专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明授权

US6073464A Laser surface treatment device and method 失效
标题翻译：激光表面处理装置及方法
公开(公告)号：US6073464A
公开(公告)日：2000-06-13
申请号：US126
申请日：1998-01-16
申请人： Pierre Boher , Marc Stehle
发明人： Pierre Boher , Marc Stehle
IPC分类号： H01L21/20 , H01L21/268 , H01L21/66 , C03B27/012 , C03B5/24 , C03B5/26 , C03B37/01 , C03B37/018
CPC分类号： B24B37/013 , H01L22/26 , H01L2924/0002
摘要： A laser surface method involves applying a laser beam treatment in one or several steps to a series of generally similar surfaces of given depth. Properties of the laser treatment are selected so as to change the physical state of each surface. Ellipsometry measurements are made in a region of the first surface before application of the laser beam treatment to the second surface, so as to obtain a physico-chemical characterization of the first surface. Both the laser beam application and the ellipsometry measurement are conducted under generally similar working conditions, so that the change of the physical state of each surface produced by the laser treatment can be controlled in a real time, in-situ, rapidly and nondestructively.
摘要翻译： PCT No.PCT / FR96 / 01034 Sec。 371日期1998年1月16日 102（e）日期1998年1月16日PCT提交1996年7月3日PCT公布。出版物WO97 / 07539 日期1997年2月27日激光表面方法包括在一个或几个步骤中将激光束处理应用于给定深度的一系列大致相似的表面。选择激光处理的特性以改变每个表面的物理状态。在将激光束处理应用于第二表面之前，在第一表面的区域中进行椭圆偏光测量，以获得第一表面的物理化学表征。激光束施加和椭偏仪测量都在大致相似的工作条件下进行，使得可以实时，原位，快速和非破坏性地控制由激光治疗产生的每个表面的物理状态的变化。

2. 发明申请

US20070133645A1 Controlling the spatio-temporal uniformity of a pulsed gas laser beam 审中-公开
标题翻译：控制脉冲气体激光束的时空均匀性
公开(公告)号：US20070133645A1
公开(公告)日：2007-06-14
申请号：US10552500
申请日：2004-03-09
申请人： Maxime Makarov , Marc Stehle
发明人： Maxime Makarov , Marc Stehle
IPC分类号： H01S3/22 , H01S3/097
CPC分类号： H01S3/09705 , H01S3/09716 , H01S3/104
摘要： The invention relates to the control of the spatio-temporal uniformity of a pulsed gas laser beam, especially generated by a high-power excimer laser. According to the invention, two raised lateral parts are provided on at least one of the discharge electrodes, said parts enabling the electrical discharge to be initialised at this level and to remain constantly stuck at this level after having spread over the entire surface of the electrode between said raised parts. In order to compensate for the lack of uniformity of the discharge created by the lack of uniformity of the electric field, the collimation mask of the preionisation X-rays is thinned from the edges thereof towards the centre thereof in order to progressively reinforce the preionisation from the outer level of the discharge to the centre of the same. The invention enables a discharge to be obtained, and thus a plasma, which are both spatially uniform and temporally stable. The laser beam obtained from said plasma is thus uniform and stable itself.
摘要翻译：本发明涉及脉冲气体激光束的时空均匀性的控制，特别是由大功率准分子激光器产生的。根据本发明，在至少一个放电电极上设置两个升高的侧向部分，所述部件使得放电能够以该水平初始化并且在扩展到电极的整个表面之后始终保持在该高度在所述凸起部分之间。为了补偿由于缺乏电场均匀性而导致的放电均匀性的缺失，将前置电离X射线的准直掩模从其边缘朝向其中心变薄，以便逐渐加强来自外层的排放到同一中心。本发明使得能够获得放电，并且因此能够在空间均匀和时间上稳定的等离子体。从所述等离子体获得的激光束本身是均匀和稳定的。

3. 发明授权

US6014401A Device for controlling a laser source with multiple laser units for the energy and spatial optimization of a laser surface treatment 失效
标题翻译：用于控制具有多个激光单元的激光源用于激光表面处理的能量和空间优化的装置
公开(公告)号：US6014401A
公开(公告)日：2000-01-11
申请号：US11455
申请日：1998-01-22
申请人： Bruno Godard , Marc Stehle
发明人： Bruno Godard , Marc Stehle
IPC分类号： B23K26/00 , B23K26/06 , H01L31/04 , H01S3/00 , H01S3/23 , H01S3/082
CPC分类号： H01S3/2316 , B23K26/066 , H01S3/2383
摘要： A laser source has two or more laser units and coupling means for coupling the laser beams from each unit so as to deliver a resulting beam for treating a surface. Concurrently with the laser surface treatment, the characteristics of the laser beam from each unit are adjusted to produce a resulting laser beam with a time profile of energy optimally adapted to said laser surface treatment. Homogenizing means homogenize the energy distribution of the resulting laser beam, so that the energy and spatial distribution of said resulting laser beam are concurrently adapted for the selected surface treatment.
摘要翻译： PCT No.PCT / FR96 / 01060 Sec。 371日期：1998年1月22日 102（e）1998年1月22日PCT PCT 1996年7月5日PCT公布。出版物WO97 / 07578 日期1997年2月27日激光源具有两个或更多个激光单元和用于耦合来自每个单元的激光束的耦合装置，以便输送用于处理表面的所得光束。与激光表面处理同时，调整来自每个单元的激光束的特性，以产生最终适合于所述激光表面处理的能量时间分布的所得激光束。均匀化装置使得到的激光束的能量分布均匀化，使得所得到的激光束的能量和空间分布同时适用于所选择的表面处理。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式