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1. 发明专利

JP2015025453A 真空ポンプ有权
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：JP2015025453A
公开(公告)日：2015-02-05
申请号：JP2014151441
申请日：2014-07-25
申请人：プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー , Pfeiffer Vacuum Gmbh
发明人： HOFMANN JAN , MEKOTA MIRKO , UWE LEIB , SCHILL MICHAEL , KOCH BERNHARD
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D25/02 , F04D19/044 , F04D19/046 , F04D25/06 , F04D25/082 , F04D29/522 , F04D29/5806 , H02K1/20
摘要：【課題】本発明は、一つのポンプ入口と、一つのポンプ出口と、回転軸の周りを回転可能な一つのロータと、このポンプ入口に出現するプロセスガスをポンプ入口からポンプ出口に移送する少なくとも一つのプロセスガスポンプ段と、一つのモータ空間と、このモータ空間内に配置された、ロータを回転駆動するように構成された、一つのモータステータを有する一つの駆動モータとを備えた真空ポンプに関する。【解決手段】本発明では、モータ空間を通って延びるとともに、モータステータの所で少なくとも部分的にモータステータに沿って、或いはモータステータを通って延びる、ポンプ入口からポンプ出口までのプロセスガス用の少なくとも一つのガス経路が配備されている。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种真空泵，包括一个泵入口，一个泵出口，一个可围绕旋转轴旋转的一个转子，至少一个工艺气泵台，用于将泵入口处产生的工艺气体从泵入口传递到泵出口，一个电动机空间和一个驱动电动机，其中一个电动机定子设置在一个电动机空间中，并被构造成旋转和驱动转子。解决方案：用于处理气体的至少一个气体路径至少部分延伸通过电动机空间沿着电动机起动器的一部分处的电动机定子，或者通过电动机定子从泵入口延伸到泵出口。

2. 发明专利

JP2015048849A 真空ポンプ及び真空ポンプを有する装置有权
标题翻译：真空泵和具有该泵的装置
公开(公告)号：JP2015048849A
公开(公告)日：2015-03-16
申请号：JP2014174995
申请日：2014-08-29
申请人：プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー , Pfeiffer Vacuum Gmbh
发明人： STOLL TOBIAS , SCHWEIGHOEFER MICHAEL , ROBERT WATZ , HOFMANN JAN
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/042 , F04D19/04 , F04D29/522 , F04D29/5853 , F04D29/601 , F04D29/668
摘要：【課題】ケーシングと、固定子内に回転可能に軸支されている回転子用の駆動装置だけを有するポンプ装置とを備える真空ポンプと、対応する真空ポンプを有する装置を提供する。【解決手段】ケーシング2に連結可能に据え付けられた少なくとも1つの追加のケーシング部分10が、このケーシング2に対して同軸方向に配置されていること、及び1つの吸気口7が、前記ケーシング2内に同軸方向に設けられていて、1つの排気口12が、前記少なくとも1つの追加のケーシング部分10内に同軸方向に設けられている。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种真空泵，其包括壳体和泵系统，该系统仅具有可旋转地且可枢转地支撑在定子内的转子的驱动单元，以及具有相应的真空泵的设备。解决方案：至少一个附加的壳体部件安装成能够连接到壳体2的10被布置在相对于壳体2的同轴方向上。一个入口端口7沿着同轴方向设置在壳体2内。一个排气口12沿同轴方向在至少一个附加的壳体部分10内。

