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1. 发明公开

KR20150132049A 멀티 하전 입자빔 묘화 장치 审中-公开
标题翻译：多电荷粒子束写入装置
公开(公告)号：KR20150132049A
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：KR20150154376
申请日：2015-11-04
申请人： NUFLARE TECHNOLOGY INC
发明人： TOUYA TAKANAO , OGASAWARA MUNEHIRO
IPC分类号： H01L21/027 , G03F1/20 , G03F7/20
CPC分类号： H01J37/3177 , H01J37/141 , H01J37/145 , H01J37/1474 , H01J37/3026 , H01J37/3174 , H01J2237/1508
摘要： 멀티하전입자빔묘화장치는, 시료를재치하는스테이지와, 하전입자빔을방출하는방출부와, 복수의개구부가형성되고, 상기복수의개구부전체가포함되는개구부형성영역에상기하전입자빔의조사를받아, 상기복수의개구부를상기하전입자빔의일부가각각통과함으로써멀티빔을형성하는애퍼처부재와, 자장이반대방향인복수의전자렌즈와, 각전자렌즈의자장중에적어도 1개씩배치되고, 1개이상이멀티빔을상기시료상으로일괄하여편향하는편향기를겸한 3개이상의정전렌즈를구비한것을특징으로한다.
摘要翻译：多电荷粒子束写入装置包括：用于在其上安装样品的载物台; 用于发射带电粒子束的发射单元; 其中形成有多个开口的开口构件，并且通过在包括整个开口的孔径形成区域中接收带电粒子束的照射而形成多光束，并且一部分带电粒子束单独地穿过开口 ; 具有相反方向磁场的多个电子透镜; 和三个或更多个静电透镜，其中至少一个被布置在电子透镜的每个磁场中，并且其中一个或多个静电透镜也用作用于共同地将多光束偏转到样品上的偏转器。

2. 发明专利

DE102013217140B4 Ladungsträgerteilchenstrahl-Musterschreibverfahren und Ladungsträgerteilchenstrahl-Schreibvorrichtung 未知
公开(公告)号：DE102013217140B4
公开(公告)日：2018-08-02
申请号：DE102013217140
申请日：2013-08-28
申请人： NUFLARE TECHNOLOGY INC
发明人： TAMAMUSHI SHUICHI , OGASAWARA MUNEHIRO , TOUYA TAKANAO
IPC分类号： H01J37/302 , H01J37/30 , H01L21/027
摘要： Ladungsträgerteilchenstrahl-Musterschreibverfahren zum Schreiben eines Musters auf einem Zielobjekt (101) unter Verwendung eines Ladungsträgerteilchenstrahls, umfassend:Platzieren eines Zielobjekts (101) über einem Trägertisch (105);Messen (S102) einer Positionsverschiebungsgröße des Trägertisches (105) in einer Rotationsrichtung;Anordnen von zumindest einer von einer Vielzahl von elektrostatischen Linsen (212, 214) in einem Magnetfeld von jeder einer Vielzahl von elektromagnetischen Linsen (205, 207);Anordnen benachbarter elektromagnetischer Linsen (205, 207), deren Magnetfelder in entgegengesetzte Richtungen sind;Schreiben (S106) eines Musters von einem Strahlenbild auf dem Zielobjekt (101) über dem Trägertisch (105), während das Strahlenbild rotiert wird, unter Verwendung der Vielzahl elektrostatischer Linsen (212, 214);Speichern einer Korrelationstabelle in einer Speichervorrichtung (140), wobei die Korrelationstabelle speichert, für jeden einer Vielzahl von Rotationswinkeln des Strahlenbildes, einen Satz von Spannungen für jede der Vielzahl elektrostatischer Linsen (212, 214), um einen korrelierten Rotationswinkel ohne Ändern einer Fokusposition eines Ladungsträgerteilchenstrahls zu korrigieren;Erfassen, aus der gespeicherten Korrelationstabelle, eines Satzes von Spannungen, die an jeder der Vielzahl elektrostatischer Linsen (212, 214) angelegt wird, die mit der gemessenen Positionsverschiebungsgröße in der Rotationsrichtung korreliert;Anlegen des Satzes von Spannungen, die aus der gespeicherten Korrelationstabelle erfasst werden, an der Vielzahl elektrostatischer Linsen (212, 214) zum Korrigieren der gemessenen Positionsverschiebungsgröße in der Rotationsrichtung des Trägertisches (105), während gleichzeitig eine unveränderte Fokusposition des Ladungsträgerteilchenstrahls beibehalten wird, der durch die Vielzahl elektromagnetischer Linsen (205, 207) tritt.

3. 发明专利

DE102013217140A1 Ladungsträgerteilchenstrahl-Musterschreibverfahren und Ladungsträgerteilchenstrahl-Schreibvorrichtung 未知
公开(公告)号：DE102013217140A1
公开(公告)日：2014-03-06
申请号：DE102013217140
申请日：2013-08-28
申请人： NUFLARE TECHNOLOGY INC
发明人： TAMAMUSHI SHUICHI , OGASAWARA MUNEHIRO , TOUYA TAKANAO
IPC分类号： H01J37/302 , H01J37/30 , H01L21/027
摘要： Ein Ladungsträgerteilchenstrahl-Schreibverfahren gemäß einer Ausführungsform enthält ein Messen einer Positionsverschiebungsgröße eines Trägertisches, auf dem ein Zielobjekt platziert ist, in einer Rotationsrichtung; und ein Schreiben eines Musters von einem Strahlenbild aus dem Zielobjekt über dem Trägertisch, während das Strahlenbild rotiert wird, unter Verwendung einer Vielzahl elektrostatischer Linsen, wobei zumindest eine davon in einem Magnetfeld von jeder der Vielzahl elektromagnetischer Linsen angeordnet ist, deren Magnetfelder in entgegengesetzte Richtungen ausgebildet sind, um eine Fokusverschiebung eines Ladungsträgerteilchenstrahls zu vermeiden, der durch die Vielzahl elektromagnetischer Linsen hindurch tritt, und zum Korrigieren der gemessenen Positionsverschiebungsgröße, in der Rotationsrichtung des Trägertisches.

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