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1. 发明申请

WO2009132964A1 OPTISCHE ANORDNUNG ZUR BELEUCHTUNG EINES MESSOBJEKTES UND INTERFEROMETRISCHE ANORDNUNG ZUR VERMESSUNG VON FLÄCHEN EINES MESSOBJEKTES 审中-公开
标题翻译：用于照亮测量对象与干涉式安排的光学系统，用于测量对象的测量面
公开(公告)号：WO2009132964A1
公开(公告)日：2009-11-05
申请号：PCT/EP2009/054513
申请日：2009-04-16
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FLEISCHER, Matthias , DRABAREK, Pawel
发明人： FLEISCHER, Matthias , DRABAREK, Pawel
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02021 , G01B9/02007 , G01B9/02028 , G01B9/0209
摘要： Es wird eine interferometrische Anordnung (300) zur Vermessung von Flächen (281, 282) eines Messobjektes (280) mit einer optischen Anordnung (200) beschrieben. Die optische Anordnung (200) weist einen Strahlteiler (250) auf, der Messstrahlen in einem ersten Strahlengang und Messstrahlen in einem zweiten Strahlengang mit Hilfe zweier Spiegel (260, 270) auf die Flächen (281, 282) des Messobjektes richtet. Die durch die an den Flächen (281, 282) reflektierten Lichtstrahlen gebildeten Strahlengänge decken sich zumindest teilweise in einem Bereich mit gleicher Strahlrichtung. Auf diese Weise werden gemessene Flächen (281, 282) des Messobjektes (280) zumindest teilweise auf eine gleiche bestrahlte Fläche eines Detektors (90), beispielsweise einen Bildaufnehmer, abgebildet.
摘要翻译：将描述用于测量物体（280）与光学装置（200）的表面（281，282）的测量的干涉组件（300）。所述光学组件（200）包括一个分束器（250），在第二光束路径的第一光路和测量光束的测量光束由两个反射镜（260，270）的测量对象的表面（281，282）上的装置被引导。由表面（281，282）的光束在具有相同波束方向上的区域形成重合至少部分光束路径的反射。以这种方式，测定的对象（280）的至少一个上检测器（90）的一个相同的照射区域部分地，例如成像器成像的表面（281，282）。

2. 发明申请

WO2009098126A1 INTERFEROMETER 审中-公开
标题翻译：干涉仪
公开(公告)号：WO2009098126A1
公开(公告)日：2009-08-13
申请号：PCT/EP2009/050716
申请日：2009-01-22
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FLEISCHER, Matthias , BECKER, Jonathan
发明人： FLEISCHER, Matthias , BECKER, Jonathan
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02069 , G01B9/02014 , G01B9/02076
摘要： Die Erfindung betrifft ein Interferometer (1) mit einer Lichtquelle (2) und mit einer ein Videosignal (4) ausgebenden Kamera (5), insbesondere eine Digitalkamera, zum Erfassen eines Interferenzmusters. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Lichtquelle (2) pulsierend betreibbar ist. In einer speziellen Ausführung werden die Lichtpulse mit den Bildframes der Kamera synchronisiert.
摘要翻译：本发明涉及一种干涉仪（1）配有一个光源（2）和与视频信号（4）发出照相机（5），尤其是数码相机，用于检测干涉图案。根据本发明，提供的是所述光源（2）是可操作的脉动。在一个具体的实施方案中，光脉冲与照相机的图像帧同步。

