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    • 7. 发明授权
    • Optical surface flatness measurement apparatus
    • 光学平面度测量装置
    • US5383025A
    • 1995-01-17
    • US958111
    • 1992-12-23
    • Andrew Forrest
    • Andrew Forrest
    • G01B11/30
    • G01B11/306
    • The flatness of at least a portion of a substantially planar surface (16) is measured by illuminating the surface through a beam splitter (12) incorporating a grid (13) or other patterned shield. The light pattern reflected from the surface (16) is directed by way of a reflector (14) back through the beam splitter (12) and thus through the grid (13). The image exiting the beam splitter (12) has characteristics representative of the flatness of the surface.
    • PCT No.PCT / GB91 / 00648 Sec。 371日期1992年12月23日 102(e)日期1992年12月23日PCT 1991年4月23日PCT PCT。 公开号WO91 / 16602 日期1991年10月31日。通过通过并入栅格(13)或其它图案化屏蔽的分束器(12)照射表面来测量基本平坦表面(16)的至少一部分的平坦度。 从表面(16)反射的光图案通过反射器(14)被引导通过分束器(12)并且因此通过格栅(13)。 离开分束器(12)的图像具有代表表面平坦度的特征。