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    • 3. 发明公开
    • Vorrichtung und Verfahren zum Bearbeiten eines Werkstücks
    • Vorrichtung und Verfahren zum Bearbeiten einesWerkstücks
    • EP2764966A1
    • 2014-08-13
    • EP14152607.9
    • 2014-01-27
    • ROBERT BOSCH GMBH
    • Puzik, ArnoldSchoepf, MartinRueckauf, AndreasFuerderer, Karl
    • B28D5/04B23H1/02
    • B23H1/028B23H9/00B28D5/045
    • Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (10) zum Bearbeiten eines Werkstücks (1), insbesondere zum Austrennen von Wafern (100) aus einem Siliziumblock, mit einem drahtförmigen Sägewerkzeug (30) und wenigstens einer Spannungsquelle (32), deren einer Pol mit dem Werkstück (1) und deren anderer Pol mit dem Sägewerkzeug (30) verbindbar ist, und mit einer Einrichtung (20) zum Anordnen des Werkstücks (1) und des Sägewerkzeugs (30) in einem Dielektrikum, insbesondere in einer dielektrischen Flüssigkeit. Erfindungsgemäß ist es vorgesehen, dass das Sägewerkzeug (30) mehrere, parallel zueinander angeordnete Drahtelemente (18) zum gleichzeitigen Bearbeiten des Werkstücks (1) an unterschiedlichen, örtlich voneinander getrennten Bereichen aufweist, und dass die Drahtelemente (18) eine Dicke bzw. einen Durchmesser von weniger als 100µm, vorzugsweise etwa 50µm, aufweisen.
    • 设备(10)具有电压源单元,其端部与工件(1)连接,而另一端部与锯切工具(30)连接。 定位单元(20)将工件和锯切工具定位在电介质或电解质中。 锯切工具平行于每个线元件(18)布置,用于同时切割工件,使得线元件的厚度和直径小于100微米和约50微米。 解复用器与电压源单元连接。 包括用于从硅锭切割工件的方法的独立权利要求。