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1. 发明申请

US20070070317A1 EXPOSURE APPARATUS 失效
标题翻译：曝光装置
公开(公告)号：US20070070317A1
公开(公告)日：2007-03-29
申请号：US11537071
申请日：2006-09-29
申请人： Makoto MIZUNO , Hiroshi Ito
发明人： Makoto MIZUNO , Hiroshi Ito
IPC分类号： G03B27/42
CPC分类号： G03B27/42 , G03F7/70341
摘要： An exposure apparatus includes a projection optical system for projecting a pattern of a reticle onto a substrate to be exposed, via a liquid that is filled in a space between the substrate and a final lens that is closest to the substrate, a movement restricting part for restricting a movement of the liquid by forming a interval between the movement restricting part and the substrate, the interval is smaller than a interval of the space, and a moving part for moving the movement restricting part so that the interval between the movement restricting part and the substrate increases.
摘要翻译：曝光装置包括：投影光学系统，用于通过填充在基板和最靠近基板的最终透镜之间的空间中的液体将掩模版图案投影到待曝光的基板上;移动限制部件，用于通过在所述移动限制部和所述基板之间形成间隔来限制所述液体的移动，所述间隔小于所述间隔的间隔，以及移动部，其使所述移动限制部移动，使得所述移动限制部与所述移动限制部之间的间隔，衬底增加。

2. 发明申请

US20070024829A1 DRIVING UNIT, EXPOSURE APPARATUS USING THE SAME, AND DEVICE FABRICATION METHOD 审中-公开
标题翻译：驱动单元，使用其的曝光装置和装置制造方法
公开(公告)号：US20070024829A1
公开(公告)日：2007-02-01
申请号：US11530588
申请日：2006-09-11
申请人： Makoto MIZUNO
发明人： Makoto MIZUNO
IPC分类号： G03B27/00
CPC分类号： G03B27/58 , F16F6/00 , F16F15/02 , G03F7/70825
摘要： A driving unit includes an actuator for actuating a target and a magnetic dampener for controlling a vibration of the target, wherein the driving unit controls the vibration of the target, which is generated by the actuation of the actuator, by using the magnetic dampener.
摘要翻译：驱动单元包括用于致动目标的致动器和用于控制目标的振动的磁阻尼器，其中驱动单元通过使用磁阻尼器控制通过致动器的致动产生的目标的振动。

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