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1. 发明申请

WO2007060919A1 感放射線性樹脂組成物审中-公开
标题翻译：辐射敏感性树脂组合物
公开(公告)号：WO2007060919A1
公开(公告)日：2007-05-31
申请号：PCT/JP2006/323141
申请日：2006-11-21
申请人： JSR株式会社 , 矢田勇二 , 永井智樹
发明人：矢田勇二 , 永井智樹
IPC分类号： G03F7/004 , G03F7/039 , H01L21/027
CPC分类号： G03F7/0045 , G03F7/0392 , Y10S430/106 , Y10S430/122 , Y10S430/123
摘要：　解像性能、熱安定性および保存安定性に優れた感放射線性酸発生剤を含有し、定在波によるパターン線幅の変動およびパターン形状の劣化を抑制でき、ナノエッジラフネスおよびＬＥＦに優れたレジストパターンを得ることができる感放射線性樹脂組成物を提供する。　感放射線性樹脂組成物は、（Ａ）２，４，６－トリメチルフェニルジフェニルスルホニウム２，４－ジフルオロベンゼンスルホネート、２，４，６－トリメチルフェニルジフェニルスルホニウム４－トリフルオロメチルベンゼンスルホネート等で代表されるスルホニウム塩化合物およびスルホンイミド化合物を含む感放射線性酸発生剤を含有することを特徴とする。当該組成物は、さらに（Ｂ）４－ヒドロキシスチレン／４－ｔ－ブトキシスチレン共重合体、４－ヒドロキシスチレン／（メタ）アクリル酸ｔ－ブチル等で代表される樹脂を含有することが好ましい。
摘要翻译：本发明提供了一种辐射敏感性树脂组合物，其含有分辨性，热稳定性和储存稳定性优异的辐射敏感性酸发生剂，并且通过驻波减少了线宽变化和图案轮廓劣化，从而可以提高抗蚀剂图案在纳米边缘粗糙度和LEF。该组合物的特征在于含有（A）锍盐如2,4-二氟 - 苯磺酸2,4,6-三甲基苯基二苯基锍或4-三氟甲基苯磺酸2,4,6-三甲基苯基二苯基锍和磺酰亚胺的辐射敏感酸发生剂。优选组合物还含有（B）4-羟基苯乙烯/ 4-叔丁氧基苯乙烯共聚物或4-羟基苯乙烯/（甲基）丙烯酸叔丁酯共聚物等树脂。

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