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1. 发明申请

WO2010015501A1 VERWENDUNG EINES WÄLZLAGERS ZUR LAGERUNG ROTIERENDER BAUTEILE IN VAKUUMEINRICHTUNGEN SOWIE VAKUUMEINRICHTUNG 审中-公开
标题翻译：使用滚动轴承旋转部件真空器件和真空设备存储
公开(公告)号：WO2010015501A1
公开(公告)日：2010-02-11
申请号：PCT/EP2009/059245
申请日：2009-07-17
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , ADAMIETZ, Ralf , HÖLZER, Rainer , HENRY, Markus
发明人： ADAMIETZ, Ralf , HÖLZER, Rainer , HENRY, Markus
IPC分类号： F01C21/02 , F04C25/02 , F04D17/16 , F04D19/04 , F04D29/059
CPC分类号： F04D29/059 , F01C21/02 , F04C25/02 , F04D17/168 , F04D19/042 , F16C33/782 , F16C33/7846 , F16C33/80 , F16C2240/46 , F16C2300/62 , F16C2360/45
摘要： Ein Wälzlager zur Lagerung rotierender Bauteile in Vakuumeinrichtungen weist mehrere zwischen Lagerelementen (12, 14) angeordnete Wälzkörper (10) auf. Ein Lagerraum (26) ist beispielsweise beidseitig durch Dichtelemente (22, 24) verschlossen. Die Dichtelemente (22, 24) weisen einen geringen Dichtspalt (s) auf. Erfindungsgemäß erfolgt ein Verwenden derartiger Wälzlager in Vakuumbereichen, in denen ein Druck von weniger als 10 -3 mbar herrscht.
摘要翻译：在真空设备，支持旋转部件的滚动轴承包括多个中间轴承部件（12，14）布置的滚动体（10）。的轴承空间（26）中，例如在两侧上由密封元件（22,24）密封。密封元件（22，24）具有（S）上一个小的密封间隙。根据本发明，在真空区域，其中小于10 -3毫巴的压力占优势一个使用这种轴承。

2. 发明申请

WO2010142633A1 VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2010142633A1
公开(公告)日：2010-12-16
申请号：PCT/EP2010/057902
申请日：2010-06-07
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , HENRY, Markus , HÖLZER, Rainer , SCHNACKE, Ernst
发明人： HENRY, Markus , HÖLZER, Rainer , SCHNACKE, Ernst
IPC分类号： F04D27/02 , F04D29/58 , F04D29/058 , F04D29/056 , F04D19/04
CPC分类号： F04D29/058 , F04D19/042 , F04D27/02 , F04D27/0292 , F04D29/056 , F04D29/584 , F16C32/0408 , F16C2360/45
摘要： Eine Vakuumpumpe wie eine Turbomolekularpumpe weist ein Pumpelement (14) auf, das von einer Welle (12) getragen wird. Die Welle (12) ist in einem Pumpengehäuse (10) mittels einer ersten Lageranordnung (24) und einer zweiten Lageranordnung (26) gelagert. Zur Kompensation von im Betrieb auftretenden unterschiedlichen Wärmeausdehnungen der Welle (12) sowie des Pumpengehäuses (10) weist die erste Lageranordnung (24) zur zumindest teilweisen Kompensation axialer Verschiebungen ein Kompensationselement (32) auf.
摘要翻译：的真空泵为涡轮分子泵包括由一轴（12）支撑的抽吸元件（14）。轴（12）被安装在泵壳体（10）由第一轴承组件（24）和第二轴承组件（26）的装置。为了补偿轴向位移到补偿元件（32）至少部分地补偿在轴（12）与泵壳体（10），所述第一轴承组件（24）的操作不同的热膨胀产生的。

