专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

SU1385951A1 МИКРОЭЛЕКТРОННЫЙ МЕХАНОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ ДАТЧИК 未知
公开(公告)号：SU1385951A1
公开(公告)日：1994-02-28
申请号：SU3995169
申请日：1985-11-05
申请人： MOSKOVSKIJ INZHENERNO-FIZICHESKIJ INST
发明人： VAGANOV V I , SLUCHAK I I
IPC分类号： H01L29/84 , G01L1/24
摘要： Изобретениеотноситсяк измерительнойтехникеи можетбытьиспользованоприконструированииинтегральныхполупроводниковыхдатчиковдавления. Цельизобретения - уменьшениеразмеров, повышениелинейностии чувствительности. Упругийэлементдатчикавыполненизмонокристаллическойпластиныкремнияориентации { 100 } ввидепрямоугольноймембраны. Мембранасостоитихжесткогооснованияи деформируемойчасти, котораяотделенаотоснованиядвумящелевымиотверстиями. Деформируемаячастьвключаетгибкиеучастки, получающиесязасчетвыполненияканавокпонаправлению , идвежесткиеобластив видеостровков. Спланарнойсторонымембранынагибкихучасткахрасположеныдиффузионныетензорезисторы, ориентированныевдольнаправления . 1 ил.

2. 发明专利

SU1463059A1 СПОСОБ ВЫПОЛНЕНИЯ МЕЖСОЕДИНЕНИЙ ЭЛЕМЕНТОВ В ИНТЕГРАЛЬНЫХ МИКРОСХЕМАХ 未知
公开(公告)号：SU1463059A1
公开(公告)日：1994-01-30
申请号：SU4233906
申请日：1987-04-23
申请人： MOSKOVSKIJ INZHENERNO-FIZICHESKIJ INST
发明人： BELOV N S , BRITVIN S O , VAGANOV V I
IPC分类号： H01L21/28
摘要： Изобретениеотноситсяк технологииизготовленияметаллизированнойразводкив интегральныхсхемах. Цельизобретения - упрощениеспособа. Способвключаетформированиенапластинеполупроводникафункциональныхэлементови выполнениев первомслоеметаллизациидорожек, соединяющихотдельныеэлементыс контактнымиплощадкамидляконтроля. Контактныеплощадкидляконтроляэлементоводинаковогофункциональногоназначенияформируютв участкахпластины, минимальныхпоплощади. Осуществляютконтрольфункционированияэлементов. Разрываютконтактныедорожки, связывающиеконтактныеплощадкидляконтроляс бракованнымиэлементами. Формируютвторойслойметаллизации. Контактныеплощадки 2-гослояметаллизацииформируютнанесениемметаллачерезединыйфотошаблонс перекрытиемвсехконтактныхплощадокдляконтроляв 1-омслоеметаллизациинакаждомотдельномучасткеформированияплощадокдляконтроля. Способможетбытьиспользованпривыполнениимежсоединенийсхем, вкоторыхпроизводитсярезервированиеэлементов. 1 ил.

3. 发明专利

SU807917A1 СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ КРЕМНИЕВЫХ МЕХАНОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ 未知
公开(公告)号：SU807917A1
公开(公告)日：1994-04-15
申请号：SU2800516
申请日：1979-07-20
申请人： MOSKOVSKIJ INZHENERNO-FIZICHESKIJ INST
发明人： VAGANOV V I , GONCHAROVA N I
IPC分类号： H01L21/82

4. 发明专利

SU1393265A1 ТЕНЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ 未知
公开(公告)号：SU1393265A1
公开(公告)日：1994-02-28
申请号：SU4030218
申请日：1986-01-07
申请人： MOSKOVSKIJ INZHENERNO-FIZICHESKIJ INST
发明人： BEKLEMISHEV V V , BRITVIN S O , VAGANOV V I
IPC分类号： H01L29/84
摘要： Изобретениеотноситсяк полупроводниковойизмерительнойтехникеи можетбытьиспользованоприконструированииполупроводниковыхдатчиковдавления. Цельизобретения - повышениечувствительности. Тензопреобразовательсодержитупругийэлементи мостовуютензосхему. МостоваятензосхемавключаетдвепарыосновныхМДП-тензотранзистороввзаимодополняющихтиповпроводимости, соединенныхмеждусобоюв парахстоковымивыводами, идвадополнительныхМДП-тензотранзистора. Междуистокоми затворомкаждогоизосновныхтензотранзистороввключенытензорезисторы. ДополнительныетензотранзисторывключенымеждузатворамиосновныхМДП-тензотранзисторов, составляющихпротивоположныеплечимостовойсхемы. Затвори стоккаждогоиздополнительныхМДП-транзисторовсоединенымеждусобой. Описантакжевариантмостовойсхемынакомплементарныхбиполярныхтензотранзисторах. 2 ил.