3. 发明专利

JP2013174238A Vacuum pump 有权
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：JP2013174238A
公开(公告)日：2013-09-05
申请号：JP2013022216
申请日：2013-02-07
申请人： Pfeiffer Vacuum Gmbh , プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
发明人： SHIRINOV ALEKSANDR , STOLL TOBIAS , SCHWEIGHOEFER MICHAEL , HOFMANN JAN
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D3/00 , F04D17/168 , F04D19/044 , F04D19/046 , F04D23/008
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum pump which has enhanced output pressure and suction capacity, can be operated under desired operating conditions while saving energy, and can be installed in a small structural space with less manufacturing assembling labor.SOLUTION: A vacuum pump has at least one molecular pump stage 12, 14, 16, in particular, a Holweck stage 41, and at least one side channel pump stage 18 which is arranged downstream of the molecular pump stage 12, 14, 16 and which includes a plurality of rotor elements 48, wherein the rotor elements 48 of the side channel pump stage 18 are supported by rotor members 32, 34 of the molecular pump stage 12, 14, 16, and the side channel pump stage 18 is arranged between a pump inlet 24 and the molecular pump stage 12, 14, 16.
摘要翻译：要解决的问题：提供具有增强的输出压力和吸入能力的真空泵，可以在所需的操作条件下操作，同时节省能量，并且可以以较少的制造组装工作安装在小的结构空间中。解决方案：真空泵具有至少一个分子泵级12,14,16，特别是Holweck级41，以及至少一个侧通道泵级18，其布置在分子泵级12,14,16的下游，并且包括多个转子元件48，其中侧通道泵级18的转子元件48由分子泵级12,14,16的转子构件32,34支撑，侧通道泵级18设置在泵入口24和分子泵级12,14,16。

4. 发明专利

JP2013104430A Friction vacuum pump 有权
标题翻译：摩擦真空泵
公开(公告)号：JP2013104430A
公开(公告)日：2013-05-30
申请号：JP2012252248
申请日：2012-11-16
申请人： Pfeiffer Vacuum Gmbh , プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
发明人： HOFMANN JAN , SCHWEIGHOEFER MICHAEL , STOLL TOBIAS
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/044 , F04D19/046 , F04D29/058 , F04D29/059 , F04D29/321 , F04D29/522 , F04D29/642 , F05D2250/232 , F05D2250/323
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a Holweck pump stage having improved vacuum data.SOLUTION: A rotor 2 is rotatably supported by a rolling bearing 4, and includes a hub 8 and a sleeve 10 fixed on the hub. The vacuum pump includes the rotor 2 where the sleeve 10 has a first end 12 and a free second end 14 on the opposite side to the hub, and a stator 20 that has a clearance 30 having a clearance width 100 concentrically with the sleeve and is arranged to cover the sleeve. In order to improve the vacuum data, it is proposed to decrease the clearance width toward the rolling bearing.
摘要翻译：要解决的问题：提供具有改进的真空数据的Holweck泵级。解决方案：转子2由滚动轴承4可旋转地支撑，并且包括毂8和固定在轮毂上的套筒10。真空泵包括转子2，其中套筒10具有第一端12和与毂相对的一侧上的自由的第二端14，以及定子20，其具有与套筒同心的间隙宽度100的间隙30，并且是布置成覆盖套筒。为了提高真空数据，建议减小向滚动轴承的间隙宽度。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

5. 发明专利

JP2013053626A Vacuum pump 有权
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：JP2013053626A
公开(公告)日：2013-03-21
申请号：JP2012193203
申请日：2012-09-03
申请人： Pfeiffer Vacuum Gmbh , プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
发明人： HOFMANN JAN , STOLL TOBIAS , SCHWEIGHOEFER MICHAEL
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/044
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum pump having a high pressure ratio in a compact structure.SOLUTION: The vacuum pump is related to a vacuum pump, particularly a molecular vacuum pump provided with a rotor including: a shaft 12; a hub 40 bound with the shaft; and a first sleeve 50 which is bound with the first side of the hub and is concentric to the shaft. Therein, at least one second sleeve 52 is bound with a hub on the second side opposite to the first side of the hub in the shaft direction, and the first sleeve is subsequently arranged to the second sleeve within gas flow.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种紧凑结构中具有高压比的真空泵。解决方案：真空泵与真空泵相关，特别是设有转子的分子真空泵，包括：轴12; 与轴结合的轮毂40; 以及第一套筒50，其与轮毂的第一侧结合并且与轴同心。其中，至少一个第二套筒52在轴向方向上与轮毂的与第一侧相对的第二侧上的轮毂结合，并且随后将第一套筒布置在气流中的第二套筒上。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

