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热词
    • 3. 发明授权
    • Reverse dummy insertion algorithm
    • 反向虚拟插入算法
    • US07934173B2
    • 2011-04-26
    • US12013999
    • 2008-01-14
    • Jiing-Shin ShyuTseng Chin Lo
    • Jiing-Shin ShyuTseng Chin Lo
    • G06F17/50G03F1/14
    • G03F1/36G03F1/80H01L27/0203
    • A method of inserting dummy patterns includes providing a window area comprising a main pattern. The main pattern includes first patterns of a first type of features, and second patterns of a second type of features. The first and the second types are different types. The method further includes globally inserting first dummy patterns throughout the window area, wherein the first dummy patterns are dummy patterns of the first type of features; enlarging the main pattern to generate an enlarged main pattern, wherein the enlarged main pattern occupies an enlarged region of the window area; removing the portion of the first dummy patterns in the enlarged region from the first dummy patterns to generate first inversed dummy patterns; and combining the first patterns in the main pattern with the first inversed dummy patterns to generate first mask patterns for the first type of features.
    • 插入虚拟图案的方法包括提供包括主图案的窗口区域。 主图案包括第一类型特征的第一图案和第二类型特征的第二图案。 第一类和第二类是不同类型。 该方法还包括在整个窗口区域全局地插入第一虚拟图案,其中第一伪图案是第一类型特征的虚拟图案; 扩大主图案以产生放大的主图案,其中放大的主图案占据窗口区域的扩大区域; 从所述第一伪图案中去除所述放大区域中的所述第一虚设图案的部分,以产生第一反向虚拟图案; 以及将主图案中的第一图案与第一反向虚拟图案组合以产生用于第一类型特征的第一掩模图案。
    • 5. 发明申请
    • Reverse Dummy Insertion Algorithm
    • 反向插入插入算法
    • US20090181314A1
    • 2009-07-16
    • US12013999
    • 2008-01-14
    • Jiing-Shin ShyuTseng Chin Lo
    • Jiing-Shin ShyuTseng Chin Lo
    • G03F1/14G06F17/50
    • G03F1/36G03F1/80H01L27/0203
    • A method of inserting dummy patterns includes providing a window area comprising a main pattern. The main pattern includes first patterns of a first type of features, and second patterns of a second type of features. The first and the second types are different types. The method further includes globally inserting first dummy patterns throughout the window area, wherein the first dummy patterns are dummy patterns of the first type of features; enlarging the main pattern to generate an enlarged main pattern, wherein the enlarged main pattern occupies an enlarged region of the window area; removing the portion of the first dummy patterns in the enlarged region from the first dummy patterns to generate first inversed dummy patterns; and combining the first patterns in the main pattern with the first inversed dummy patterns to generate first mask patterns for the first type of features.
    • 插入虚拟图案的方法包括提供包括主图案的窗口区域。 主图案包括第一类型特征的第一图案和第二类型特征的第二图案。 第一类和第二类是不同类型。 该方法还包括在整个窗口区域全局地插入第一虚拟图案,其中第一伪图案是第一类型特征的虚拟图案; 扩大主图案以产生放大的主图案,其中放大的主图案占据窗口区域的扩大区域; 从所述第一伪图案中去除所述放大区域中的所述第一虚设图案的部分,以产生第一反向虚拟图案; 以及将主图案中的第一图案与第一反向虚拟图案组合以产生用于第一类型特征的第一掩模图案。