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1. 发明公开

EP0457979A1 Scanning micromechanical probe control system 失效
标题翻译： Steuersystemfürmikromechanische Abtastsonde。
公开(公告)号：EP0457979A1
公开(公告)日：1991-11-27
申请号：EP90305506.9
申请日：1990-05-21
申请人： QUANSCAN INC.
发明人： West, Paul, Dr. , Young, Arthur , Charette, Wilfred P.
IPC分类号： G01N27/00
CPC分类号： G01Q10/065 , Y10S977/851
摘要： The scanning micromechanical probe control system for controlling relative movement between a sensor probe and an adjacent sample surface includes a sensor probe for measuring a parameter which varies relative to the relative positioning of the probe and the adjacent surface adapted to generate an error signal indicating one of at least two discrete position conditions; an up/down counter for integrating the error signal and for generating an up/down count signal; and a position control servo for controlling the relative positioning of the probe and the surface responsive to the up/down count signal. An adaptive feedback control most preferably controls the rate of up/down positioning of the sensor probe and the rate of raster scanning of the probe relative to the target surface.
摘要翻译：用于控制传感器探针和相邻样品表面之间的相对移动的扫描微机械探针控制系统包括用于测量参数的传感器探针，该参数相对于探针和相邻表面的相对位置而变化，其适于产生指示至少两个离散位置条件; 用于对误差信号进行积分并产生上/下计数信号的上/下计数器; 以及位置控制伺服器，用于响应于向上/向下计数信号来控制探头和表面的相对定位。自适应反馈控制最优选地控制传感器探针的上/下定位速率和探针相对于目标表面的光栅扫描速率。

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