3. 发明申请

WO2008138688A1 INTERFEROMETRISCHE MESSEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：干涉测量装置，
公开(公告)号：WO2008138688A1
公开(公告)日：2008-11-20
申请号：PCT/EP2008/054153
申请日：2008-04-07
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FLEISCHER, Matthias , DRABAREK, Pawel , KOCHENDOERFER, Ralf
发明人： FLEISCHER, Matthias , DRABAREK, Pawel , KOCHENDOERFER, Ralf
IPC分类号： G01B9/02 , G01B11/24 , G01B11/30 , G01N21/47
CPC分类号： G01B9/02065 , G01B9/02057 , G01B9/0209 , G01B11/2441
摘要： Die Erfindung betrifft eine Interferometrische Messeinrichtung zur Messung der Form, der Rauheit und/oder des Abstandes eines Messobjekts mit einem Modulationsinterferometer und einer Mess-Sonde, wobei in dem Modulationsinterferometer eine kurzkohärente Strahlungsquelle sowie ein erstes Reflektorelement und ein zweites Reflektorelement vorgesehen sind, die der Strahlung der kurzkohärenten Strahlungsquelle einen Gangunterschied aufprägen. Ist zwischen dem Modulationsinterferometer und der Mess-Sonde eine bildübertragende Lichtleiteranordnung angeordnet, kann durch diese Anordnung ein flächenhafter Bildaufnehmer in einer stationären Auswerteeinheit angeordnet sein und muss nicht in der Mess-Sonde angeordnet sein, wie dies beim Stand der Technik der Fall ist. Der Aufbau der Mess-Sonde kann daher kompakter und robuster als bisher ausgeführt sein.
摘要翻译：本发明涉及一种干涉测量装置，用于测量的形状，粗糙度和/或测量对象的与调制干涉仪和测量探头，其特征在于，在所述调制中提供的短相干辐射源和第一反射元件和第二反射元件的距离，的辐射短相干辐射源赋予的光程差。设置在所述调制和测量探针之间的图像传输光学纤维排列，以面积图像记录器可以位于固定的评价单元，通过这种布置，并且不需要被布置在测量探针，如在现有技术中的情况。因此，测量探针的构造可以是远更紧凑和比健壮。

4. 发明申请

WO2008138687A1 OBJEKTIVANORDNUNG FÜR EINE BILDVERARBEITUNG UND VERFAHREN ZUR REDUZIERUNG VON BILDFEHLERN BEI DIESER OBJEKTIVANORDNUNG 审中-公开
标题翻译： OBJECT IVAN规则图像处理和方法的图像误差此对象中IVAN降阶
公开(公告)号：WO2008138687A1
公开(公告)日：2008-11-20
申请号：PCT/EP2008/054131
申请日：2008-04-07
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FLEISCHER, Matthias
发明人： FLEISCHER, Matthias
IPC分类号： G02B5/00 , G02B13/22 , G01B11/12
CPC分类号： G02B13/22 , G02B5/005
摘要： Die Erfindung betrifft eine Objektivanordnung (1) für eine Bildverarbeitung, welche ein Objektiv (10) mit mindestens einer Linse zur Abbildung eines Objektes (20) aufweist, wobei im Abstand der Brennweite (11) des Objektives (10) bildseitig eine Aperturblende (30) angeordnet ist, wobei die Aperturblende (30) als Blendengruppe mit variabler Apertur ausgebildet ist. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zur Reduzierung von Bildfehlern einer Objektivanordnung bei einer Bildverarbeitung, wobei die Objektivanordnung (1) ein Objektiv (10) mit mindestens einer Linse zur Abbildung eines Objektes (20) aufweist, wobei im Abstand der Brennweite (11) des Objektives (10) bildseitig eine Aperturblende (30) angeordnet ist, wobei die Apertur der Aperturblende (30) im Strahlengang verändert und eine Bildänderung detektiert wird. Die zuvor beschriebene Objektivanordnung (1) eignet sich insbesondere für Kameravermessungssysteme mit entsprechenden Bildverarbeitungssystemen. Mit der speziellen Anordnung und dem erfindungsgemäßen Verfahrensansatz kann erreicht werden, dass insbesondere ein Tiefenmessfehler, der bei einer Teilabschattung des Strahlengangs auftreten kann, kompensiert werden kann. Insbesondere ist dies bei der Vermessung von engen, tiefen Aussparungen, z.B. Bohrungen bzw. Öffnungen, vorteilhaft, bei denen diese Teilabschattungen auftreten können. Mit geeigneten Blenden kann das System zur direkten Abstandsmessung eingesetzt werden.
摘要翻译：本发明涉及一种透镜组件（1）进行图像处理，其中有一个透镜（10）具有至少一个透镜，用于对对象成像的（20），其中，在所述图像侧上的透镜（10）的焦距（11）的距离，孔径光圈（30）设置，所述孔（30）形成为具有可变孔径组的隔膜。本发明还涉及一种方法，用于减少在图像处理，其中，所述目标装置（1）包括透镜（10）的透镜组件的图像误差具有至少一个透镜，用于对对象成像的（20），所述物镜的焦距（11），其中，所述距离（10）被设置在图像侧，其中，所述孔径光阑（30）的开口中的光路被改变孔径光阑（30）和图像变化被检测。上述（1）所述的透镜组件特别适合于测量的照相机系统与适当的图像处理系统。与特殊组件与根据本发明的方法该方法可以被实现的，即在特定的深度的测量误差，其可在所述光束路径的部分遮蔽可以补偿发生。特别地，这是在窄，深的凹部，例如在测量孔或开口，优选地在此，可能会发生部分遮蔽。用合适的孔径，该系统可用于直接距离测量。