6. 发明专利

JP2017082760A 真空ポンプ有权
公开(公告)号：JP2017082760A
公开(公告)日：2017-05-18
申请号：JP2016162586
申请日：2016-08-23
申请人：プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー , Pfeiffer Vacuum Gmbh
发明人： HOFMANN JAN
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D29/5853 , F04D19/04 , F04D19/042
摘要：【課題】可能な限り少ないコストとエネルギー消費のもとで、真空ポンプ、特にターボ分子ポンプの吸引側のハウジング部分と反対側のハウジング部分の間の可能な限り大きな温度差が保証されるべきである。【解決手段】真空ポンプ10、特にターボ分子ポンプであって、ハウジング16、ステーター及びローター軸を有するローターを有し、このローター軸が、ハウジング16の吸引側の領域に設けられる第一の支承部によって、及びハウジングの反対側の領域に設けられる別の支承部によって支持されており、その際、吸引側のハウジング部分と、別の支承部を含むハウジング部分との間の熱抵抗を高める為に、ハウジング16の吸引側と反対の部分70が、複数の材料空所部66、68を設けられており、これらが、ラビリンス状に、複数の方向変化によって延長された熱流パス72が生じるように、ハウジング16内に設けられていることを特徴とする真空ポンプ。【選択図】図2

7. 发明专利

JP2015017611A 真空ポンプ有权
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：JP2015017611A
公开(公告)日：2015-01-29
申请号：JP2014141915
申请日：2014-07-10
申请人：プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー , Pfeiffer Vacuum Gmbh
发明人： HOFMANN JAN , MEKOTA MIRKO
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D29/056 , F04D19/04 , F04D19/042 , F04D29/102 , F04D29/646 , Y10T29/49245
摘要：【課題】作動室と支承室の間の有害なガス交換が防止され、かつ同時に少ないコストで製造可能であり、かつ少ない構造空間で実現可能で、かつ少ない性能要求と長い寿命を備える真空ポンプを提供することである。【解決手段】真空ポンプ、特にターボ分子ポンプまたはサイドチャネルポンプであって、作動室12、支承室14、作動室と支承室の間に配置された分離壁16、および分離壁を貫通して延在し、分離壁と共に間隙20を形成する少なくとも一つのローター軸18を有し、並びに、作動室と支承室の間の隔離を行うためのシール装置を有し、その際、シール装置が、ジーグバーンポンプステージ22により形成されており、このジーグバーンポンプステージが、作動室と支承室の間の間隙を貫通して作用するポンプ効果を提供するために形成されていることを特徴とする真空ポンプにより解決される。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种真空泵，其中可以在小的施工空间中实现在工作室和轴承室之间有效的交换气体并且可以以低成本制造的同时，具有小的性能要求和长寿命。解决方案：真空泵，特别是涡轮分子泵或侧通道泵具有工作室12，轴承室14，设置在工作室和轴承之间的分隔壁16 并且至少一个转子轴18延伸穿过分隔壁并与分隔壁形成间隙20。真空泵还具有用于分隔工作室和轴承室的密封装置，这里，密封装置由Siegbahn泵级22形成，该Siegbahn泵级22构造成用于提供作用在工作室和工作室之间的间隙的泵作用轴承室。

8. 发明专利

JP2014214745A ホルベックポンプ段用のステータ要素、ホルベックポンプ段を有する真空ポンプ、及び、ホルベックポンプ段用のステータ要素を製造するための方法有权
标题翻译： HOLWECK泵阶段的定子元件，带有霍夫泵的真空泵和用于制造霍尔沃克泵阶段的定子元件的方法
公开(公告)号：JP2014214745A
公开(公告)日：2014-11-17
申请号：JP2014086153
申请日：2014-04-18
申请人：プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー , Pfeiffer Vacuum Gmbh
发明人： HOFMANN JAN , MEKOTA MIRKO
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D29/522 , F04D19/044 , F04D29/644 , Y10T29/49323
摘要：【課題】基本的に筒状の原形を成すホルベックポンプ段用のステータ要素、又は基本的に筒状の原形を成すホルベックポンプ段用のステータ要素のための組立品に関する。さらに、ホルベックポンプ段を有する真空ポンプ並びにホルベックポンプ段用のステータ要素を製造するための方法及びホルベックポンプ段用のステータ要素のための組立品を製造するための方法に関する。【解決手段】ステータ要素又は前記組立品が、互いに分離された複数のステータ部品12,12′,12″を有し、これらのステータ部品12,12′,12″が、前記ステータ要素に組み立てられている、又は前記ステータ要素に組み立て可能であることによって解決される。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：为了提供基本上形成圆柱形原始形状的Holweck泵级的定子元件或用于Holweck泵级的定子元件的组装产品，基本上形成圆柱形原始形状，并且还提供具有Holweck泵级的真空泵，用于制造用于Holweck泵级的定子元件的方法和用于制造用于Holweck泵级的定子元件的组装产品的方法。解决方案：通过以下布置来解决问题：其中定子元件或组装产品具有多个彼此分离的定子部件12,12'，12“和定子部件12,12'，12”组装在定子元件中或者可以组装在定子元件中。