3. 发明申请

WO2010105908A1 MULTI-INLET-VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：多入口型真空泵
公开(公告)号：WO2010105908A1
公开(公告)日：2010-09-23
申请号：PCT/EP2010/052698
申请日：2010-03-03
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , HENRY, Markus , ENGLÄNDER, Heinz , BEYER, Christian
发明人： HENRY, Markus , ENGLÄNDER, Heinz , BEYER, Christian
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/52
CPC分类号： F04D19/042 , F04D29/522 , F05B2250/501
摘要： Eine Multi-Inlet-Vakuumpumpe weist eine erste Pumpeinrichtung (10) und eine zweite Pumpeinrichtung (12) auf. Die erste Pumpeinrichtung (10) weist ein erstes Rotorelement (18) mit mehreren in Förderrichtung (36) hintereinander angeordneten ersten Rotorscheiben (20, 21) auf. Die zweite Rotorscheibe weist ein zweites Rotorelement (26) mit mehreren in Förderrichtung (36) hintereinander angeordneten zweiten Rotorscheiben (28) auf. Durch einen Haupteinlass (32) wird ein erster Fluidstrom (34) von der ersten Pumpeinrichtung (10) angesaugt und in Richtung der zweiten Pumpeinrichtung (12) gefördert. Durch einen Zwischeneinlass (38) wird ein zweiter Fluidstrom (40) von der zweiten Pumpeinrichtung angesaugt und in Richtung eines Pumpenauslasses gefördert. Erfindungsgemäß entspricht der Durchmesser der letzten Rotorscheibe (21) der ersten Pumpe (10) im Wesentlichen dem Durchmesser der ersten Rotorscheibe (28) der zweiten Pumpeinrichtung (12).
摘要翻译：多入口真空泵具有第一泵压装置（10）和第二泵装置（12）。所述第一泵送装置（10）包括具有多个在输送（36），被布置相互第一转子盘的后面（20，21）的方向上的第一转子部件（18）。第二转子盘包括具有多个在输送（36）的方向上布置一个接一个第二转子盘（28）的第二转子部件（26）。由主入口（32）吸入从第一泵装置（10）的第一流体流（34）和在第二泵装置（12）的方向输送。通过中间入口（38）被吸入，所述第二泵压装置和在泵出口的方向输送来自第二流体流（40）。根据本发明的最后一个转子盘（21）的直径对应于第一泵（10）基本上到第二泵装置（12）的所述第一转子盘（28）的直径。

4. 发明申请

WO2008151968A3 MASSENSPEKTROMETER-ANORDNUNG 审中-公开
公开(公告)号：WO2008151968A3
公开(公告)日：2008-12-18
申请号：PCT/EP2008/056848
申请日：2008-06-03
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , HENRY, Markus , BEYER, Christian
发明人： HENRY, Markus , BEYER, Christian
IPC分类号： H01J49/24
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Massenspektrometer-Anordnung (10) mit einem Gehäuse (86) mit einer Massenspektrometer-Vorvakuum-Vakuumkammer (20), die einen Massenspektrometer-Vorvakuum-Auslass (30), mindestens zwei Massenspektrometer-Hochvakuum-Vakuumkammern (21, 22, 23) und eine mit den Hochvakuum-Vakuumkammem (21, 22, 23) verbundene integrierte Turbomolekularpumpe (12) aufweist, die einen Vorvakuum-Auslass (89) aufweist. Die beiden Vorvakuum-Auslässe (30, 89) münden in einen gemeinsamen Vorvakuumraum (98) in dem Gehäuse (86), der in einen Gehäuse-Auslass (88) mündet.

5. 发明申请

WO2010097384A2 MULTI-INLET-VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：多入口型真空泵
公开(公告)号：WO2010097384A2
公开(公告)日：2010-09-02
申请号：PCT/EP2010/052282
申请日：2010-02-23
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , BEYER, Christian , HENRY, Markus , ENGLÄNDER, Heinz
发明人： BEYER, Christian , HENRY, Markus , ENGLÄNDER, Heinz
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/046 , F04D19/042
摘要： Die Multi-Inlet-Vakuumpumpe weist eine ersten Pumpeinrichtung (10), mit einem ersten Rotorelement (18), mit mehreren in Förderrichtung (36) hintereinander angeordneten ersten Rotorscheiben (20), sowie eine zweiten Pumpeinrichtung (12) mit einem zweiten Rotorelement (26), mit mehreren in Förderrichtung (36) hintereinander angeordneten zweiten Rotorscheiben (28) auf, wobei der Durchmesser der zweiten Rotorscheiben (28) zumindest teilweise größer ist, als der Durchmesser der ersten Rotorscheiben (20). Ferner weist die Nulti-Inlet-Vakuumpumpe einem Haupteinlass (32) durch den ein erster Fluidstrom (34) von der ersten Pumpeinrichtung (10) angesaugt und in Richtung der zweiten Pumpeinrichtung ( 12) gefördert wird, auf. Ebenso weist die Pumpe einen Zwischeneinlass (38) durch den ein zweiter Fluidstrom (40) von der zweiten Pumpeinrichtung (12) angesaugt und in Richtung eines Pumpenauslasses gefördert wird, auf. Ein Vereinen der beiden Fluidströme (34, 40) erfolgt innerhalb der zweiten Pumpeinrichtung (12) insbesondere zwischen zwei benachbarten zweiten Rotorscheiben (28) der zweiten Pumpeinrichtung (12).
摘要翻译：多入口真空泵具有第一泵压装置（10）包括具有多个在输送方向彼此相邻排列的第一转子盘（20）的后面具有第二转子部件上的第一转子部件（18），（36），和第二泵装置（12）（26 ），具有多个（在输送方向36）布置为一个在另一个之后第二转子盘（28），其特征在于，所述第二转子盘（28）的直径至少比所述第一转子盘（20）的直径部分地更大。此外，Nulti入口真空泵通过其从第一泵装置（10）和朝向所述第二泵装置（12）吸入的第一流体流（34）被输送上的主入口（32）。同样地，泵具有通过其从所述第二泵压装置的第二流体流（40）（12）被吸入，并在上泵出口的方向输送的中间入口（38）。 A中的两个流体流（34，40）发生在所述第二泵压装置（12），尤其是组合第二泵装置（12）的两个相邻的第二转子盘（28）之间。

