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1. 发明申请

WO2013057443A1 SYSTEME D'INJECTION POUR DISPOSITIF DE DEPOT DE COUCHES MINCES PAR EVAPORATION SOUS VIDE 审中-公开
标题翻译：用于通过真空蒸发沉积薄层的装置的注射系统
公开(公告)号：WO2013057443A1
公开(公告)日：2013-04-25
申请号：PCT/FR2012/052388
申请日：2012-10-18
申请人： RIBER
发明人： GUYAUX, Jean-Louis , VILLETTE, Jérôme , BRIANT, Nicolas , ESTEVE, David
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/26 , C23C14/22
CPC分类号： C23C14/228 , C23C14/225 , C23C14/243 , C23C14/246 , C23C14/26
摘要： La présente invention concerne un système d'injection pour dispositif de dépôt de couches minces par évaporation sous vide, ledit système d'injection comprenant un réservoir destiné à recevoir une source de matériau à évaporer, des moyens de chauffage du réservoir aptes à évaporer ledit matériau, au moins une rampe d'injection comprenant un conduit interne relié au réservoir de manière à recevoir ledit matériau évaporé provenant du réservoir et une pluralité de buses, chaque buse comprenant au moins un canal de communication entre ledit conduit interne et la partie extérieure de la rampe de manière à diffuser le matériau évaporé dans ladite chambre d'évaporation sous vide. Selon l'invention, la rampe d'injection comprend une pluralité de modules d'injection reliés mécaniquement entre eux en série le long d'une direction longitudinale, chaque module d'injection comprenant une pluralité de buses d'injection, et ladite rampe d'injection comprend des moyens de réglage en orientation desdits modules d'injection autour de ladite direction longitudinale de manière à aligner lesdites buses d'injection le long d'une ligne parallèle à la direction longitudinale de la rampe d'injection.
摘要翻译：本发明涉及一种用于通过真空蒸发沉积薄层的装置的注射系统，所述注射系统包括用于接收待蒸发的材料源的储存器，加热能够蒸发所述材料的储存器的装置，至少一次注射其包括连接到储存器的内部管道，以便接收来自储存器的所述蒸发的材料和多个喷嘴，每个喷嘴在其中包括至少在所述内部导管和斜坡的外部之间的连通通道一种将蒸发的材料排放到所述真空蒸发室中的方法。根据本发明，喷射斜坡包括沿着纵向方向彼此串联机械连接的多个喷射模块，每个喷射模块包括多个喷射喷嘴，并且所述喷射斜坡包括调节所述喷射模块的取向的装置围绕所述纵向方向，以使得沿着与注射斜坡的纵向方向平行的线对齐所述注射喷嘴。

2. 发明授权

EP2769001B1 SYSTEME D'INJECTION POUR DISPOSITIF DE DEPOT DE COUCHES MINCES PAR EVAPORATION SOUS VIDE 有权
标题翻译：真空蒸发沉积薄层装置的注射系统
公开(公告)号：EP2769001B1
公开(公告)日：2017-12-20
申请号：EP12790607.1
申请日：2012-10-18
申请人： Riber
发明人： GUYAUX, Jean-Louis , VILLETTE, Jérôme , BRIANT, Nicolas , ESTEVE, David
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/26 , C23C14/22
CPC分类号： C23C14/228 , C23C14/225 , C23C14/243 , C23C14/246 , C23C14/26

3. 发明公开

EP2769001A1 SYSTEME D'INJECTION POUR DISPOSITIF DE DEPOT DE COUCHES MINCES PAR EVAPORATION SOUS VIDE 有权
标题翻译：注射一种用于薄膜真空蒸发分离
公开(公告)号：EP2769001A1
公开(公告)日：2014-08-27
申请号：EP12790607.1
申请日：2012-10-18
申请人： Riber
发明人： GUYAUX, Jean-Louis , VILLETTE, Jérôme , BRIANT, Nicolas , ESTEVE, David
IPC分类号： C23C14/24 , C23C14/26 , C23C14/22
CPC分类号： C23C14/228 , C23C14/225 , C23C14/243 , C23C14/246 , C23C14/26
摘要： The present invention concerns an injection system for an apparatus for depositing thin layers by vacuum evaporation, said injection system comprising a reservoir intended to receive a source of material to be evaporated, means of heating the reservoir capable of evaporating said material, at least one injection ramp comprising an inner conduit connected to the reservoir in such a way as to receive said evaporated material coming from the reservoir and a plurality of nozzles, each nozzle comprising at least a communication channel between said inner conduit and the external portion of the ramp in such a way as to discharge the evaporated material into said vacuum evaporation chamber. According to the invention, the injection ramp comprises a plurality of injection modules mechanically connected to each other in series along a longitudinal direction, each injection module comprising a plurality of injection nozzles, and said injection ramp comprises means of adjusting the orientation of said injection modules about said longitudinal direction in such a way as to align said injection nozzles along a line parallel to the longitudinal direction of the injection ramp.
摘要翻译：一种注射系统，用于在设备用于通过真空蒸发沉积薄层包括一容器（4），用于接收一个待蒸发材料，angepasst以蒸发材料容器的加热元件，至少一个喷射架（1）包括在连接到内导管容器，以便接收已蒸发的材料和喷嘴的多个（3），每个喷嘴包括至少一个通信信道，以便将蒸发的材料扩散进入真空蒸发室。所述喷射架（1）包括喷射模块（2A，2B，2C，2D，2E）机械地连接到海誓山盟串联沿着纵向方向的多个（5），每个喷射模块，包括喷射喷嘴的多个，并且所述喷射架包括用于调节喷射模块的取向围绕纵向方向以便对准注射喷嘴沿着平行于纵向方向的线元素。

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