5. 发明专利

SU797454A1 СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ МЕХАНОЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЕЙ 未知
公开(公告)号：SU797454A1
公开(公告)日：1994-01-15
申请号：SU2790216
申请日：1979-07-09
申请人： MOSKOVSKIJ INZHENERNO-FIZICHESKIJ INST
发明人： VAGANOV V I , GONCHAROVA N I
IPC分类号： H01L21/265

6. 发明专利

SU1438404A1 ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ 未知
公开(公告)号：SU1438404A1
公开(公告)日：1994-03-15
申请号：SU4226895
申请日：1987-01-09
申请人： MOSKOVSKIJ INZHENERNO-FIZICHESKIJ INST
发明人： BREGMAN E JA , BRITVIN S O , VAGANOV V I , OSHKADEROVA E V , SLUCHAK I I , BABICHEV G G , ZHAD'KO I P , ROMANOV V A , SERDEGA B K
IPC分类号： G01L9/04
摘要： Изобретениеотноситсяк измерительнойтехникеи можетбытьиспользованодляизмерениямеханическихвоздействий (давлений, силыи т. д. ). Цельюизобретенияявляетсяповышениеточностиизмерения. Привоздействииизмеряемогодавленияв центремембраны 1 появляютсясдвиговыенапряжения, преобразуемыес помощьютензоэлементав выходнойэлектрическийсигналмеждувыводами 4 припротеканиитокапитанияэлементамеждувыводами 3. Цельизобретениядостигаетсязасчетуменьшенияпогрешностинулятензоэлемента, атакжеусловийтеплоотводаи конфигурациитоковедущихдорожек. 1 ил.

7. 发明专利

SU1473637A1 ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ 未知
公开(公告)号：SU1473637A1
公开(公告)日：1994-02-28
申请号：SU4233907
申请日：1987-04-23
申请人： MOSKOVSKIJ INZHENERNO-FIZICHESKIJ INST
发明人： BRITVIN S O , VAGANOV V I
IPC分类号： H01L29/84 , G01L1/22
摘要： Изобретениеотноситсяк измерительнойтехнике, вчастностик интегральнымпервичнымпреобразователяммеханическихвеличин. Цельизобретения - уменьшениевеличиныи температурыдрейфаразбаланса. Тензопреобразовательсодержитупругийэлементизкремния, наповерхностикотороговыполненатензорезистивнаяструктура (ТС). ТСвыполненав видерегулярнойортогональнойсеткис квадратнымиячейками. Ккаждомуузлусеткивыполненэлектрическийконтакт. ТензорезисторыТСрасположенысимметричноотносительноцентраупругогоэлемента, выполненного, например, ввидепрямоугольноймембраныи ориентированывдольвзаимноперпендикулярныхнаправлениймаксимальнойтензочувствительности. Сеткапокаждойизкоординатсодержитнеменеечетырехячеек. Тензорезисторы, расположенныеповнешнемупериметрусетки, выполненыв дваразаужеостальныхпоширине. 11 ил.

8. 发明专利

SU708891A1 ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ ИНТЕГРАЛЬНОГО ПОЛУПРОВОДНИКОВОГО ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЯ 未知
公开(公告)号：SU708891A1
公开(公告)日：1994-02-15
申请号：SU2638233
申请日：1978-07-07
申请人： MOSKOVSKIJ INZHENERNO-FIZICHESKIJ INST
发明人： VAGANOV V I , NOSKIN A B
IPC分类号： H01J27/20 , H01J41/10

9. 发明专利

SU795326A1 ЗАЩИТНАЯ МАСКА 未知
公开(公告)号：SU795326A1
公开(公告)日：1994-01-15
申请号：SU2824979
申请日：1979-10-04
申请人： MOSKOVSKIJ INZHENERNO-FIZICHESKIJ INST
发明人： VAGANOV V I , PLOKHOVA T S
IPC分类号： H01L21/31

10. 发明专利

SU1482480A1 ИНТЕГРАЛЬНЫЙ ТЕНЗОПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ 未知
公开(公告)号：SU1482480A1
公开(公告)日：1994-02-28
申请号：SU4233921
申请日：1987-04-23
申请人： MOSKOVSKIJ INZHENERNO-FIZICHESKIJ INST
发明人： BRITVIN S O , VAGANOV V I
IPC分类号： H01L29/84 , G01L1/22
摘要： Изобретениеотноситсяк измерительнойтехникеи можетбытьиспользованоприконструированиипреобразователеймеханическихвеличин. Цельизобретения - увеличениечувствительностии уменьшениевеличиныи температурногодрейфаразбаланса. Тензопреобразовательсодержитоднороднуюполупроводниковуюпленку, нанесеннуюнавсюповерхностьупругогоэлементаи электрическиеконтактык пленке. Электрическиеконтактырасположенырядамивдольнаправлениямаксимальноготензочувствительностипленкив узлахгипотетическойортогональнойсеткис квадратнымиячейками. Тензопреобразовательсодержитнеменеетрехрядовконтактови трехконтактовв ряду. Направлениерядовконтактовдлякремниевойпленки, поверхностькоторойсовпадаетс плоскостью (100) иупругогоэлементав видепрямоугольноймембраны, параллельноближайшейлиниизаделкимембраныи составляютугол 45снаправлением прииспользованиипленки p-типаи параллельноилиперпендикулярнонаправлению прииспользованиипленки n-типа. Втензопреобразователеиспользуетсямостоваясхемавключенияс различнымивариантамиобъединенияконтактовдлясъемасигнала. 14 ил.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式