5. 发明申请

WO2007036442A1 INTERFEROMETRISCHE MESSEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：干涉测量装置，
公开(公告)号：WO2007036442A1
公开(公告)日：2007-04-05
申请号：PCT/EP2006/066398
申请日：2006-09-15
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FRANZ, Stefan , FLEISCHER, Matthias
发明人： FRANZ, Stefan , FLEISCHER, Matthias
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02049 , G01B9/02065 , G01B9/0209
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung für eine interferometrische Messeinrichtung mit einem ersten Interferometer und einem zweiten Interferometer, wobei dem ersten Inter- ferometer über eine Strahlungsquelle kurzkohärente Strahlung zugeführt wird, die über einen ersten Strahlteiler in zwei Teilstrahle aufgeteilt wird und wobei die optische Weglänge in einem Teilstrahl dahingehend länger ist als in dem anderen Teilstrahl, dass der optische Gangunterschied größer als die Kohärenzlänge der Strahlung ist, wobei die beiden Teilstrahlen vor einem Austritt des ersten Interferometers wieder vereinigt und dem zweiten Interferometer zugeführt werden, welches die Strahlung in zwei weitere Teil- strahle aufteilt, wobei die optischen Weglängen der beiden Teilstrahle dahingehend unterschiedliche sind, dass der in dem ersten Interferometer eingeschriebene optische Gangunterschied wieder ausgeglichen wird, wobei die optische Weglänge für jeweils einen Teilstrahl in dem ersten und in dem zweiten Interferometer durch zumindest ein bewegliches optisches Bauelement einstellbar ist und die beweglichen optischen Bauele- mente mechanisch miteinander gekoppelt sind. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zum Ausgleich einer optischen Wegdifferenz in einer solchen interferometrischen Messeinrichtung, wobei die optischen Gangunterschiede zwischen den Teilstrahlen in den beiden Interferometern durch mechanisch gekoppelte bewegliche optische Bauelemente gleichzeitig und um den gleichen Betrag verändert werden. Dadurch können Gangunterschiede in den Teilstrahlen der Interferometer in einem Arbeitsschritt variiert werden, wobei die Bedingungen zur Interferenzbildung eingehalten bleiben.
摘要翻译：本发明涉及一种装置，用于与第一干涉仪和第二干涉仪，其中，所述第一干涉仪通过其经由第一分束器分成两束子光束和辐射源短相干辐射馈电的干涉测量装置，其中，在一个分量光束的光路长度该光程差大于所述辐射，其中所述两个子光束的第一干涉仪的出射之前，再次混合并供应至第二干涉仪，其中辐射的辐射分成两个进一步的子的相干长度大于该效果比在其它部分光束更长，分裂其中，所述两个分光束的光路长度是不同的，以在所述第一干涉仪的光程差的内切的效果进行补偿，其中，用于在所述第一和在每一个偏光束的光路长度通过至少一个可动光学元件的第二干涉仪是可调节的，和可移动光学公司Bauelemente机械地联接在一起。本发明还涉及一种方法，用于补偿在干涉测量这样的装置，其特征在于，在两个干涉仪的部分光束之间的光程差是由机械耦合可动光学部件同时改变的光程差和相同的量。其特征在于路径差异都可以在一个单一的步骤中的干涉仪的子射线内变化，所述条件保持粘附于干扰的形成。

