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    • 1. 发明公开
    • PROCESS FOR PRODUCING HIGHLY ORDERED NANOPILLAR OR NANOHOLE STRUCTURES ON LARGE AREAS
    • 方法对高层次HerstellingNANOSÄULEN-或纳米孔结构的大型区域
    • EP2627605A2
    • 2013-08-21
    • EP11769797.9
    • 2011-10-12
    • Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.Fachhochschule Jena
    • MORHARD, ChristophPACHOLSKI, ClaudiaSPATZ, Joachim P.BRUNNER, Robert
    • B81C1/00
    • B29C59/002B81C99/009B81C2201/0149B82Y30/00G03F7/0002
    • The present invention relates to an improved process for producing highly ordered nanopillar or nanohole structures, in particular on large areas, which can be used as masters in NIL, hot embossing or injection molding processes. In a preferred embodiment, said process comprises at least the following steps: a) providing a primary substrate that is decorated on at least one surface with an ordered array of metal nanoparticles produced by means of a micellar block-copolymer nanolithography process; b) etching the primary substrate of step a) in a predetermined depth, preferably in the range from 50 to 500 nm, wherein the nanoparticles act as a mask and an ordered array of nanopillars or nanocones corresponding to the positions of the nanoparticles is produced; c) using the nanostructured substrate obtained in step b) as a master or stamp in nanoimprint lithographic (NIL), hot embossing or injection molding processes. In another preferred embodiment, said process comprises the steps a) and b) above and additionally c) coating the nanostructured substrate surface obtained in step b) with a continuous metal layer; d) selective etching of the product of step c) using an etching agent, e.g. HF, which removes the primary substrate but not the metal layer, resulting in a metal substrate comprising an ordered array of nanoholes which is a negative of the original array of nanopillars or nanocones.
    • 本发明涉及到改进的方法用于在大面积上,其可被用作NIL主人,热压印或注塑方法生产高度有序的纳米柱或纳米孔结构,特别是。 该方法涉及在由胶束的嵌段共聚物的纳米光刻工艺来制造的金属纳米颗粒的有序阵列装饰用表面; 蚀刻所述主基板至50至500纳米,其中所述纳米颗粒充当掩模和在纳米柱或纳米锥对应于纳米颗粒如此产生的位置的有序阵列的深度; 使用该纳米结构化主站或在邮票的结构化过程。 所以成品纳米结构化基底表面可以被用作牺牲主所有的涂有连续的金属层,然后将主被刻蚀掉,留下具有纳米孔的所有有序阵列,其是负纳米柱或的原始阵列的金属邮票 纳米锥。
    • 3. 发明申请
    • APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING METALLIC OR INORGANIC STRANDS HAVING A THICKNESS IN THE MICRON RANGE BY MELT SPINNING
    • 通过熔融纺丝制造在微米范围内具有厚度的金属或无机结构的装置和方法
    • WO2016020493A1
    • 2016-02-11
    • PCT/EP2015/068194
    • 2015-08-06
    • MAX-PLANCK-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER WISSENSCHAFTEN E.V.
    • SPATZ, Joachim P.WATARI, MoyuMAGER, Reinhard
    • B22D11/06
    • B22D11/0611B22D11/005B22D11/0651
    • Apparatus for producing elongate strands of metal comprises a rotatable wheel having a circumferential surface, at least one nozzle for directing a molten metal onto the circumferential surface and a collection means for collecting solidified strands of metal formed. The solidified strands are formed on the circumferential surface from the molten metal and are separated from the circumferential surface by centrifugal force generated by rotation of the wheel. The circumferential surface has a circumferentially extending structure having circumferentially extending edges and recesses formed between or bounded by the edges, and by an apparatus for controlling a gas pressure applied to the liquid metal which moves the liquid metal through the nozzle opening and delivers it to the circumferential surface of the rotatable wheel. The nozzle has a rectangular cross section with a width of the nozzle opening in the circumferential direction of rotation of the wheel and a length transverse to the circumferential surface of the wheel which is greater than the width. A method and a wheel adapted for use in the apparatus are also claimed.
