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1. 发明申请

WO2010025317A2 SINGLE-CHANNEL OPTICAL PROCESSING SYSTEM FOR ENERGETIC-BEAM MICROSCOPES 审中-公开
标题翻译：用于能量束显微镜的单通道光学处理系统
公开(公告)号：WO2010025317A2
公开(公告)日：2010-03-04
申请号：PCT/US2009/055286
申请日：2009-08-28
申请人： OMNIPROBE, INC. , MARCHMAN, Herschel , MOORE, Thomas , KRUGER, Rocky
发明人： MARCHMAN, Herschel , MOORE, Thomas , KRUGER, Rocky
IPC分类号： H01J37/26
CPC分类号： H01J37/226 , H01J37/3045 , H01J2237/2482 , H01J2237/317 , H01J2237/31749
摘要： A single-channel optical processing system for an energetic-beam instrument has separate sources for processing radiation (170) and illumination radiation (180) that are combined in a single optical path and directed to a sample surface (140) through a selffocusing rod lens (130). The self-focusing rod lens (130) thus has a working distance from the sample surface (140) that will not interfere with typical arrangements of ion beams (100) and electron beams (110) in such instruments. A combination of polarizers (220) and beam splitters (240) allows separation of the combined incident radiation (150) and the reflected radiation (160) from the sample surface (140) and returned through the same optical channel, so that the reflected radiation (160) may be directed to an optical detector (370), such as a camera or spectrometer.
摘要翻译：用于能量束仪器的单通道光学处理系统具有用于处理辐射（170）和照射辐射（180）的分开的源，所述辐射（170）和照射辐射（180）被组合在单个光路中并且被引导到样本表面（140）通过自聚焦透镜（130）。因此，自聚焦棒透镜（130）具有距样品表面（140）的工作距离，其不会干扰这种仪器中的离子束（100）和电子束（110）的典型布置。偏振器（220）和分束器（240）的组合允许组合的入射辐射（150）和反射辐射（160）从样品表面（140）分离并且通过相同的光学通道返回，使得反射的辐射（160）可以被引导至光学检测器（370），例如照相机或光谱仪。

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