专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

2. 发明申请

WO2009147556A3 MICROSCOPIC STRUCTURE PACKAGING METHOD AND DEVICE WITH PACKAGED MICROSCOPIC STRUCTURE 审中-公开
标题翻译：具有包装微结构的微结构包装方法和装置
公开(公告)号：WO2009147556A3
公开(公告)日：2010-06-24
申请号：PCT/IB2009052083
申请日：2009-05-19
申请人： NXP BV , VERHEIJDEN GREJA J A M , DAAMEN ROEL , ROOSEN HAROLD H
发明人： VERHEIJDEN GREJA J A M , DAAMEN ROEL , ROOSEN HAROLD H
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00476 , B81C2201/0108 , B81C2203/0136
摘要： The present invention discloses a method of packaging a microscopic structure (12). The method comprises the steps of forming the microscopic structure (12) on a substrate (10); depositing a layer (14) of a thermally decomposable polymer over the substrate, thereby embedding the microscopic structure; patterning the deposited layer (14) such that the microscopic structure is embedded in a portion of the patterned layer, the side walls of said portion (14) forming a substantially right angle with the substrate (10); growing a capping layer (18) over the portion, wherein the substantially right angles cause the formation of at least one channel (20) from the portion (14) through the capping layer (18); and decomposing the polymer, whereby the decomposition products escape from the portion (14) through said channel (20). The present invention further discloses a device including a microscopic structure packaged in accordance with the above method.
摘要翻译：本发明公开了一种包装微结构（12）的方法。该方法包括在基板（10）上形成微观结构（12）的步骤。在衬底上沉积可热分解的聚合物层（14），从而嵌入微观结构; 图案化沉积层（14），使得微观结构嵌入图案化层的一部分中，所述部分（14）的侧壁与衬底（10）形成大致直角; 在所述部分上生长覆盖层（18），其中所述基本上直角导致从所述部分（14）穿过所述封盖层（18）形成至少一个通道（20）。并分解聚合物，由此分解产物通过所述通道（20）从部分（14）逸出。本发明还公开了一种根据上述方法包装的微观结构的装置。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式