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1. 发明专利

DE102010024543A1 Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten einer Oberfläche 未知
公开(公告)号：DE102010024543A1
公开(公告)日：2011-12-22
申请号：DE102010024543
申请日：2010-06-22
申请人： MERCK PATENT GMBH
发明人： STOESEL PHILIPP DR , HEIL HOLGER DR , SPREITZER HUBERT DR , SCHUBACH BERNHARD DR , DASENBROCK JOHANNES DR
IPC分类号： C23C14/46 , H01J37/30 , H01J37/317 , H01L51/56
摘要： Bei einem Verfahren zum Beschichten einer Oberfläche (1) eines Trägermaterials (2) mit Molekülen (5, 6), wobei die Moleküle (5, 6) aus einem Molekülvorrat (3, 4) in einen gasförmigen Zustand überführt und ionisiert werden, werden die elektrisch geladenen Moleküle (5, 6) auf dem Weg zu der Oberfläche (1) mindestens einem elektrischen und/oder magnetischen Feld ausgesetzt werden, das mindestens eine Feldkomponente senkrecht zu der gerichteten Bewegung der elektrisch geladenen Moleküle (5, 6) aufweist, um eine senkrecht zu der gerichteten Bewegung der elektrisch geladenen Moleküle (5, 6) gerichtete Kraftwirkung auf die elektrisch geladenen Moleküle (5, 6) auszuüben. Zwischen dem Molekülvorrat (3, 4) und der Oberfläche (1) wirkt eine elektrische und/oder magnetische Fokussiereinrichtung (8), beispielsweise ein Quadrupolfeld, auf die gerichtete Bewegung der elektrisch geladenen Moleküle (5, 6) ein. Zwischen dem Molekülvorrat (3, 4) und der Oberfläche (1) ist eine Blendenvorrichtung (12) so angeordnet, dass nur Moleküle (5, 6) mit einem vorgebbaren Massen-Ladungs-Verhältnis durch die Blendenvorrichtung (12) hindurch zur Oberfläche (1) gelangen. Mittels geeigneter elektrischer und/oder magnetischer Felder oder mittels zeitlich veränderbarer Blendeneinrichtungen (14) wird für vorgebbare Zeitdauern ein Auftreffen der elektrisch geladenen Moleküle (5, 6) auf der Oberfläche (1) verhindert. Dadurch wird die strukturierte Beschichtung der Oberfläche ermöglicht.

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