    • 用于生产细长金属线的装置包括具有圆周表面的可旋转轮,用于将熔融金属引导到圆周表面上的至少一个喷嘴和用于收集形成的金属的固化的金属线的收集装置。 凝固线由熔融金属形成在圆周表面上,并通过轮转动产生的离心力与圆周表面分离。 圆周表面具有周向延伸的结构,其具有形成在边缘之间或由边缘限定的周向延伸的边缘和凹部,以及用于控制施加到液体金属的气体压力的装置,其通过喷嘴开口移动液体金属并将其输送到 可旋转轮的圆周表面。 喷嘴具有矩形横截面,其在轮的旋转圆周方向上具有喷嘴开口的宽度,并且横向于轮的圆周表面的长度大于宽度。 还要求一种适用于该装置的方法和轮子。
    • 9. 发明申请
    • VERFAHREN ZUR RÄUMLICH AUFGELÖSTEN VERGRÖSSERUNG VON NANOPARTIKELN AUF EINER SUBSTRATOBERFLÄCHE
    • 在衬底表面上空间扩大纳米颗粒的方法
    • WO2011057816A3
    • 2011-05-19
    • PCT/EP2010/006938
    • 2010-11-15
    • Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V.MORHARD, ChristophPACHOLSKI, ClaudiaSPATZ, Joachim P.
    • MORHARD, ChristophPACHOLSKI, ClaudiaSPATZ, Joachim P.
    • C23C18/16
    • Die Erfindung betrifft Verfahren zur räumlich aufgelösten Vergrößerung und größenmäßigen Feineinstellung von Edelmetall-Nanopartikeln auf einer Substratoberfläche sowie die so hergestellten Nanopartikel-Anordnungen und nanostrukturierten Substratoberflächen und deren Verwendung. Die vorliegende Erfindung betrifft speziell ein Verfahren zur räumlich aufgelösten Vergrößerung von Edelmetall-Nano-Partikeln, die auf einem Substrat vorliegen, welches die folgenden Schritte umfasst: a) Bereitstellung eines mit Edelmetall-Nanopartikeln beschichteten Substrats, b) gegebenenfalls Funktionalisierung des Substrats mit einem Agens, welches die Haftung der Edelmetall-Nanopartikel an dem Substrat unterstützt, c) Kontaktierung des Substrats mit einer Edelmetallsalzlösung, d) UV-Bestrahlung des Substrats in Kontakt mit der Edelmetallsalzlösung, wodurch eine Reduktion des Edelmetallsalzes und eine stromlose Abscheidung von elementarem Edelmetall auf den Edelmetall-Nanopartikeln und entsprechendes Wachstum der Edelmetall-Nanopartikel in den bestrahlten Bereichen des Substrats veranlasst wird, und e) gegebenenfalls Verwendung einer Maske, um ein lokalisiertes Wachstum der Edelmetall-Nanopartikel in vorbestimmten Bereichen des Substrats zu veranlassen.
    • 本发明涉及一种R&AUML的方法;空间分辨ö最放大ö大街增加和GRö大街ENMÄ大街贵金属纳米颗粒上的Substratoberfl&AUML强度精细调整;枝和纳米颗粒如此产生 排列和纳米结构的基底表面及其使用。 本发明具体地涉及一种用于R&AUML的方法;空间分辨Ö斯登倍率Ö贵金属纳米颗粒,其存在于基板上的ROAD扩增,其包括以下步骤:a)提供一个贵金属涂覆的纳米颗粒衬底,B )任选地在基底的官能化用试剂,其支撑到基板导航用途TZT的贵金属纳米颗粒的粘附性,c)用Edelmetallsalzl&oUML基板接触;溶液,d)与该Edelmetallsalzl&oUML接触的基材的UV照射;溶液,由此 贵金属盐的还原和元素贵金属的电沉积被导致贵金属纳米颗粒和相应的任选使用掩模的贵金属纳米颗粒的局部增长,所述衬底的所述照射区域的贵金属纳米粒子的生长,以及e)在预定的 基材的区域要真实 是