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1. 发明申请

WO2014140206A1 WELLENLEITER-RESONATOR-BAUELEMENT UND VERFAHREN ZU SEINER HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：光纤谐振腔组分及其制备方法
公开(公告)号：WO2014140206A1
公开(公告)日：2014-09-18
申请号：PCT/EP2014/055006
申请日：2014-03-13
申请人： LEIBNIZ-INSTITUT FÜR FESTKÖRPER- UND WERKSTOFFFORSCHUNG DRESDEN E.V.
发明人： BÖTTNER, Stefan , SCHMIDT, Oliver G.
IPC分类号： G02B6/10 , G02B6/12 , G02B6/13
CPC分类号： G02B6/29338 , G02B6/00 , G02B6/122 , G02B6/136 , G02B6/29389 , G02B2006/12109
摘要： Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf das Gebiet der Elektrotechnik/Elektronik und betrifft ein Wellenleiter-Resonator-Bauelement, das beispielsweise in integrierten Schaltkreisen eingesetzt werden kann. Der Erfindung liegt die Aufgabe zugrunde, ein Wellenleiter-Resonator-Bauelement einfach und kostengünstig herzustellen. Die Aufgabe wird gelöst durch ein Wellenleiter-Resonator-Bauelement, bei dem ein Substrat (1) mit zwei Wellenleitern (3) und als Resonator ein Mikroröhrchen (2) vorhanden sind, wobei der Resonator im Bereich der Wellenleiter jeweils eine Aussparung (4) zur Bildung eines Zwischenraumes zwischen Wellenleiter und Resonator aufweist. Die Aufgabe wird weiterhin gelöst durch ein Verfahren, bei dem auf einem Substrat mit zwei Wellenleitern eine Opferschicht und darauf mindestens eine zweite Schicht aufgebracht werden, danach die Opferschicht mindestens teilweise entfernt wird und durch das Aufrollen der mindestens zweiten Schicht der Resonator in Form eines Mikroröhrchens hergestellt wird.
摘要翻译：本发明涉及电气/电子领域，并涉及一种波导谐振设备，其可以例如在集成电路中使用。本发明解决制造波导谐振器装置简单且廉价的问题。该目的是通过一个波导谐振器装置来实现，其中将基板（1）具有两个波导（3）和作为谐振器，微管（2）的存在，其中，在所述波导的区域中的谐振器在每一种情况下的凹部（4），用于包括形成在波导和谐振器之间的中间空间。该目的是通过在其上具有至少一个牺牲层的第二层沉积在具有两个波导的基板上的方法来实现，然后该牺牲层是至少部分地除去，通过在微管的形式滚动谐振器的至少第二层制备是。

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