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    • 1. 发明专利
    • Verbundener Körper und elastische Welle-Element
    • DE112018003634T5
    • 2020-04-23
    • DE112018003634
    • 2018-08-21
    • NGK INSULATORS LTD
    • GOTO MASASHITAI TOMOYOSHIMINOURA MAI
    • H03H9/25H01L41/053
    • (Aufgabe) Die Bereitstellung einer Mikrostruktur, die eine Schicht aus einem piezoelektrischen Material, das aus Lithiumniobat oder Lithiumtantalat zusammengesetzt ist, fest und stabil mit einem Trägersubstrat aus Mullit verbinden kann.(Lösung) Es wird ein verbundener Körper 1 mit einem Trägersubstrat 3 und einer Schicht aus einem piezoelektrischen Material 2 vorgeschlagen. Das Trägersubstrat 3 ist aus Mullit zusammengesetzt und das Material der Schicht aus einem piezoelektrischen Material 2 ist LiAO(A stellt ein oder mehrere Element(e), ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Niob und Tantal, dar). Es sind eine Grenzflächenschicht 4, die entlang einer Grenzfläche zwischen dem Trägerkörper 3 und der Schicht aus einem piezoelektrischen Material 2 vorliegt, und eine Trägersubstrat-seitige Zwischenschicht 5, die zwischen der Grenzflächenschicht 4 und dem Trägersubstrat 3 vorliegt, einbezogen. Jede der Grenzflächenschicht 4 und der Trägersubstrat-seitigen Zwischenschicht 5 enthält Sauerstoff, Aluminium, Silizium und ein oder mehrere Element(e), ausgewählt aus der Gruppe, bestehend aus Niob und Tantal, als Hauptbestandteile.