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    • 8. 发明授权
    • Microelectronic die having CMOS ring oscillator thereon and method of using same
    • 具有CMOS环形振荡器的微电子管芯及其使用方法
    • US07889013B2
    • 2011-02-15
    • US11846190
    • 2007-08-28
    • Gerald S. LeathermanJun HeJose Maiz
    • Gerald S. LeathermanJun HeJose Maiz
    • H03K3/03
    • H03K3/0315G01R31/2884H01L22/34
    • A microelectronic die including a CMOS ring oscillator thereon, and a method of using the same. The microelectronic die includes: a die substrate; and a plurality of CMOS ring oscillators on the die substrate, the ring oscillators being disposed at regions of the die substrate that are adapted to exhibit differing strain responses to package-included stress with respect to one another. A method of determining mechanical stress on a die which includes providing a die substrate in a CMOS ring oscillator on a die substrate. A frequency counter is coupled to the ring oscillator to measure a frequency of the ring oscillator to generate a frequency data signal therefrom. The frequency data signal is used to determine the mechanical stress on the die at a location of the ring oscillator.
    • 包括其上的CMOS环形振荡器的微电子管芯及其使用方法。 微电子管芯包括:管芯基板; 以及在所述管芯衬底上的多个CMOS环形振荡器,所述环形振荡器设置在所述管芯衬底的适于相对于彼此显示对于包装应力的应力的不同应变响应的区域处。 一种确定模具上的机械应力的方法,其包括在芯片基板上的CMOS环形振荡器中提供管芯衬底。 频率计数器耦合到环形振荡器以测量环形振荡器的频率以从其产生频率数据信号。 频率数据信号用于确定环形振荡器位置处芯片上的机械应力。