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    • 9. 发明授权
    • System and method of testing humidity in a sealed MEMS device
    • 在密封的MEMS器件中测试湿度的系统和方法
    • US07570865B2
    • 2009-08-04
    • US12021218
    • 2008-01-28
    • Brian J. GallyLauren PalmateerManish KothariWilliam J. Cummings
    • Brian J. GallyLauren PalmateerManish KothariWilliam J. Cummings
    • G02B6/00
    • B81C99/0045G01M3/002G01M3/02G01M3/186G01M3/229G02B26/001Y10T29/49002
    • One embodiment provides a method of testing humidity. The method includes measuring i) a first weight of a first device which encloses a plurality of interferometric modulators and ii) a second weight of a second device which encloses a plurality of interferometric modulators, wherein the first and second devices contain a different amount of water vapor. The method further includes comparing the weights of the first and second devices and determining a relative humidity value or a degree of the relative humidity inside one of the two devices based at least in part upon the weight comparison. In one embodiment, the relative humidity value or degree is determined considering at least one of the following parameters: i) temperature-humidity combination inside at least one of the devices, ii) the thickness and width of a seal of the at least one device, iii) adhesive permeability of a component of the at least one device, iv) a desiccant capacity inside the at least one device and v) a device size.
    • 一个实施例提供了测试湿度的方法。 该方法包括测量i)包围多个干涉式调制器的第一装置的第一权重和ii)封闭多个干涉式调制器的第二装置的第二权重,其中第一和第二装置含有不同量的水 汽。 该方法还包括比较第一和第二装置的重量,并且至少部分地基于重量比较来确定两个装置之一内的相对湿度值或相对湿度的程度。 在一个实施例中,考虑以下参数中的至少一个来确定相对湿度值或度数:i)至少一个装置内的温度 - 湿度组合,ii)至少一个装置的密封件的厚度和宽度 ,iii)所述至少一个装置的部件的粘合剂渗透性,iv)所述至少一个装置内的干燥剂容量,以及v)装置尺寸。