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1. 发明申请

WO2010140778A2 SHOWERHEAD FOR FILM DEPOSITING VACUUM EQUIPMENT 审中-公开
标题翻译：薄膜沉积真空设备的淋浴
公开(公告)号：WO2010140778A2
公开(公告)日：2010-12-09
申请号：PCT/KR2010003024
申请日：2010-05-13
申请人： PIEZONICS CO , KOREA IND TECH INST , BYUN CHULSOO , HAN MAN CHEOL , CHUNG IL YONG , LEE SEOK WOO
发明人： BYUN CHULSOO , HAN MAN CHEOL , CHUNG IL YONG , LEE SEOK WOO
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/02
CPC分类号： C23C16/45565 , C23C16/45563 , C23C16/45572 , C23C16/45574 , C23C16/45576 , C23C16/45591
摘要： Disclosed is a showerhead for film depositing vacuum equipment to shorten the length of an injection tube for a reactive gas wherein the injection tube for a reactive gas is extended from the bottom of a reactive gas showerhead module, and to mix two different kinds of reactive gases with an injection support gas within a single reactive showerhead module so as to inject the mixed gas. The showerhead for film depositing vacuum equipment comprises: the reactive gas showerhead module which is arranged over a cooling jacket; and a purge gas showerhead module which is arranged over the reactive gas showerhead module, wherein the injection tube of the reactive gas showerhead module passes through the cooling jacket under the reactive gas showerhead module, and the injection tube of the purge gas showerhead module passes through the reactive gas showerhead module under the purge gas showerhead module, thereby enabling the purge gas to flow into a purge gas redistribution space over the cooling jacket.
摘要翻译：公开了一种用于膜沉积真空设备的喷头，以缩短用于反应气体的注射管的长度，其中用于反应气体的注射管从反应性气体喷头模块的底部延伸，并且混合两种不同种类的反应气体在单个反应性喷头模块内具有注射支撑气体，以便注入混合气体。用于薄膜沉积真空设备的喷头包括：布置在冷却套上的反应气喷头模块; 以及布置在所述反应性气体喷头模块上方的吹扫气体淋浴头模块，其中所述反应性气体喷头模块的所述注入管通过所述反应性气体喷头模块下方的所述冷却套管，并且所述吹扫气喷头模块的所述注入管通过在吹扫气体喷淋头模块下面的反应性气体淋浴喷头模块，从而使净化气体能够流过冷却套上的净化气体再分配空间。

2. 发明专利

DE112010002199B4 Brausekopf für eine Vakuumschichtabscheidungsvorrichtung 未知
公开(公告)号：DE112010002199B4
公开(公告)日：2015-02-26
申请号：DE112010002199
申请日：2010-05-13
申请人： KOREA IND TECH INST
发明人： HAN MAN CHEOL , LEE SEOK WOO , BYUN CHULSOO , CHUNG IL YONG
IPC分类号： H01L21/205 , C23C16/455
摘要： Brausekopf für eine Vakuumschichtabscheidungsvorrichtung, umfassend: ein Brausekopfmodul (20) für Reaktivgas mit einem Einlass (26), durch den ein Reaktivgas eingeführt wird, und mit mehreren Injektionsröhren (29), durch die das Reaktivgas eingeblasen wird; ein Brausekopfmodul (10) für Spülgas mit einem Einlass (14), durch den ein Spülgas eingeführt wird, und mit mehreren Injektionsröhren (16), durch die das Spülgas eingeblasen wird; und einen Kühlmantel (30) mit einem Einlass (34) und einem Auslass (35), um ein Einströmen und ein Ausströmen eines Kühlmittels zu erlauben; und einen Spülgasumverteilungsraum (36) zwischen dem Brausekopfmodul (20) für Reaktivgas und dem Kühlmantel (30), wobei das Brausekopfmodul (20) für Reaktivgas über dem Kühlmantel (30) angeordnet ist, das Brausekopfmodul (10) für Spülgas über dem Brausekopfmodul (20) für Reaktivgas angeordnet ist, sich die Injektionsröhren (16) des Brausekopfmoduls (20) für Reaktivgas durch den darunterliegenden Kühlmantel (30) erstrecken und sich die Injektionsröhren (16) des Brausekopfmoduls (10) für Spülgas durch das Brausekopfmodul (20) für Reaktivgas, das sich in unterer Position befindet, erstrecken, wodurch das Spülgas in besagten Spülgasumverteilungsraum (36) eingeführt wird.

3. 发明专利

DE112010002199T5 Brausekopf für eine Vakuumschichtabscheidungsvorrichtung 未知
公开(公告)号：DE112010002199T5
公开(公告)日：2012-07-05
申请号：DE112010002199
申请日：2010-05-13
申请人： KOREA IND TECH INST
发明人： HAN MAN CHEOL , LEE SEOK WOO , BYUN CHULSOO , CHUNG IL YONG
IPC分类号： H01L21/205 , H01L21/02
摘要： Es wird ein Brausekopf für eine Vakuumschichtabscheidungsvorrichtung mit einem Effekt, der die Länge von Injektionsröhren für ein Reaktivgas verkürzt, präsentiert. Die Injektionsröhren erstrecken sich von dem Boden eines Brausekopfmoduls für Reaktivgas und zwei verschiedene Arten von Reaktivgasen werden mit einem Injektionsunterstützungsgas in einem reaktiven Brausekopfmodul gemischt, um so das gemischte Gas einzublasen. Der Brausekopf für eine Vakuumschichtabscheidungsvorrichtung umfasst das Brausekopfmodul für Reaktivgas über einem Kühlmantel und ein Brausekopfmodul für Spülgas über dem Brausekopfmodul für Reaktivgas. Die Injektionsröhren des Brausekopfmoduls für Reaktivgas passieren durch den Kühlmantel, der unterhalb des Brausekopfmoduls für Reaktivgas angeordnet ist, und die Injektionsröhren des Brausekopfmoduls für Spülgas passieren durch das Brausekopfmodul für Reaktivgas, das unter dem Brausekopfmodul für Spülgas angeordnet ist, wodurch dem Spülgas ermöglicht wird in einen Spülgasumverteilungsraum zu strömen, der über dem Kühlmantel definiert ist.

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