会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 6. 发明申请
    • MIKROMECHANISCHER AKTUATOR MIT ELEKTROSTATISCHEM KAMM-ANTRIEB
    • 微机械致动器与静电CREST DRIVE
    • WO2010060552A2
    • 2010-06-03
    • PCT/EP2009/008160
    • 2009-11-17
    • FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.HOFMANN, UlrichOLDSEN, MartinWAGNER, Bernd
    • HOFMANN, UlrichOLDSEN, MartinWAGNER, Bernd
    • H02N1/00
    • G02B26/0841
    • Die vorliegende Erfindung betrifft einen mikromechanischen Aktuator, insbesondere einen Mikrospiegelscanner, mit einer Aktuatoreinheit (1-3) in einem äußeren Rahmen (5), die über zwei Torsionselemente (4) in dem äußeren Rahmen (5) aufgehängt ist, und elektrostatischen Kippantrieben (14, 15) aus ineinander greifenden ersten und zweiten kammförmigen Elektroden (16, 17), die einen gegenseitigen Höhenversatz aufweisen. Die ersten Elektroden (17) sind starr mit dem äußeren Rahmen (5) und die zweiten Elektroden (16) jeweils über ein äußeres Verbindungselement (18) mit dem äußeren Rahmen (5) und über ein inneres Verbindungselement (12, 13) mit der Aktuatoreinheit (1-3) verbunden. Das innere Verbindungselement (12, 13) weist eine Feder auf, die sich parallel zur äußeren Kippachse erstreckt, jeweils in einem Bereich der Aktuatoreinheit mit dieser verbunden ist, der nahe an der äußeren Kippachse liegt, und so ausgebildet und angeordnet ist, dass sie in der vertikalen Richtung starr und quer zur vertikalen Richtung biegsam ist. Der vorgeschlagene mikromechanische Aktuator ermöglicht einen Einsatz in einem Mikrospiegelscanner bei nichtresonantem Antrieb der langsamen Achse mit Auslenkungen von > +/-7°, lateralen Spiegelgrößen mit Dimensionen von 1 mm und darüber und einer Resonanzfrequenz von > 1 kHz und lässt sich auch in flache Mobiltelefone integrieren.
    • 本发明涉及一种微机械致动器,特别是微反射镜扫描仪,用在外部帧(5)的致动器单元(1-3),两个扭转元件(4)在所述外框架(5)被暂停,和静电倾斜驱动器(14 ,15)互锁的第一和第二梳形电极(16,17),其具有一个在高度上相互抵消的。 所述第一电极(17)刚性地连接到外框架(5)和第二电极(16)分别具有一个外连接元件(18)到外框架(5)和致动器的内部连接元件(12,13) (1-3)连接。 所述内部连接元件(12,13)具有一个弹簧,其延伸平行于外枢转轴线,在连接到该致动器单元,这是接近外倾斜轴线的一区域中的每个情况中,并且被构造和设置成在 是垂直方向上刚性地且横向于垂直方向柔韧。 所提出的微机械致动器允许在微反射镜扫描仪使用在nichtresonantem驱动慢轴与> +/- 7°,外侧反射镜的尺寸为1毫米或更多维度的偏转,和> 1 kHz的谐振频率,并且还可以集成到平板的移动电话 ,