120,220)是适用于表面(141)的凹凸。 的测量装置(100)还包括形成在所述空气轴承构件(120,220)上的至少一个传感器(130,230)被安装,并且是用于检测所述基板(140)的表面(141)被布置。 由于所述至少一个传感器(130,230)的空气轴承构件(120,220)的灵活性可以总是被移动到相对于所述表面(141)即使当要被检查的表面的波纹(141)的恒定的测量距离。 它是为表面检查也是一种测量方法,其特征在于,所述测量装置(100)相对于表面(141)被移动说明。