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    • 2. 发明申请
    • SYSTEME OPTIQUE POUR UN DISPOSITIF DE LITHOGRAPHIE
    • 用于光刻设备的光学系统
    • WO2006117378A1
    • 2006-11-09
    • PCT/EP2006/061987
    • 2006-05-02
    • SAGEM DEFENSE SECURITETANNE, Jean-FrançoisMICHELIN, Jean-LucGEYL, Roland
    • TANNE, Jean-FrançoisMICHELIN, Jean-LucGEYL, Roland
    • G03F7/20G02B17/08
    • G02B17/008G02B17/0892G03F7/70225
    • L'invention concerne un Système optique à grandissement unitaire, télécentrique dans l'espace image et objet, pour application de lithographie moyenne résolution, comportant: - une structure de type Dyson-Winne présentant un miroir concave sphérique (10) travaillant pour un objet (31) et une image (32) passant par son centre de courbure et un bloc optique (11) disposé au voisinage du centre de courbure dudit miroir, caractérisé en ce qu'il comporte entre ledit miroir concave et ledit bloc optique - d'un groupe (40) d'au moins deux lentilles, situé au voisinage dudit bloc optique et ayant une fonction de correcteur de champ et de confinement des faisceaux dans un volume réduit, - d'un groupe (50) d'au moins deux autres lentilles, situé au voisinage du miroir concave et ayant pour fonction la correction d'ouverture et de chromatisme.
    • 本发明涉及一种在中等分辨率光刻中用于图像和物体空间中的远心的单位倍率光学系统,包括:具有为物体(31)工作的球面凹面镜(10)的戴森 - 温尼(Dyson-Winne)结构, 以及通过其曲率中心的图像(32)和放置在所述反射镜的中心曲率附近的光学单元(11),其特征在于,所述光学单元(11)包括在所述凹面镜和所述光学单元之间: - 一个 组(40)由位于所述光学单元附近的至少两个透镜组成,并且具有用于限制减小的体积的光束的场校正功能和功能; - 由位于凹面镜附近的至少两个其它透镜组成并用于校正开口和色差的组(50)。