6. 发明申请

WO2010023200A1 STATOR-ROTOR-ANORDNUNG FÜR EINE VAKUUMPUMPE SOWIE VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：定子转子安排真空泵真空泵
公开(公告)号：WO2010023200A1
公开(公告)日：2010-03-04
申请号：PCT/EP2009/060918
申请日：2009-08-25
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , KLINGNER, Peter , HENRY, Markus
发明人： KLINGNER, Peter , HENRY, Markus
IPC分类号： F04D17/16 , F04D19/04 , F04D29/52 , F04D29/64
CPC分类号： F04D29/644 , F04D19/042 , F04D29/522
摘要： Eine Stator-Rotor-Anordnung für eine Vakuumpumpe, insbesondere für eine Turbomolekularpumpe, weist mehrere mit einem Rotorelement (14) zusammenwirkende Statorscheiben (18) auf, die zwischen Rotorscheiben (16) angeordnet sind. Die Statorscheϊben (18) sind über Statorringe (20, 22) gehalten. Mindestens zwei der Statorringe (20) weisen Ausbuchtungen (24) auf, die über Halteelemente (28, 30) miteinander verbunden sind. Hierdurch ist eine Vormontage der Rotor-Stator-Anordnung (12) oder ein Anordnen der Rotor-Stator-Anordnung (12) in einem Gehäuse (10) möglich, wobei die Ausbuchtungen (24) im Bereich von Ecken (32) des Gehäuses (10) angeordnet sind.
摘要翻译：一种用于真空泵，特别是用于涡轮分子泵的定子 - 转子布置具有多个与设置在所述转子盘（16）之间的转子元件（14）协作的定子（18）。所述Statorsche？本（18）上的定子（20，22）保持。至少两个所述定子环（20）具有凸起（24）通过保持元件连接（28，30）。这导致了转子 - 定子组件（12），或安排在转子 - 定子组件（12）的一个预装配在壳体（10），其中在所述壳体的角部（32）的区域中的波瓣（24）（可能10 ）被布置。

7. 发明申请

WO2009141222A1 MEHRSTUFIGE VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：多级真空泵
公开(公告)号：WO2009141222A1
公开(公告)日：2009-11-26
申请号：PCT/EP2009/055397
申请日：2009-05-05
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , HENRY, Markus , KLINGNER, Peter
发明人： HENRY, Markus , KLINGNER, Peter
IPC分类号： F04D17/16 , F04D19/04 , F04D29/059
CPC分类号： F04D17/168 , F04D19/04 , F04D29/059
摘要： Eine mehrstufige Vakuumpumpe weist mehrere auf einer gemeinsamen Welle (10) in einem Pumpengehäuse (12) angeordnete Rotorelemente (14, 16) zur Ausbildung mehrerer Pumpstufen (18, 24, 26) auf. Das Antreiben der Welle erfolgt über einen Elektromotor (40). Ein inneres Lagerelement (42) ist zwischen zwei Rotorelementen (14, 16) angeordnet, so dass bei einfacher Ausgestaltung der Lagerelemente (42, 44) ais Wälzlager eine mechanisch günstige Lageranordnung realisiert ist. Dies ist insbesondere auf Grund der Trennung in zwei Rotorelemente (14, 16) möglich.
摘要翻译：一种多级真空泵具有用于形成多个泵级（18，24,26）的上的多个在泵壳体（12）的公共轴（10）布置的转子部件（14，16）。轴的驱动经由电动机（40）而发生。布置成使得在一个简单的实施例中，轴承元件（42，44）的滚动轴承AIS机械有利轴承装置被实现两个转子元件（14，16）之间的内轴承构件（42）。这是特别是由于分离成两个转子元件（14，16）是可能的。

