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    • 3. 发明申请
    • VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES PIEZOAKTORS UND PIEZOAKTOR
    • 一种用于生产压电致动器和压电致动器
    • WO2011154352A1
    • 2011-12-15
    • PCT/EP2011/059285
    • 2011-06-06
    • CONTINENTAL AUTOMOTIVE GMBHBENKERT, KatrinBÖDINGER, HermannDENNELER, StefanKASTL, Harald JohannesLENK, AndreasSCHUH, Carsten
    • BENKERT, KatrinBÖDINGER, HermannDENNELER, StefanKASTL, Harald JohannesLENK, AndreasSCHUH, Carsten
    • H01L41/24H01L41/22H01L41/083
    • H01L41/273H01L41/0472H01L41/083H01L41/27H01L41/293Y10T29/42
    • Die Erfindung beschreibt ein Verfahren zum Herstellen eines Piezoaktors (100) mit einem Piezostapel (1) und zwei an der Außenseite des Piezostapels (1) angeordneten Außenelektroden (2, 3). Das erfindungsgemäße Verfahren umfasst die folgenden Schritte: Bereitstellen eines vollaktiven Grünstapels (1') aus mehreren abwechselnd aufeinander folgenden Grünfolien (4', 5') und durchgehenden Innenelektrodenschichten (6, 7), die dazu vorgesehen sind, abwechselnd mit zwei an der Außenseite des aus dem Grünstapel (1') herzustellenden Piezostapels (1) anzuordnenden Außenelektroden (2, 3) elektrisch verbunden und von der jeweiligen anderen Außenelektrode (2, 3) elektrisch isoliert zu sein; Versehen der Außenseite des vollaktiven Grünstapels (1') mit Gräben (8, 9) in Bereichen, in denen die Innenelektrodenschichten (6, 7) von den entsprechenden Außenelektroden (2, 3) elektrisch isoliert sein sollen, so dass die Gräben (8, 9) die Innenelektrodenschichten (6, 7) in diesen Bereichen von der Außenseite des Grünstapels (1') nach innen verkürzen; Füllen der Gräben (8, 9) mit einem elektrisch isolierenden Schlicker (10, 11); Weiterverarbeiten des Grünstapels (1'), dessen Gräben (8, 9) mit dem Schlicker (10, 11) gefüllt sind, so dass aus den Grünfolien (4', 5' ) piezoelektrische Schichten (4, 5) werden und aus dem Grünstapel (1') der Piezostapel (1) wird; Aufbringen der beiden Außenelektroden (2, 3) auf die Außenseite des Piezostapels (1), so dass die beiden Außenelektroden (2, 3) abwechselnd mit den Innenelektrodenschichten (6, 7) elektrisch verbunden sind. Das erfindungsgemäße Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass die Gräben (8, 9) mit dem Schlicker (10, 11) durch eines der folgenden Verfahren gefüllt werden: Siebdrucken, Tauchen, Sprühen oder Vakuuminfiltrieren.
    • 本发明描述了用于制造具有在压电叠堆组件的外部的压电堆叠(1)和两个压电致动器(100)的方法(1)布置在所述电极的外侧(2,3)。 本发明的方法包括以下步骤:提供“(5“的多个交替连续生片4)中的完全活性绿色堆(1)”,并通过内部电极层(6,7)交替地具有两个在所述外侧意 从绿色堆(1“)要生产压电堆(1)被布置在所述电极的外侧(2,3)和电通过相应的另一个外电极连接到(2,3)是电隔离; 所提供的完全活性绿色堆(1“)具有凹槽的外侧(8,9)在所述内部电极层(6,7)中相应的外部电极(2,3)是被电隔离,区域,使得沟槽(8, 9)内部电极层(6,7)中的那些区域(从绿色堆1“的外侧)向内缩短; 填充沟槽(8,9)具有电绝缘浆料(10,11); 绿色堆(1“)的进一步处理,所述沟槽(8,9)与所述滑动(10,11)被填充,使得从生片(4”,5“)的压电体层(4,5),并从绿色堆 压电堆叠的(1“)(1); 所述两个外部电极中的应用(2,3)上的压电堆叠(1)的外侧,以使两个外部电极(2,3)交替地与内部电极层(6,7)被电连接。 本发明的方法的特征在于,所述沟槽(8,9)与所述滑动(10,11),以通过下列方法之一被填充:丝网印刷,浸渍,喷涂或Vakuuminfiltrieren。