6. 发明申请

WO2009132919A1 INTERFEROMETRISCHE ANORDNUNG SOWIE VERFAHREN ZUM EINSTELLEN EINES GANGUNTERSCHIEDS 审中-公开
标题翻译：干涉测量装置和方法用于设置速差
公开(公告)号：WO2009132919A1
公开(公告)日：2009-11-05
申请号：PCT/EP2009/053878
申请日：2009-04-01
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FLEISCHER, Matthias , SEIFFERT, Thomas
发明人： FLEISCHER, Matthias , SEIFFERT, Thomas
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B9/02028 , G01B9/02021 , G01B9/02069 , G01B9/0209
摘要： Die Erfindung betrifft eine interferometrische Anordnung (300) zum Vermessen eines Messobjektes (280), mit Mitteln zum Erzeugen eines Messstrahlengangs (205) mit auf das Messobjekt (280) gerichteten Messstrahlen, mit Mitteln zum Erzeugen eines Referenzstrahlengangs (70) mit auf ein Referenzelement (75) gerichteten Referenzstrahlen, mit Stellmitteln (150) zum Einstellen eines Gangunterschieds zwisehen den Messstrahlen und den Referenzstrahlen, und mit einem Detektor (90) zum Aufnehmen von Bildern der Überlagerung der vom Messobjekt (280) reflektieren Messstrahlen und der Referenzstrahlen. Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass Synchronisationsmittel (160) vorgesehen sind, die die Stellmittel (150) derart ansteuern, dass der Gangunterschied zwischen den Messstrahlen und den Referenzstrahlen synchron zu den vom Detektor (90) aufgenommenen Bildern eingestellt wird. Ferner betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Einstellen eines Gangunterschieds.
摘要翻译：本发明涉及一种干涉测量组件（300），用于测量测量对象（280），包括：用于生成对所述测量对象（280）的测量光束路径（205）定向的测量光束的装置，用于产生具有参考元件的参考光束路径（70）（ 75）定向的参考光束，具有用于设定路径差调节装置（150）zwisehen测量光束和参考光束，并且用于拾取的叠加（从测量对象280的图像的检测器（90））反射的测量光束和参考光束。根据本发明，它提供的是，提供所述同步装置（160），其致动所述调节装置（150），使得测量光束和参考光束之间的光程差同步记录在检测器上（90）的图像被设置。此外，本发明涉及用于设置路径差的方法。

7. 发明申请

WO2009132918A1 ANORDNUNG ZUM AUSRICHTEN EINES MESSOBJEKTS RELATIV ZU EINEM DETEKTOR, INTERFEROMETRISCHE ANORDNUNG SOWIE AUSRICHTVERFAHREN 审中-公开
标题翻译：安排被测物体相对于探测器，干涉测量布置和取向的取向
公开(公告)号：WO2009132918A1
公开(公告)日：2009-11-05
申请号：PCT/EP2009/053877
申请日：2009-04-01
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FLEISCHER, Matthias
发明人： FLEISCHER, Matthias
IPC分类号： G01B9/02
CPC分类号： G01B11/272 , G01B9/02007 , G01B9/02072 , G01B9/0209
摘要： Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Ausrichten eines Messobjektes (2) relativ zu einem Detektor (5), mit einen Beleuchtungsstrahlengang (15) erzeugenden Beleuchtungsmitteln (10) zur Beleuchtung des Messobjektes (2) und mit Stellmitteln (8) zum Einstellen der Relativposition des Messobjektes (2) zu dem Detektor (5). Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass die Beleuchtungsmittel (10) mindestens zwei einzeln ansteuerbare Teilbeleuchtungsmittel (12, 13) aufweisen.
摘要翻译：本发明涉及一种装置，用于检测对象（2）相对于对准的检测器（5），具有用于照射测量对象（2）的照明光束路径（15）生成的照明装置（10）中，用调节装置（8），用于调整所述测量对象的相对位置（2）向所述检测器（5）。根据本发明，它提供的是，照明装置（10）单独地至少两个可控的部分照明装置（12，13）。