8. 发明申请

WO2009021809A2 PUMPEN-LAGERANORDNUNG 审中-公开
标题翻译：水泵轴承安排
公开(公告)号：WO2009021809A2
公开(公告)日：2009-02-19
申请号：PCT/EP2008/059593
申请日：2008-07-22
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , HOELZER, Rainer , HENRY, Markus , STOLLE, Robert
发明人： HOELZER, Rainer , HENRY, Markus , STOLLE, Robert
IPC分类号： F16C35/00 , F16C27/06 , F16C35/077 , F04D19/04 , F04D29/059 , F04D29/66
CPC分类号： F16C27/066 , F04D19/042 , F04D29/059 , F04D29/668 , F16C19/163 , F16C35/077 , F16C2360/45
摘要： Eine Pumpen-Lageranordnung, die insbesondere für schnelidrehende Pumpen, wie Turbomolekularpumpen geeignet ist, weist einen Pumpenrotor (10) auf, der mit einer Rotorwelie (14) verbunden ist Die Rotorwelle (14) ist in einem Wellengehäuse (20) über zwei Lagereinrichtungen (12) gelagert. Jede Lagereinrichtung (12) weist einen inneren mit der Rotorwelle (14) verbundenen Lagerring (16) sowie einen äußeren mit dem Wellengehäuse (20) verbundenen Lagerring (22) auf. Zwischen den beiden Lagerringen sind Lagerkörper (24) angeordnet. Erfindungsgemäß ist zwischen dem äußeren Lagerring (22) und dem Wellengehäuse (20) mindestens ein Schwingungselement (26) vorgesehen, dass zur Dämpfung dient und ferner zur Wärmeabfuhr eine Wärmeleitfähigkeit von mindestens 0,3 W/mK aufweist.
摘要翻译：
泵轴承组件，尤其是F导航用途řschnelidrehende泵，例如涡轮分子泵是合适的，具有连接到一个Rotorwelie（14）所述的转子轴（14）的泵转子（10）是在经由两个储存设施（12）的轴壳体（20）。每个轴承装置（12）具有连接到转子轴（14）的内轴承环（16）和连接到轴壳体（20）的轴承环（22）。轴承体（24）布置在两个轴承环之间。发明＆AUML;大街提供缓冲和进一步用于W＆AUML;是＆U ROAD旧的轴承环（22）和振动元件（26）提供的d＆AUML的Wellengeh BEAR使用（20）的至少一个之间AUML rmeabfuhr一个W＆AUML; rmeleitf至少为0的承受能力， 3 W / mK。

9. 发明申请

WO2008151979A1 TURBOMOLEKULARPUMPE 审中-公开
标题翻译：涡轮分子泵
公开(公告)号：WO2008151979A1
公开(公告)日：2008-12-18
申请号：PCT/EP2008/056991
申请日：2008-06-05
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH , SCHNEIDERS, Robert , HENRY, Markus , WALTER, Gerhard Wilhelm
发明人： SCHNEIDERS, Robert , HENRY, Markus , WALTER, Gerhard Wilhelm
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/70 , H01J49/26
CPC分类号： F04D19/042 , F04D29/70
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Turbomolekularpumpe (12) mit einer kreisförmigen Ansaugöffnung (16) distal einer Eingangsrotorstufe (18). Die Ansaugöffnung (16) weist mindestens zwei voneinander getrennte Öffnungsausschnitte (41,42,43) auf.
摘要翻译：本发明涉及一种涡轮分子远端泵（12）与输入转子级（18）的圆形抽吸开口（16）。吸入口（16）具有至少两个分开的开口的切口（41,42,43）。

10. 发明申请

WO2015071143A1 VAKUUMPUMPEN-ROTOREINRICHTUNG SOWIE VAKUUMPUMPE 审中-公开
标题翻译：真空转子设备真空泵
公开(公告)号：WO2015071143A1
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：PCT/EP2014/073771
申请日：2014-11-05
申请人： OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH
发明人： HENRY, Markus , BREZINA, Jürgen , STOLLE, Robert , KOEPPEL, Peter
IPC分类号： F04D19/04 , F04D29/02 , F04D29/32
CPC分类号： F04D19/042 , F04D19/04 , F04D25/06 , F04D29/023 , F04D29/321 , F05D2300/173 , F05D2300/174 , F05D2300/43 , F05D2300/603
摘要： Eine Vakuumpumpen-Rotoreinrichtung weist eine Rotorwelle (10) und mindestens ein auf der Rotorwelle (10) angeordnetes Rotorelement (12) auf. Erfindungsgemäß weist das mindestens eine Rotorelement (12) Aluminium, Titan und/ oder CFK und die Rotorwelle (10) einen Chrom-Nickel-Stahl auf. Hierdurch ist es insbesondere möglich, dasmindestens eine Rotorelement (12) bei Raumtemperatur auf die Rotorwelle (10) durch Pressen zu fügen.
摘要翻译：真空泵转子组件包括转子轴（10）和至少一个在转子轴（10）布置的转子部件（12）。根据本发明的铝，钛和/或碳纤维和在铬 - 镍钢转子轴（10）的至少一个转子元件（12）。这使得特别是dasmindestens在转子轴（10）室温下的转子元件（12）通过按添加可能的。

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