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    • 5. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER BESCHICHTUNG SOWIE OPTOELEKTRONISCHES HALBLEITERBAUTEIL MIT EINER BESCHICHTUNG
    • 方法用于生产具有涂料涂层和光电半导体器件
    • WO2015189344A1
    • 2015-12-17
    • PCT/EP2015/063089
    • 2015-06-11
    • OSRAM OPTO SEMICONDUCTORS GMBH
    • LEMBERGER, MartinSCHMAL, MichaelIKONOMOV, Julian
    • C23C14/22C23C14/50
    • C23C14/225C23C14/505H01L31/022408H01L31/02327H01L31/035281H01L33/20H01L33/38H01L33/46H01L2933/0025
    • Es wird ein Verfahren zur Herstellung einer Beschichtung angegeben, umfassend die folgenden Schritte: - Bereitstellen einer Materialquelle (4) mit einer Deckfläche (4a) und einer Hauptbeschichtungsrichtung (Z), - Bereitstellen eines Substrathalters (1) mit einer Deckfläche (1a), - Bereitstellen zumindest einer Grundschicht (2) mit einer dem Substrathalter (1) abgewandten Beschichtungsfläche (2a) auf der Deckfläche (1a) des Substrats, - Anbringen des Substrathalters (1) an einem Dreharm (3), der entlang einer Haupterstreckungsrichtung des Dreharms (3) eine Länge (3L) aufweist, - Einstellen der Länge (3L) des Dreharms (3) derart, dass ein Normalenwinkel (φ) während des gesamten Verfahrens wenigstens 30° und höchstens 75° beträgt, - Aufbringen zumindest einer Beschichtung (22) an der die Beschichtungsfläche (2a) aufweisenden Seite der Grundschicht (2) mittels der Materialquelle (4), wobei - der Substrathalter (1) während des Beschichtungsvorgangs der Beschichtung (22) um eine Substratdrehachse, die entlang der Haupterstreckungsrichtung des Dreharms (3) verläuft, rotiert wird.
    • 提供了一种用于制备涂层的方法,包括以下步骤的方法: - 提供材料源(4),其具有顶表面(4a)和一个主涂层方向(Z), - 提供衬底保持器具有一个顶面(1a)中,(1) - 提供具有(1)的朝向从涂层表面(2a)的所述衬底的所述顶面(1a)的上离开的衬底保持器的至少一个基极层(2), - 将所述衬底保持器(1)上的旋转臂(3),其(沿着旋转臂3的主延伸方向 )具有长度(3L), - 上施加至少一个涂层(22), - 调节所述旋转臂(3),使得在正常角度(φ)在整个过程中为至少30°且至多75°,长度(3L) 由材料源的装置中的基极层(2)的涂层表面(2a)的轴承侧(4),其特征在于, - 所述衬底保持器(1)中所述涂层(22)的方式的涂覆工艺 沿着旋转臂(3)的主延伸方向上延伸的旋转电子基板轴线旋转。
    • 7. 发明公开
    • STRAHLUNGSEMITTIERENDER KÖRPER UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES STRAHLUNGSEMITTIERENDEN KÖRPERS
    • 辐射体和方法用于产生辐射发光体
    • EP2225782A2
    • 2010-09-08
    • EP08868217.4
    • 2008-12-19
    • OSRAM Opto Semiconductors GmbH
    • EBERHARD, FranzWINDISCH, ReinerWALTER, RobertSCHMAL, MichaelAHLSTEDT, Magnus
    • H01L33/00
    • H01L33/22H01L33/46H01L2924/0002H01L2924/00
    • The invention relates to a radiation-emitting body, comprising a layer sequence, having an active layer (10) for producing electromagnetic radiation, a reflection layer (50), which reflects the radiation produced, and at least one intermediate layer (40), which is disposed between the active layer (10) and the reflection layer (50). To this end, the active layer (10) on an interface (15) directed toward the reflection layer (50) comprises a rough region, and the reflection layer (50) is substantially planar on an interface (45) directed toward the active layer (10). The invention further relates to a method for producing a radiation-emitting body, wherein a layer sequence is configured on a substrate having an active layer (10) for producing electromagnetic radiation. To this end, an interface (15) is roughened on the active layer (10) and at least one intermediate layer (40) and a reflection layer (50) are configured.
    • 活性之间设置所述的发光体,其包括一个层序列,在用于产生电磁辐射的活性层(10),其具有,具有一反射所产生的辐射的反射层(50),以及具有至少一个中间层(40) 层(10)和反射层(50)。 在这种情况下,活性层(10)具有在朝向所述反射层(50)引导接口(15)粗糙化上,并且反射层(50)在基本上是平面的,在朝向有源层引导接口(45)( 10)。 所以圆盘游离缺失是制造具有辐射发射体,其涉及形成在具有有源层(10)上,用于产生电磁辐射的基板的层序列的方法。 在这种情况下,该方法包括在有源层(10)上的接口(15)的粗糙化,并形成至少一个中间层(40)和反射层(50)。
    • 9. 发明公开
    • VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER BESCHICHTUNG SOWIE OPTOELEKTRONISCHES HALBLEITERBAUTEIL MIT EINER BESCHICHTUNG
    • 方法用于生产具有涂料涂层和光电半导体器件
    • EP3155139A1
    • 2017-04-19
    • EP15728842.4
    • 2015-06-11
    • OSRAM Opto Semiconductors GmbH
    • LEMBERGER, MartinSCHMAL, MichaelIKONOMOV, Julian
    • C23C14/22C23C14/50
    • C23C14/225C23C14/505H01L31/022408H01L31/02327H01L31/035281H01L33/20H01L33/38H01L33/46H01L2933/0025
    • What is specified is a method for producing a coating comprising the following steps: - providing a material source (4) having a top surface (4a) and a main coating direction (Z), - providing a substrate holder (1) having a top surface (1a), - providing at least one base layer (2), having a coating surface (2a) remote from the substrate holder (1), on the top surface (1a) of the substrate, - attaching the substrate holder (1) to a rotating arm (3), which has a length (3L) along a main direction of extent of the rotating arm (3), - setting the length (3L) of the rotating arm (3) in such a manner that a normal angle (φ) throughout the method is at least 30° and at most 75°, - applying at least one coating (22) to that side of the base layer (2) which has the coating surface (2a) by means of the material source (4), wherein - during the coating process with the coating (22), the substrate holder (1) is rotated about a substrate axis of rotation running along the main direction of extent of the rotating arm (3).
    • 什么被指定是用于制造涂层,包括以下步骤的方法:掌握情况 - 提供具有顶表面和一个主涂层方向的材料源,掌握情况 - 提供具有顶表面的支架底物,提供至少一个基极层,具有 从基板保持器涂层表面远程,基板的顶表面上,在基板保持器-attaching到旋转臂,其具有沿着所述旋转臂的程度的一个主方向上的长度,-setting旋转臂的长度在 求的方式没有正常角(φ)在整个所述的方法,是在至少30°且至多75°,-applying至少一个涂层确实具有由材料源的装置中的涂层表面的基体层的一侧,worin -during涂覆过程与涂层,衬底支架绕转动的沿着旋转臂的延伸范围的主方向延伸的基板轴线。