8. 发明申请

WO2009090133A1 INTERFEROMETER 审中-公开
标题翻译：干涉仪
公开(公告)号：WO2009090133A1
公开(公告)日：2009-07-23
申请号：PCT/EP2009/050124
申请日：2009-01-07
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FLEISCHER, Matthias , FISCHER, Jan , BECKER, Jonathan
发明人： FLEISCHER, Matthias , FISCHER, Jan , BECKER, Jonathan
IPC分类号： G01B9/02 , F21S8/00 , H05B33/08 , F21Y113/00
CPC分类号： G01B9/02007 , G01B9/02004 , G01B9/02024 , G01B9/0209
摘要： Die Erfindung betrifft ein Interferometer (1) mit einer ersten Lichtquelle (2) zum Erzeugen einer ersten Lichtemission (4) mit einem ersten Lichtspektrum (6) und mit mindestens einer zweiten Lichtquelle (3) zum Erzeugen einer zweiten Lichtemission (5) mit einem zweiten Lichtspektrum (7). Erfindungsgemäß ist vorgesehen, dass das erste Lichtspektrum (6) eine von dem zweiten Lichtspektrum (7) unterschiedliehe Schwerpunktswellenlänge (8, 9) aufweist und dass eine Ausgangslichtemission (12) mit einem aus dem ersten Lichtspektrum (6) und dem zweiten Lichtspektrum (7) zusammengesetzten Ausgangslichtspektrum (13) erzeugbar ist.
摘要翻译：本发明涉及一种干涉仪（1）配有一个第一光源（2），用于与第一光光谱产生第一光发射（4）（6）和具有至少一个第二光源（3），用于（5）与第二产生的第二光发射光的光谱（7）。根据本发明，它提供了光的第一光谱（6）包括光（7）的差异就是这儿质心波长的第二频谱的一个（8,9），并且输出的光发射（12）与所述第一光谱（6）中的一个和光的第二光谱（7）复合输出光谱（13）可以生成。

9. 发明申请

WO2008141869A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR FORMMESSUNG VON FREIFORM-FLÄCHEN 审中-公开
标题翻译： DEVICE AND METHOD FOR自由曲面的形状测量
公开(公告)号：WO2008141869A1
公开(公告)日：2008-11-27
申请号：PCT/EP2008/054283
申请日：2008-04-09
申请人： ROBERT BOSCH GMBH , FLEISCHER, Matthias , DRABAREK, Pawel , KOCHENDOERFER, Ralf
发明人： FLEISCHER, Matthias , DRABAREK, Pawel , KOCHENDOERFER, Ralf
IPC分类号： G01B11/24 , G01B11/00
CPC分类号： G01B11/2441 , G01B11/303
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Formmessung von Freiform-Flächen an Messobjekten mit einem punktmessenden optischen und/oder interferometrischen Tastarm, welcher entlang einer vorgegebenen Bahnlinie bewegbar ist, mit einem auf die zu messende Freiform-Fläche fokussierten Messstrahl. Dabei ist es vorgesehen, dass der Tastarm bezogen auf seinen Abtastpunkt in zumindest einer Ebene derart drehbar ist, dass der Messstrahl senkrecht oder innerhalb eines Akzeptanzwinkels des Tastarms auf die zu messende Freiform-Fläche trifft.
摘要翻译：本发明涉及一种设备，用于测量的自由曲面的形状上测量对象与点测量的光学和/或干涉传感臂，它是沿预定路径线移动，以聚焦的所测量的自由形式表面的测量光束上。据设想，该感测臂相对于它的扫描在至少一个平面内旋转，使得测量光束照射垂直或扫描臂于所测量的自由形式表面的接受角内。

