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1. 发明公开

KR20120015673A Substrate storage system and air current control method for the same 无效
标题翻译：基板存储系统及其相应的空气电流控制方法
公开(公告)号：KR20120015673A
公开(公告)日：2012-02-22
申请号：KR20100077978
申请日：2010-08-12
申请人： SAMSUNG MOBILE DISPLAY CO LTD
发明人： KIM JAE BONG , CHUNG KU HWAN , CHOI BOO GAN , SON YOUNG SOU
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/02
摘要： PURPOSE: A substrate storing system and an air current control method therefor are provided to prevent contaminant generated in process equipment or a loader to be spread to the inside of a stoker by controlling a reverse air current facing to the stoker from the loader. CONSTITUTION: A loader(130) is located between process equipment(110) and a stoker(150). The loader comprises a body(131), a fan filter unit(132), and a grating. A loader port(160) in which a cassette is placed is located between the loader and the stoker. An air current control apparatus(140) comprises a current speed sensor(141), a fan filter unit controller(142), and a controller(143). The current speed sensor senses a reverse air current between the stoker and the loader. The fan filter unit controller reduces the speed of a fan of the fan filter unit.
摘要翻译：目的：提供一种基板存储系统及其气流控制方法，用于通过控制来自装载机的朝向加料器的反向气流来防止在加工设备或装载机中产生的污染物扩散到加料机的内部。构成：装载机（130）位于处理设备（110）和加料器（150）之间。装载机包括主体（131），风扇过滤器单元（132）和光栅。其中放置盒的装载器端口（160）位于装载机和加料器之间。一种气流控制装置（140），包括电流速度传感器（141），风扇过滤器单元控制器（142）和控制器（143）。当前的速度传感器感测到加料机和装载机之间的反向气流。风扇过滤器单元控制器降低风扇过滤器单元的风扇的速度。

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