9. 发明专利

JP2013213498A Pump system for vacuuming gas from multiple chambers and method for controlling pump system 有权
标题翻译：用于从多个燃烧室吸入气体的泵系统和用于控制泵系统的方法
公开(公告)号：JP2013213498A
公开(公告)日：2013-10-17
申请号：JP2013066397
申请日：2013-03-27
申请人： Pfeiffer Vacuum Gmbh , プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
发明人： BURGGRAF THORSTEN , HOFMANN JAN , STOLL TOBIAS
IPC分类号： F04D19/04 , F04B37/16
CPC分类号： F04B23/08 , F04D19/042 , F04D19/046 , F04D25/16 , F04D27/009 , F04D27/0253 , F04D27/0269
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To optimally use a maximally large number of pumps from an economical viewpoint and a technical viewpoint, and to maximally similarly distribute a generating gas load to a plurality of maximally simple and resembled or similar pumps so as not to have reaction to a process.SOLUTION: A pump system is provided for discharging gas from a plurality of chambers 1 and 2 having at least three vacuum pumps. When at least two pre-pumps 5 and 6 and at least one turbo molecular pump 3 are provided, at least one cross-section reducing part 9 for adjusting and/or reducing a gas flow, is arranged in at least one connecting pipe 8 between at least the two pre-pumps 5 and 6.
摘要翻译：要解决的问题：为了从经济的角度和技术角度最佳地使用最大量的泵，并且最大程度地将发电气体负载分配到多个最简单和相似或相似的泵，以便不会对一种方法。解决方案：提供一种用于从具有至少三个真空泵的多个室1和2排出气体的泵系统。当提供至少两个预泵5和6以及至少一个涡轮分子泵3时，至少一个用于调节和/或减少气流的横截面减小部分9布置在至少一个连接管8之间至少两台预泵5和6。

10. 发明专利

JP2011033026A Vacuum pump 有权
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：JP2011033026A
公开(公告)日：2011-02-17
申请号：JP2010167818
申请日：2010-07-27
申请人： Pfeiffer Vacuum Gmbh , プファイファー・ヴァキューム・ゲーエムベーハー
发明人： HOFMANN JAN , ZIPP ANDREAS
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/046 , F04D19/044 , F04D19/048 , F04D29/058 , F04D29/542 , F16C32/0425 , F16C39/063 , F16C2360/45
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum pump which can evacuate a chamber device including a plurality of chambers at different pressure levels and which is simultaneously compact. SOLUTION: This vacuum pump includes a housing 40 including a first inlet 80 and a second inlet 82, and a first pump stage 60 and a second pump stage 70. The vacuum pump is formed so that gas passes through the first inlet 80 and reaches an inside of the first pump stage 60, and that gas which passes through the second inlet 82 and reaches an inside of the second pump stage 70, is compressed by the second pump stage 70 and is compressed by the first pump stage 60 next. The second pump stage 70 includes a Holweck pump stage in order to provide the compact vacuum pump. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种真空泵，该真空泵能够排空包括不同压力水平的多个室并且同时致密的腔室装置。解决方案：该真空泵包括包括第一入口80和第二入口82以及第一泵级60和第二泵级70的壳体40.真空泵形成为使得气体通过第一入口80 并且到达第一泵级60的内部，并且通过第二入口82并到达第二泵级70内部的气体被第二泵级70压缩并被第一泵级60压缩。第二泵级70包括Holweck泵级，以便提供紧凑的真空泵。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

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