10. 发明申请

WO2014023563A1 KIPP- UND/ODER ZENTRIERTISCH FÜR EINE MESSMASCHINE ZUR EINSTELLUNG EINER LAGE- UND/ODER WINKELPOSITION EINES MESSOBJEKTES IN EINEM MESSRAUM 审中-公开
标题翻译：倾斜和/或定心测量机，用于设定测量对象的位置和/或角度位置。在餐室
公开(公告)号：WO2014023563A1
公开(公告)日：2014-02-13
申请号：PCT/EP2013/065395
申请日：2013-07-22
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： WITTE, Armin , FLEISCHER, Matthias , DRABAREK, Pawel , FRANZ, Gerald
IPC分类号： G01B5/00 , G01B5/20 , B23Q1/48
CPC分类号： G01B5/0004 , G01B5/201
摘要： Die Erfindung betrifft einen Kipp- und/oder Zentriertisch (200, 300) für eine Messmaschine (100) zur Einstellung einer Lage- und/oder Winkelposition eines Messobjektes (40 in einem Messraum (50). Die Lage- und Winkelposition des Messobjekts (40) relativ zum Messraum (50) ist dabei durch zumindest eine mittelbare Krafteinwirkung auf ein Zentrier- und/oder Kippelement (320, 310) durch zumindest ein Stellelement (331, 332) veränderbar ist. Ferner weist der Kipp- und/oder Zentriertisch (200, 300) zumindest einen ersten und einen zweiten Tischaufbau (11, 12) auf, die relativ zueinander beweglich sind. Auf dem ersten und/oder der zweiten Tischaufbau (11, 12) ist zumindest das eine Stellelement (331, 332) zur Einstellung der Lage- und/oder der Winkelposition des Messobjekts (40) angeordnet. Das Kippelement (310) liegt mit einer ersten Fläche (312) zumindest teilweise flächenbündig auf einer ersten Fläche (322) des Zentrierelementes verschiebbar auf, wobei eine der beiden Flächen (312, 322) ballig und die andere Fläche dazu gegenballig oder dazu konisch ausgeführt ist, derart, dass durch die zumindest mittelbare Krafteinwirkung auf das Kippelement (310) durch das zumindest eine Stellelement (331 eine Kippbewegung des Kippelementes (310) relativ zum Zentrierelement (320) erfolgt, um eine Winkellage des Messobjektes (40) im Messraum (50) zu verändern. Das Zentrierelement (320) liegt mit einer zweiten Fläche (321) zumindest teilweise flächenbündig auf einer Auflagefläche (13) des ersten Tischaufbaus (12) verschiebbar auf, wobei die zweite Fläche (321) des Zentrierelementes (320) und die Auflagefläche (13) des ersten Tischaufbaus (12) jeweils eben ausgeführt sind, derart, dass durch die zumindest mittelbare Krafteinwirkung auf das Zentrierelement (320) durch das zumindest eine Stellelement (332 eine Bewegung des Zentrierelements (320) relativ zur Auflagefläche (13) des ersten Tischaufbaus (12) erfolgt, um eine Positionslage des Messobjektes (40) im Messraum (50) zu verändern.
摘要翻译：本发明涉及一种用于测量机器（100）的倾斜和/或定中心表（200，300）用于设定测量对象（40（在一个位置和/或角度位置的测量空间50）。测量对象（40的位置和角度位置）（相对于测量室50）是通过在定心和/或倾斜元件（320，310）（通过至少一个致动器331，332）是可变的力的至少一个间接作用。此外，倾斜和/或定中心表（200 ，300）的至少一个第一和一个第二级组件（11，12）相对于彼此可移动的是，在第一和/或第二级组件（11，12），该至少一个控制元件（331，332），用于调节位置和/或所述测量物体（40）的角位置。摆动部件（310）具有第一表面（312）至少在可滑动的上定心元件的第一表面（322）部分地齐平，所述两个表面中的一个（312， 322）凸状，另一面是gegenballig或执行，以圆锥形，通过力的倾斜元件上的至少间接作用发生（通过所述至少一个致动元件（310）331的倾斜元件的倾斜运动（310）相对于以这样的方式定心元件（320）为了改变在所述测量空间（50）的测量对象（40）的角位置。定心元件（320）位于第二表面（321）至少在第一级组件的支撑表面（13）部分地冲洗（12）滑动地安装在，其中，所述定心元件（320）和支撑表面（13）的第二表面（321）的第一级组件（12）分别由平的，从而使通过的力通过所述至少一个致动元件的定心构件（320）（332定心元件（320的运动）（相对于所述第一级组件的支承表面13）上的所述至少间接作用（12）被执行以改变在所述测量空间（50）的测量对象（40）的位置定位。

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